【課題】電子放射効率が高く且つ長寿命な電子線源を得ることが可能な電子線源の製造方法を提供する。
【解決手段】タンタルを含む合金からなる線材５９Ｐを、タングステンを含む合金からなる基材５８Ｐに当該基材５８Ｐが覆われるように巻き回し、複合構造体５３Ｐを形成する。そして、複合構造体５３Ｐの線材５９Ｐに炭化処理を施すことで、基材５８Ｐを給電部材５８として形成すると共に線材５９Ｐを電子放出部材５９として形成する。従って、炭化タンタルを含む線材５９Ｐを、基材５８Ｐに巻き回すように設けることが可能となる。すなわち、高温耐性に優れたタングステンを含む基材５８Ｐに、仕事関数の小さい炭化タンタルを含む線材５９Ｐを安定して固定することができる。 （もっと読む）

【課題】電子放出部材の通電性を向上すると共に、電子放出部材における電子放出面の面積を増加する。
【解決手段】カソード５３は、タングステンで形成された給電部材５８と、タンタルで形成された線材である電子放出部材５９と、を備えている。また、隣接する電子放出部材５９の外周面が互いに接触するように、電子放出部材５９が給電部材５８に巻き回されている。よって、電子放出部材５９では、巻回方向に沿って電流が流れるだけでなく、巻き進む方向に沿っても電流が流れるため、電子放出部材５９の通電性が向上される。さらに、巻き回された電子放出部材５９において露出する外周面Ｓ２が電子放出面として機能することから、電子放出部材５９が線材であるため、電子放出面Ｓ２が凹凸の連続するような波状曲面となり、電子放出面Ｓ２の面積が増加される。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスの電子ビームを得る。
【解決手段】平面カソード、ウェーネルト、引き出し電極（又はアノード）を有する電子銃の後方に、レンズを設けてクロスオーバを形成することにより高輝度でエネルギー幅の小さい電子ビームを実現した。このビームを得るために、カソード電流Ieとカソード半径Rcは、単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、シミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.3＋0.026Rcとし、電子銃の輝度は前記レンズの強さを変えて調整する。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係を示すシミュレーション値５７１（破線）は実測値５７２と比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】Langmuir limitを遙かに超える高輝度あるいは超高エミッタンスを得る
【解決手段】平面カソード、ウエーネルト、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソードとアノード間距離をDacとした時、電子銃電流をIe (mA)をつぎの範囲にする、
0.388/Dac -0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28、 Dac ≧ 3 mm, あるいは
0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦22/Dac + 32.7、 Dac < 3 mm.
また、凹面形状カソード、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソード半径をRc(mm)とした時電子銃電流をIe (A)をつぎの範囲にする、
0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.159Rc³ + 0.35. Rc ≦ 2.5 mm, あるいは

0.733Rc - 0.5 ≦ Ie ≦ 0.255Rc³ - 1.17. Rc > 2.5 mm. （もっと読む）

【課題】
高電圧接続部の絶縁不良を抑制し、信頼性の高い電子銃を提供する。
【解決手段】
接続ブッシング１１の絶縁性樹脂２５の外側に密着して、導体シールド２７を設けることによって、電界集中を緩和することができる。この導体シールド２７により、受電部金属部２３と接続ブッシング１１との電位差を等しくすることができる。さらに、この導体シールド２７を受電部接合部２６より受電側フランジ端子２２側、すなわち受電部碍子部２４に対向する位置まで伸ばすことにより、受電部接合部２６の電界集中を著しく緩和することができる。
【効果】
高電圧接続部の空間への電界集中を防ぎ、放電を抑制することができるため、沿面を広げたり、フッ素を主成分とする絶縁性液体や絶縁性ガスを充填しない場合でも、絶縁耐力を保持することができる。 （もっと読む）

【課題】電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、信頼性の高い安定した電子線を与える電子源を提供する。
【解決手段】電子放射部を有する陰極が、絶縁碍子に設けられた２つの導電端子のそれぞれに接続された２本のフィラメントの先端で挟むように接合され、前記陰極の電子放射部とは異なる端部が絶縁碍子に固定されていることを特徴とする電子源であって、前記２本のフィラメントが陰極の中心軸に対して２回対称であることを特徴とする電子源、好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属部材を介して絶縁碍子に固定され、さらに好ましくは、前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とする前記の電子源。 （もっと読む）

イオン注入機システムのイオン源のための、電子生成及び集束用溝を有する陰極、イオン源及び関連方法を開示する。一実施形態において、陰極は作業面に設けられた複数の電子生成及び集束用溝を有する。イオン源の反射電極も同様の構造にすることができる。
（もっと読む）

【課題】20%以上の高い効率で再放出陽電子を発生させることができる陽電子輝度増強透過型のニッケル薄膜製の減速材を提供する。
【解決手段】（１）厚さが100nm〜200nmであるニッケル薄膜を、水素ガス雰囲気中で700℃〜800℃の温度範囲で熱処理し、
（２）水素ガス圧が0.001333 Pa（10^-5Torr）以上、0.013332 Pa（10^-4 Torr）未満である水素ガス雰囲気中で、該水素ガスを電子衝撃することにより生成した水素原子および／または水素イオンで、前記熱処理をしたニッケル薄膜を衝撃して、該ニッケル薄膜の表面を清浄にする。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスのビームを得る。
【解決手段】電子銃は光陰極のカソード、平面の一部の形状の引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流Ieとカソード半径Rcの単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、カソード電流をシミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.4＋0.026Rcとする。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係は、シミュレーション値５７１（破線）と実測値５７２は比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】フィラメントと融着することなく、フィラメントを十分に固定することのできるフィラメント固定機構を提供する。
【解決手段】フィラメントの端部４ＡＴを挟んで対向配置された第１および第２の部材２０，３０と、フィラメントの端部４ＡＴと共に第１および第２の部材２０，３０の間に挟まれた押さえ板４０と、第２の部材３０を第１の部材２０に締結するボルト５０とを備える。第１の部材２０は、ボルト５０の締め付け方向と交差する方向に支柱部２１から突き出した腕部２２，２３を有する。第２の部材３０は、平板部３１の両端部に立設する鉤部３２，３３を有する。ボルト５０を締め付け方向に回転させることで、腕部２２，２３と鉤部３２，３３とが当接したのち、押さえ板４０と支柱部２１の接触領域２１Ｓとによってフィラメントの端部４ＡＴが十分強固に把持される。 （もっと読む）

【課題】熱陰極からの放熱を減らすことにより、集積化および大面積化を可能とするとともに、消費電力を少なくでき、さらに、通電後の高速応答を可能とすることにより、待機電力を不要とし消費電力を少なくできる熱電子源を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上に設けられ、表面に複数の微細な穴６を有する導電性の熱陰極３とを備え、熱陰極３からの放熱を減らし集積化および大面積化を可能とするとともに、通電後の高速応答を可能とすることにより、消費電力を少なくした。 （もっと読む）

【課題】広領域にわたって均一で、高電流密度の電子ビームをビーム径固定若しくは可変に形成する電子銃、その電子銃を適用し、広領域のビームスキャンに対応し，照射時間スループットに対応した電子線照射装置、或いは被処理物上ビームが均一で、高電流密度の電子線効率を高めた電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子光学系の上流側に配置されたコイルフィラメント５と、長手方向に直線部を有する第１長穴６ａを有し，コイルフィラメント５を収納する金属集中キャップ６と、金属集中キャップ６より電子光学系の下流側に配置され，第１長穴６ａと直角方向に配置した第１長穴より大きい第２長穴７ａを有するアノード７とを備える電子銃、及びその電子銃と、アノード７より電子光学系の下流に配置した偏向器８とを備える電子線照射装置。 （もっと読む）

粒子ビーム発生装置は、粒子源に隣接して配置され、粒子ビームを生成するために該粒子源から粒子引出手段の引出開口内へ粒子を引き出す粒子引出手段と、前記ビームのエネルギーを増加させるために、引き出された粒子を加速させる粒子加速手段と、前記粒子ビームを集束させる集束手段とを備え、前記粒子引出手段と、前記粒子加速手段と、前記集束手段との各々は、順に配置されており、粒子が移動する通路を画定するように一直線に並んで配置された開口を有するものであり、前記粒子引出手段は、少なくとも一対の電極を有するレンズ構造を備え、該電極は、該電極の各々に異なる電位を印加することを可能にするように絶縁材料の層によって互いに分離されており、前記電極の１つは引出開口を有する引出板を備え、該引出板は、前記源と該引出板との間の電位差により前記粒子源から前記引出開口内へ粒子を引き出すものである。
（もっと読む）

【課題】電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。
【解決手段】絶縁碍子に一対の導電端子を設け前記導電端子間に張ったフィラメントに電子放射部を有するチップを接合してなる電子源であって、チップの電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子に固定されていることを特徴とする電子源であり、好ましくは、チップの電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属ピンを介して絶縁碍子に固定され、さらに好ましくは前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とする前記の電子源。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント寿命を縮めることなくフィラメント電流値の最適値を決定できる方法を提供する。
【解決手段】 エミッションパターン画像に対し、複数の濃度値を閾値としてパターン部と背景部とに識別した複数の２値化画像を作製する。次に、得られた各２値化画像のパターン部に対し、同じ画素方向における中間点群と、該中間点群から求めた近似直線との分散を求め、各２値化画像における分散の平均値を算出して、このフィラメント電流値におけるエミッションパターンの評価値とする。この評価値が事前に設定された閾値と比較し、閾値以下となるまで所定の変化幅だけフィラメント電流値を増加させて、順次フィラメント電流値の最適化を行う。 （もっと読む）

【課題】電子ビームシステムにおいて好適に使用される回転可能な構造を有する電子銃を提供する。
【解決手段】この構造２００は、第１回転軸の周りで概ね円形の断面を有すると共に、その両端部に第１係合端部及び第１外端部を含む第１部分４００と、第２回転軸の周りで概ね円形の断面を有すると共に、その両端部に第２係合端部及び第２外端部を含む第２部分４０２と、を具備する。第１及び第２外端部の夫々は環状突部３０２、３０４を含む。第１及び第２係合端部は、実質的に同じ内径と実質的に同じ外径とを有すると共に、夫々に沿って等間隔に間隔をおいて形成された凹部４１８、４２０を含む。第１及び第２回転軸が位置合わせされ且つ第１及び第２係合端部の対応する凹部４１８、４２０が位置合わせされるように、第１及び第２係合端部が接合された状態において、位置合わせされた凹部が電子ソースを受け入れるように夫々が構成された開口３００を形成する。 （もっと読む）

【課題】フィラメントの細り具合（断面積の変化）によりフィラメントの消耗状態を検出する、特に、フィラメントの細り具合（断面積の変化）をエミッション電流の電流値を測定することなく検出する。
【解決手段】フィラメント電流の通電による加熱によって熱電子を放出する電子銃フィラメントの消耗状態をモニタする電子銃フィラメントのモニタ方法において、熱電子放出が零となるカットオフ点におけるフィラメント電流を求め、このフィラメント電流に基づいてフィラメントの消耗状態をモニタする。カットオフ点におけるフィラメント電流は、エミッション電流が零となるフィラメント電流から求める。熱電子放出が零となるカットオフ点でのフィラメント電流を用いることによって、従来のようなエミッション電流の測定を要することなく、フィラメントの消耗状態をモニタし、フィラメント電流の最適値を予測する。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の微細パターンを有する半導体ウエハ等の試料の評価を高スループットで行うための電子線装置を提供する。
【解決手段】電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。電子銃６１は、カソード１及び引出電極３を有し、カソードの電子放出面１ａは、凹面である。引出電極３は、カソードの電子放出面１ａに向かい合う第２の球の部分外面からなる凸面３ａ及び電子を通すための凸面を貫通する穴７３を有する。引出電極３と試料の間に多極子の非点発生レンズ４４を備える。 （もっと読む）

【課題】Langmuir limitを遙かに超える高輝度あるいは超高エミッタンスを得る
【解決手段】平面カソード、ウエーネルト、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソードとアノード間距離をDacとした時、電子銃電流をIe (mA)をつぎの範囲にする、
0.388/Dac 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28、 Dac ≧ 3 mm, あるいは
0.388/Dac 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7、 Dac < 3 mm.
また、凹面形状カソード、引き出し電極又はアノードとなる球面引き出し電極電子銃で、カソード半径をRc (mm)とした時電子銃電流をIe (A)をつぎの範囲にする、
0.733Rc 0.5 ≦ Ie ≦ 0.159Rc³ + 0.35. Rc ≦ 2.5 mm, あるいは
0.733Rc 0.5 ≦ Ie ≦ 0.255Rc³ 1.17. Rc > 2.5 mm. （もっと読む）

【課題】熱電子放出型電子銃の外形寸法を大きくすることなく放熱や伝熱による熱損失を低減して、電子銃全体の系の熱的安定性を保つ。また、フィラメント電流を低減してフィラメント寿命の短命化を抑制し、フィラメント寿命を延ばす。
【解決手段】熱電子放出型電子銃の各部分の表面に断熱塗料を塗布し、この断熱塗料層によって外部との間の熱伝達を低減する。断熱塗料層は、熱電子放出型電子銃の各部分に設けることができ、例えば、熱電子放出型電子銃を構成する外筒部の大気側、磁気シールド部材の片面あるいは両面、排気管の大気側等の設ける他に、熱伝達経路となる部材の一部あるいは全部とすることができる。この断熱塗料を塗布することで、各外筒部からの放熱、磁気シールド部材からの放熱および加熱、外部との間に熱の出入りを抑制する。 （もっと読む）