【課題】ＳＣＡＬＰＥＬおよび同様な投影電子リソグラフシステムで使用される、従来の結合品の欠点を、単結晶カソードと部材を含む結合品により、熱および／または構造体のサポートを与え、その結果、単結晶カソードの結晶構造は、カソードを部材に結合した後も維持されるようにする。
【解決手段】単結晶カソードと、単結晶カソードに接合される部材を有する接合品において、単結晶カソードの単結晶構造は、接合後も保持されている。 （もっと読む）

【課題】オンオフ動作による繰り返しの熱応力でカソードパイプと円筒形状ヒータとの接続部で破壊を生じず、安定に電子供給が可能となり、かつ、歩留まりが向上するホローカソードを得ること。
【解決手段】オリフィス２に接触した中空陰極５を内含するカソードパイプ４の周囲に、円筒形状ヒータ６を配置するとともに円筒形状ヒータ６を断熱シールド８で囲んで、絶縁体で被覆された円筒形状ヒータ６の発熱部３１とカソードパイプ４を非接合で固定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、電子顕微鏡の電子源の電界強度を向上させ、取得する観察画像を鮮明とすることにある。
【解決手段】上記目的を解決する本発明の特徴は、カーボンナノチューブを有する電子放出陰極と、電子を電界放出させる引出装置とを有する電子顕微鏡であって、先端部に略円錐形状の鋭角部を有するカーボンナノチューブを用いる点にある。また、鋭角部を有するカーボンナノチューブを、相転移温度より低温側及び高温側で静置して熱処理する工程を有する製造方法を用いる点にある。 （もっと読む）

【課題】フィラメントの寿命の長い電子銃および電子ビーム発生装置を提供すること。
【解決手段】電流が流れて加熱することにより電子を放出するフィラメント４０と、フィラメントを収容し電子が通過する開口１６の形成されたカソード１０であって、フィラメントの開口側に配置されフィラメントを覆う覆い１４と、フィラメントから離隔した位置で開口に向けて形成された突部２０とを有するカソード１０と、カソードの開口を通過した電子を加速するアノード３０とを備える電子銃１。上記の電子銃と、電子銃に電圧を供給する電源とを備える電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

【課題】２つの熱イオン電子源を用いて耐用年数を向上させ、またこれらの熱イオン電子源を迅速かつ効率的に交換することが可能な、低価格で小型高性能の電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は、主熱イオン電子源４４、副熱イオン電子源５８及び集束電極６２を備える第１のハウジング１２と、アノード及び集束コイル８６Ａ、８６Ｂを備える第２のハウジング１４と、偏向コイル１０４Ａ、１０４Ｂを備え、第２のハウジング１４に接続し、かつ第１のハウジング１２の反対側に位置する第３のハウジング１６と、を備えるアセンブリからなる。電子銃１０は、耐用年数を向上させるために２つの熱イオン電子源４４、５８を用いる。電子銃１０の寸法は、この電子銃１０の出力定格を制限することなく２つの熱イオン電子源４４、５８を容易に交換できるように小型になっている。これにより、長寿命、低価格、かつ汎用性の高い電子銃１０が得られる。 （もっと読む）

電子ビームカラムは電子ビームを生成する熱電界放出電子源と、電子ビームブランカと、ビーム整形モジュールと、複数の電子ビームレンズを含む電子ビーム光学系とを備える。１バージョンでは、電子ビームブランカ、ビーム整形モジュール、および電子ビーム光学系の光学パラメータは、約１／４から約３ｍｒａｄの受容半角βを達成するように設定される。受容半角βとは、描画面で電子ビームによって張られる角度の半分である。ビーム整形モジュールはまた、上部および下部投影レンズを使用して単レンズとして動作することもできる。電子ビームカラム用の多機能モジュールについても記載する。
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【課題】広い面積に対して均一な電流密度で電子を照射できる電子線光源を提供すること。
【解決手段】ターゲットＴに電子流ＥＦを照射するための電子線光源において、二次元配列され、電子ビームＥＢを形成する複数の電子銃１０と、前記電子銃１０により形成される電子ビームＥＢの電流密度をガウシアン分布とし、これらをオーバーラップさせることで、前記電子流ＥＦを形成する第３グリッド５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来では真空室を超高真空に保つため装置構造が特殊で、複雑かつ高価な差動排気システムが必要で、製造価格が高価で取り扱い操作が煩雑化である。
【解決手段】本電子源３は、電子放出用の陰極３１と、制御電圧に応じて陰極３１から電子引き出しを制御する制御電極３２と、陰極３１との間で高電圧を印加されて電子を加速させる陽極３３とを備え、陰極３１を、導電体３１ａの表面に電子放出面が配向された配向性カーボンナノウォール膜３１ｂを形成して低真空型としたもの。 （もっと読む）

【課題】 加熱されたフィラメントからの輻射熱や電子衝突が生じても、台座からの放出ガスに起因するフィラメントの消耗や劣化を防止することができ、これによりフィラメントの寿命が不要に短縮されることのないフィラメントアセンブリを提供すること。
【解決手段】 本発明におけるフィラメントアセンブリ１１は、台座１２と、台座１２に取り付けられたフィラメント支持部１３と、フィラメント支持部１３に支持されたフィラメント１５とを備え、フィラメント１５が配置される側の台座表面１２ａに、台座１２からのガス放出防止用の被膜１７が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム機器用のエミッタを提供すること。
【解決手段】前記エミッタは、第１および第２の支持部（２）に取り付けられ、それらの間を延びるフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられるエミッタ先端部（４）と、第３の支持部（５）およびフィラメント（３）に取り付けられる安定化要素（６）とを備え、第１、第２、および第３の支持部（２、５）により三角形が画定され、そのため、安定化要素（６）は少なくとも部分的に、フィラメント（３）が延びる方向に直交する方向に延びる。 （もっと読む）

本発明は、発散する荷電粒子ビームを発生させるための荷電粒子源と、この発散する荷電粒子ビームを屈折させるための集束手段と、複数のレンズを有するレンズアレイとを具備し、このレンズアレイは、前記荷電粒子源と、前記集束手段との間に位置されている複数の荷電粒子小ビームを発生させるための装置に関する。このようにして、前記集束手段の収差を減少させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント電流を低減してフィラメント寿命の短命化を抑制し、フィラメント寿命を延ばす。放熱や伝熱による熱損失を低減して、電子銃全体の系の熱的安定性を保ち、印加電力に対するエミッション電流の利用効率を向上させる。
【解決手段】 フィラメントから放出される輻射エネルギーをフィラメント先端に集光させ、電子放出源であるフィラメント先端部分の温度上昇に用いることによって、同等なエミッション電流を得るに要するフィラメント電流を低減させることができ、フィラメント寿命の短命化を抑制し、フィラメント寿命を延命させる。輻射エネルギーをフィラメント先端に集光させることによって、フィラメントからのウエーネルトやウエーネルト取り付け部に伝熱することで生じる熱損失を減少させ、電子銃全体の系を熱的な安定化させ、構成部材の放射率を低減させることで、伝熱による熱損失を減少させ、電子銃全体の系の熱的安定化を図る。 （もっと読む）

【課題】 電界で壊れやすい陰極を使用し、かつ高電界を加えて電子流を希望する速度まで加速する方法及び装置を開発すること。
【解決手段】 本発明は、電界により壊れやすい陰極を設置した、低電界電子放射部と、高電界を加えて電子流を高速度に加速する高電界電子流加速部とを、９０度から１８０度の位置関係に設置し、いくつかの電磁石を使用して、低電界電子放射部と高電界電子流加速部との間を、曲線的に連結することにより、高電界電子流加速部の電界の影響を、陰極の設置された低電界電子放射部に及ぼさないようにし、壊れやすい陰極を長時間の使用に耐えられる構造にした。 （もっと読む）

【課題】 小型で且つ耐高電圧特性に優れた電子銃を提供する。
【解決手段】 高電圧絶縁碍子４の大気側にウェネルト２と同電位にしたメタライズ電極１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子顕微鏡や電子線描画装置などの電子線応用装置において、用いられるＳＥ電子源に関し、制御電圧でプローブ電流を可変させる電子銃において、最適の電子源の構造を提供することを目的とする。
【解決手段】ＳＥ電子源の構造として、チップ先端のコーンアングル１５度以下，曲率半径０.５μｍ 以下を採用した電子源。
【効果】本発明を採用したＳＥ電子源を使った電子銃では、制御電圧の変化に対して、得られるプローブ電流の可変範囲が大きくなるため、１個の引き出し電圧設定で充分である。しかも、その引き出し電圧の値も小さくなるため、放電によるチップの破損もなくなり、電子銃の安定度が増加する。 （もっと読む）

【課題】
ビーム幅を狭め、直線性を向上した装置の提供。
【解決手段】
スリット１０４が設けられた陽極電極１０３を備え、陽極電極の一側に対向配置される複数のディップ１０１を備え、陽極電極の他側に被加工物を配置し、被加工物には、前記複数のディップ１０１から放出されスリット１０４を通過した電子ビームが照射される。また電子の放出方向に磁場を印加する手段を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】被処理体への電子線の照射条件の安定化が容易で、且つ、処理効率を向上可能な電子線照射処理方法および電子線照射処理装置を提供する。
【解決手段】電子を放出可能な電子放出部から被処理体へ電子線を照射することにより被処理体に物理的作用もしくは化学的作用もしくは生物的作用を生じさせる処理を行う電子線照射処理方法であって、電子放出部として、表面が平面状である表面電極７と下部電極５との間に表面電極７を高電位側とする駆動電圧が印加されたときに電子が通過する電子通過層たる強電界ドリフト層６を有し表面電極７を通して電子を放出する平面型の電子源１０を用い、電子源１０の表面電極７の表面に被処理体２０を接するようにして電子源１０から被処理体２０へ電子線を直接照射する。 （もっと読む）

【課題】 フィラメントの表面に微量な付着物が残存した状態でエージングを行っても、フィラメントを構成するタングステンの劣化を防止することができ、これによりフィラメントの寿命を長くすることのできるフィラメントアセンブリを提供すること。
【解決手段】 本発明におけるフィラメントアセンブリ１１は、真空下において加熱され、電子を放出するフィラメント１５を備えたフィラメントアセンブリ１１において、当該フィラメント１５には少なくともタングステンが含まれており、前記真空下における加熱により溶融されて蒸発する金属からなる金属保護膜が当該フィラメント１５の表面に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子線露光装置やオージェ分光装置等に好適な、高い角電流密度動作においても全放射電流量が少ない電子放射源を提供する。
【解決手段】タングステン又はモリブデンの単結晶ニードルに、２Ａ族、３Ａ族及び４Ａ族からなる群から選ばれる１種以上の金属元素を拡散するための供給源を設けてなる陰極と、前記単結晶ニードルを突出させる穴を有するサプレッサー電極とを具備する電子放射源であって、前記単結晶ニードルの端部が２５°以上９５°以下の円錐全角を有する円錐台形状であり、前記単結晶ニードルの端部の円錐面と単結晶ニードルの側面との境界部の位置が前記サプレッサー電極の穴から突出させていないことを特徴とする電子放射源。 （もっと読む）

【課題】フィラメント交換に要する手間を省き、交換時間を短縮する
【解決手段】試料分析室１の所定位置に配置されるフィラメント４ａと、保存室２に配置される、前記フィラメント４ａと交換するための予備フィラメント４ｂとが、保持板３の表裏に保持されている。そして駆動手段によって、保持板３が、該保持板３の中心を通る軸周りに、面法線方向に回転することにより、フィラメント４ａと予備フィラメント４ｂとが自動交換される。 （もっと読む）