【課題】荷電粒子ビーム発生装置運転時の電極支持枠の熱膨張を抑え、開口部の形状が変形し難いスリット電極を提供する。
【解決手段】スリット電極は、開口部３を有する電極枠体２と、電極枠体２に着脱可能に取り付けられた複数の電極ユニットＵから構成されており、前記複数の電極ユニットＵの各々は、開口部３内に並設された複数本の電極棒５と、開口部３を挟んで各電極棒５の長手方向の端部を支持する一組の電極棒支持部材６とから構成される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム発生装置の運転時に、開口部の形状が熱変形し難いスリット電極を提供する。
【解決手段】スリット電極２０は、開口部２２を有する電極枠体２１と、長手方向において電極枠体２１に対して移動可能に支持されているとともに、長手方向と略直交する方向に沿って開口部２２に並設された複数本の電極棒２３とを備え、電極枠体２１には、少なくとも開口部２２の外周領域の一部に電極枠体２１に冷媒を流入する為の冷媒流入口Ｒ_ＩＮと電極枠体２１から冷媒を流出する為の冷媒流出口Ｒ_ОＵＴとを備えた冷媒流路Ｒが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 カーテン状に電子線を照射できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】 エミッタ１４とゲート電極１５間の電圧を数ｋＶ、グリッド電極１９と金属膜（陽極）１８間の電圧を約４０ｋＶとすると、エミッタ１４から電子線１６が発生し、発生した電子線１６は電極１５によって方向が定められ、グリッド電極１９によって範囲が絞られ、窓部１７から外部に向かってカーテン状に照射される。 （もっと読む）

【課題】角電流密度が高く、エネルギー幅が小さくて、しかもトータルエミッション電流を抑制した安定な電子ビームが得られる電子放射陰極を提供する。
【解決手段】軸方位が＜１００＞方位の高融点金属の単結晶からなるニードルに前記高融点金属の仕事関数を低減するための元素と酸素とからなる被覆層を設けた電子放射陰極であって、前記ニードルの少なくとも円錐部に（１００）面が形成されておらず、しかも前記高融点金属の単結晶からなるニードルの尖鋭部に内接する球の半径をＲ１、先端円錐部の全角をテーパー角θとするときに、先端半径Ｒ１が１．０μｍ以上１０μｍ以下であり、テーパー角θが２５゜以下であることを特徴とする電子放射陰極。 （もっと読む）

【課題】アークチェンバー内のプラズマからフィラメントをシールドする機能を果たすカソードイオン源に使用されるカソード組立体を提供する。
【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオン源が、アークチェンバーを定めるアークチェンバーハウジング、間接的に加熱されるカソードおよびカソードを加熱するフィラメントを含む。カソードは、正面、背面および周囲を有する放出部分、放出部分の背面に取り付けられる支持ロッド、ならびに放出部分の背面から伸長するスカートを含む。カソード組立体がカソード、フィラメントおよびカソードとフィラメントとを固定した空間関係で取り付けるため、さらにカソードおよびフィラメントに電気的エネルギーを伝えるクランプ組立体を含む。フィラメントは、放出部分およびカソードのスカートにより定められる空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】照射対象物に均一に分布する電子ビームを照射することができる電子ビーム照射装置およびその方法を提供する。
【解決手段】本発明の電子ビーム照射装置は、電子を発生させる電子発生器２４を備え、電子発生器２４が電子を発生させる少なくとも１つの電子源３０を収容するハウジング２６を有し、電子源３０が所定の幅を有し、ハウジング２６が、電子源３０から距離をあけて配置された電子透過領域３２を有し、電子透過領域３２がハウジング２６に形成され、電子源３０の所定の幅を横断する横断方向に延在する一連の狭く細長いスロットおよびリブを含み、電子源３０によって発生される電子を電子源３０の所定の幅を横断する横断方向に拡散させるように、前記少なくとも１つの電子源に対して構成され、位置決めされている。 （もっと読む）

【課題】 電子放出源としての条件を満たし、整列性がよく、単一ビームの電子カラムとマルチビームの電子カラムの構造においても好適な電子放出源が必要である。
【解決手段】
本発明の電子放出源は、所定の位置に貫通しないアパーチャまたは溝（ｃｏｎｃａｖｅ ｏｒ ｗｅｌｌ）が形成された基材または蒸着などにより所定の部位が突出した基材、前記溝の内面にまたは突出した表面に付着された触媒または接着剤層、及び前記触媒または接着剤に成長または付着されるナノ構造チップを含む。 （もっと読む）

【課題】 引出し電極の熱変形を防止しつつ、照射幅方向における電子線量分布の偏りを防止する。
【解決手段】 この電子線照射装置は、Ｘ方向に搬送される被照射物２２に向けて電子線を照射する電子線照射装置である。電子を放出する複数のフィラメントに対して平行に配置され、フィラメントから放出された電子を電子線としてＺ方向に引出す板状の引出し電極２４を備える。この引出し電極２４は、互いに同電位のものがＺ方向に１段以上配置されている。Ｚ方向最下流側の引出し電極２４が、Ｙ方向に複数の電極片２４ａ〜２４ｃに分割されている。一の電極片２４ａ〜２４ｃとこれに隣接する他の電極片２４ａ〜２４ｃとの間に、Ｙ方向及びＸ方向のいずれにも交差する方向に第１の隙間σ₁ が形成されている。 （もっと読む）

【課題】大きな領域に、効率よく、電子線を照射することが可能な、より簡素な構成、構造の電子線照射装置を提供する。
【解決手段】面状電子放出素子２と位置決め手段とが一のチャンバ４内に備わり、面状電子放出素子２から放出される電子線１１が、直接、被照射物１２に照射されるように構成される電子線照射装置１である。この電子線照射装置１は、面状電子放出素子２が、誘電体で構成されたエミッタ部と、電子を放出するための駆動電圧が印加される第１の電極及び第２の電極と、を有し、第１の電極は、エミッタ部の第１の面に形成され、エミッタ部が露出される複数の貫通孔を有し、第１の電極のうち、貫通孔の周部におけるエミッタ部と対向する面が、エミッタ部から離間しており、エミッタ部の第１の面から貫通孔を通じて電子線１１を放出するものである。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント軸方向の中央側である窓部材中央領域における窓の発熱を抑制して、窓部材中央領域の窓の破損を防止するとともに、各窓から放射される電子ビーム出力を均一化する。
【解決手段】 真空容器の内部に電子を放出するフィラメントが直線状に配置され、電子を透過する窓２４ａがフィラメント軸Ｘ−Ｘに沿って複数個形成された窓部材２４を有する電子ビーム管において、それぞれの窓２４ａは同じ形状であって、フィラメント軸方向の中央側である窓部材中央領域Ａにおいては、隣合う窓のフィラメント軸に沿った離間距離が、フィラメント軸方向の窓部材周辺領域Ｂにおける隣合う窓のフィラメント軸に沿った離間距離より、大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】電子線源における電子加速電極板をシールド電極開口へ、従来より簡単に、精度よく取り付けることができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】熱電子放出用のフィラメント１と、これに臨設された電子引出し電極２と、これらを囲むとともに電子取り出し開口３３を有するシールド電極３と、シールド電極開口３３に取り付けられた電子加速電極板４とを有する電子線源１０を減圧用容器２０内に設置し、容器２０には電子線照射窓２０１を形成した電子線照射装置Ａ。加速電極板４は外縁部４１が環状枠部材５に保持され、枠部材５がシールド電極開口内周部に沿って設けた部材３５に電極３外側から当てがわれて電極３外側からネジＳ１で留められる。 （もっと読む）

【課題】 最上流側の引出し電極を構成する引出し電極片の熱変形に起因するＹ方向の電子線量分布の均一性悪化を防止する。
【解決手段】 この発明に係る電子源は、電子線１４の引出し方向Ｚに１段以上の引出し電極を有している。その内の最上流側の引出し電極１０ａは、Ｙ方向において複数の引出し電極片２２に隙間２６を設けて分割されている。そしてこの引出し電極１０ａを構成する各引出し電極片２２のＹ方向の長さＬ_Y を、各引出し電極片２２のＸ方向の長さＬ_X 以下にし、かつ、各引出し電極片２２のＹ方向の両端部に、当該両端部を断面Ｌ形に折り曲げた折曲げ部３０をそれぞれ形成している。 （もっと読む）