【課題】冷却中における基板の反りを防止できる熱処理炉及びこの熱処理炉を使用する平面表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理炉２１は、セッター３２上に載置された基板３１を、セッターごとその内部を通過させることにより、基板の熱処理を行う連続式の熱処理炉である。熱処理炉において、装入された基板を加熱する加熱部と、加熱部から排出されたセッター及び基板を冷却する冷却部２３と、この冷却部から排出されたセッター及び基板を更に冷却する冷却部２４とをこの順に設ける。そして、冷却部において、セッター及び基板の搬送経路２５の下方のみに冷却手段２６を設けて基板を徐冷する。また、冷却部において、搬送経路の上方及び下方の双方に冷却手段２７を設けて基板を急冷する。 （もっと読む）

【課題】感光性フォトレジスト及び感光性化合物の露光後の現像に於いて、加工中の現像液の浸透をおさえ、より細かいパターン形成を可能とする。
【解決手段】ノズル内に高圧現像液及び高圧エアーを導入しノズルから高圧エアーにより現像液を微粒子化した高圧エアーと現像液の混合流体を吹き付けることにより、現像液の浸透をおさえ細かいパターンの内側まで現像液にて未露光の感光性レジスト及び感光性化合物を取り除き、微細パターンの形成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】感光性隔壁を用いるプラズマディスプレイパネルで、感光性隔壁はナノパウダー（nano-powder）を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性および基板に対する加熱密着性に優れると共に、ハンドリング性にも優れる転写フィルムを好適に形成することができる無機粉体含有樹脂組成物、それから得られる転写フィルム、および、表面平滑性、膜厚均一性に優れたプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）のパネル部材を高い位置精度で効率的に形成することができるＰＤＰの製造方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）無機粉体と、（Ｂ）結着樹脂と、（Ｃ）特定融点の添加剤とを含有することを特徴とする無機粉体含有樹脂組成物、それから得られる転写フィルム、およびそれを用いたＰＤＰの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】コロを有する分散機を用いてミルベースの分散する場合において、分散性能が高く、コロの摩耗や焼き付き、割れ、欠け、破損による問題発生の少ない分散機およびそれを用いたペーストの製造方法を提供する。
【解決手段】筒状容器１内に配置された中心軸を中心に回転可能で、かつ外周部に前記中心軸と平行な溝を複数個有するローター２、および前記溝に配置され、前記筒状容器１内の内壁に当接して自転しながら前記筒状容器内を公転可能に構成されたコロ５を有する分散機であって、前記ローター２のミルベース供給口側端部において、コロ５がローター２に接した状態における筒状容器内面とコロ５の隙間の最小値をＧ_１（ｍｍ）、前記ローター２のミルベース吐出口側端部において、コロ５がローター２に接した状態における前記円筒容器１内面と前記コロ５の隙間の最小値をＧ_２（ｍｍ）とした時、Ｇ_１＞Ｇ_２を満足することを特徴とする分散機とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、化学エッチングに対する耐久性が優れる導電組成物を提供することである。
【解決手段】 本発明は、平均粒径が１．０〜２．５μｍの銀粉末、および鉛含有ガラスフリットを含む導電組成物に関する。本発明の導電組成物は、化学エッチングによりプラズマディスプレイのリブを形成する場合のアドレス電極に用いられる。本発明の導電組成物は、鉛含有ガラスフリットの含有量：前記銀粉末の含有量＝０．７５：９９．２５〜６．０：９４．０であることが好ましい。本発明は、上記導電組成物から得られる電極、この電極を含むＰＤＰ背面基板、この背面基板を含むプラズマディスプレイを包含する。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布されたペーストから溶剤成分を蒸発させる乾燥するに際して、大版の基板の基板端部と基板中央部との温度差を小さくして、基板の面内の蒸発速度を均一に乾燥し得る乾燥装置を提供する。
【解決手段】大版の基板２０に塗布された厚膜ペーストの塗布膜を乾燥する乾燥装置２５であって、加熱部２６とペーストが塗布された基板２０を搬送する搬送部２７とを備え、加熱部２６は複数の遠赤外線放射体のヒータユニットにより構成された基板２０の少なくとも上面と下面とに配置された上ヒータ３０と下ヒータ３１とを設けて、大版の基板２０を構成する複数の領域に、上ヒータ３０と下ヒータ３１の遠赤外線放射体からの遠赤外線放射強度を個別に制御して加熱乾燥する。 （もっと読む）

本発明の一観点は、複数の露光ビームを同時に用いて、電磁放射に感光する層により少なくとも部分的に被覆された被加工物をパターン形成する方法を含む。例示的な一例では、任意のビームの基準ビームに対する実際の位置が企図された位置と異なっているかどうかが判定される。誤って配置されたビームがフィーチャのエッジにプリントされる場合には、そのビームに対する露光ドーズ量の調節が実施される。本発明の他の観点は、詳細な記述、図面及び特許請求の範囲において示される。
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【課題】
視認性の劣化が抑制された構成、及び薄膜化された電極が配された前面パネルを有するPDP及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
対向配置された2枚の基板10、20を有し、一方の基板10に複数の電極対12と、当該電極対12を覆うように誘電体層13とが順次形成されてなるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対12の各電極121、122は、前記一方の基板10から順に、反射防止層121a、122aと、第1の層121b、122bと、第2の層121c、122cとが積層されてなる構成を有し、前記反射防止層121a、122aは、前記第1の層121b、122bよりも反射率の低い材料を主成分としている構成とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程を単純にし、製造単価を低くすることができるＰＤＰの製造方法、放電電圧を低くし、効率を向上させることができるＰＤＰ、及び誘電体層と導電層が形成されたグリーンシートを提供する。
【解決手段】本発明によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、誘電体層と電極パターンが形成されたグリーンシートを基板上にラミネートするステップと、基板を焼成するステップとを含む。また、プラズマディスプレイパネルは、基板と、基板上に形成されたブラック層と、ブラック層上に形成された電極と、電極とブラック層及び基板の上方の部分において互いに段差を有するように、電極とブラック層及び基板上に形成された誘電体層とを含む。
また、本発明によるグリーンシートは、誘電体層と、誘電体層上に形成された導電層とを含む。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクト・イメージング法によってもパターンを形成できる高感度を有し、作業性に優れ、さらにパターン形状に優れたＰＤＰの構成要素（例えば、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス）を好適に形成することができるＰＤＰの製造方法および当該製造方法に好適に用いられる転写フィルムを提供すること。
【解決手段】 特定の重合体を含有するレジスト膜と、無機粉体含有樹脂層とを用いる。 （もっと読む）

【課題】分散不十分なペーストを低減し、高分散処理が可能なペーストの分散装置およびそれを用いたペースト製造方法を提供する。
【解決手段】円筒容器中に、該円筒容器と同軸上に回転可能なローターと、ローターの外周部に配した溝部内に自公転可能なローラーを配したコロ式分散装置であって、ローターの溝部が円周方向に４個以上配置されており、該ローターおよびローラーが円筒容器の軸方向に複数に分割され、隣接するローターの溝部が位相のずれた状態で配置されていることを特徴とするペースト分散装置、およびそれを用いたペースト製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクト・イメージング法によってもパターンを形成できる高感度を有し、作業性に優れ、さらにパターン形状に優れたＰＤＰの構成要素（例えば、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス）を好適に形成することができるＰＤＰの製造方法および当該製造方法に好適に用いられる転写フィルムを提供すること。
【解決手段】 特定の光重合開始剤を含有するレジスト膜と、無機粉体含有樹脂層とを用いる。 （もっと読む）

【課題】異物量が少なく、分散性の優れたペーストを製造するためのペースト分散装置を提供する。
【解決手段】円筒容器中に、該円筒容器と同軸上に回転可能なローターと、ローター外周部に配した自公転可能なローラーを配したころ式分散装置において、ローラーを構成する部材のビッカース硬度が、円筒容器およびローターを構成する部材のビッカース硬度より低いことを特徴とするペースト分散装置、およびその装置を用いたペースト製造方法。 （もっと読む）

【課題】電極、薄膜等の形成に有利な平滑な基板表面を得るための基板の研磨方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明の基板の研磨方法は、平滑な基板表面を得るための研磨方法であり、フロート法で製造されたガラスの表面又はセリアで光学研磨された基板表面を、１０段階モース硬度において８．５以上の硬度を有する研磨剤で、前記板ガラスの表面から０．０１ｎｍ〜８０ｎｍの深さ研磨することで、研磨された領域のいずれの測定点であっても、０．８ｎｍ以下の平均表面粗さを形成すること。 （もっと読む）

【課題】 基板の欠陥を検出する基板検査装置において、精度の高い基準画像データを取得でき、基準基板の製造を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】 基板Ｔを水平状態に支持するステージ部５，６と、前記基板Ｔを前記ステージ部５，６の表面５ａ，６ａに沿って一方向に搬送する搬送機構７と、前記搬送方向に直交する略直線状の照射光を前記基板Ｔの表面Ｔａの照射領域に照射するライン照明ユニット２３と、前記照射領域からの反射光を受光して撮像するカメラユニット２４と、前記照射領域に対してその長手方向に移動可能な基準ユニット２７と、該基準ユニット２７に設けられ、前記照射領域を通過する表面に基準パターンを形成したキャリブレーション用の基準基板とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】４電極面放電構造のプラズマディスプレイにおける補助電極の近傍に形成される壁電荷をなくし、補助電極の断線が生じにくくする。
【解決手段】第１および第２の基板１１，２１と、第１の基板上に配列されて表示放電のための電極対を構成する第１および第２の行電極Ｘ，Ｙと、電極対の電極間に配置された第３の行電極Ｚと、第１および第２の行電極Ｘ，Ｙを被覆する焼成ガラス層１７とを有したプラズマディスプレイパネル１において、第３の行電極Ｚの厚さｔ２を第１および第２の行電極の厚さｔ１よりも大きくし、第３の行電極Ｚを覆わないように焼成ガラス層１７を形成する。 （もっと読む）

【課題】おもにプラズマディスプレイ用部材のパターン現像工程において、パターン形成基板上に上述した再付着ということに起因する異物発生を生ずることが少なく、歩留まり良くパターン形成することを実現する液体除去装置、さらに液体除去装置を含むパターン形成方法を用いたプラズマディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の表面に付着した液体を取り除く液体除去手段を有する液体除去装置であって、該基板が通過する位置の上方に液体落下防止手段を具備することを特徴とする液体除去装置。 （もっと読む）

【課題】潜像が形成された基板にパターン形成を行うに当たり、現像に用いた後の汚濁した現像液中の不溶物を効率よく回収して清澄する現像液清澄装置、および該現像液清澄装置を有するパターン形成装置を用いたプラズマディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】潜像が形成された基板を現像液に接触せしめて現像を行う現像処理工程から排出される現像液を清澄する現像液清澄装置であって、
（ａ）気泡を発生させる気泡発生手段、および
（ｂ）浮遊した不溶物を除去する不溶物除去手段
を具備したことを特徴とする現像液清澄装置。である。 （もっと読む）

【課題】複数に分割された構成の表示電極において、断線のない信頼性の高い電極およびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のＰＤＰの製造方法は、主放電ギャップ２１を配置された走査電極５と維持電極６とを備え、走査電極５と維持電極６が複数の電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄにより形成されたＰＤＰの製造方法であって、電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄをフォトリソグラフィ法を用いて形成し、そのフォトリソグラフィ法の露光工程は複数の電極線のうちの少なくとも一つを露光パターンの異なる露光マスクを用いて複数回露光する工程としている。 （もっと読む）