【課題】電子バンチを容易に制御可能な電子源を提供する。
【解決手段】本発明による電子源（１００）は、パルスレーザ光（Ｌ１）を用いて発生させたレーザ航跡場によって加速された電子バンチを生成する電子バンチ生成部（１０）と、パルスレーザ光（Ｌ２）を用いて発生させたレーザ航跡場によって電子バンチを制御する電子バンチ制御部（２０）とを備える。このような電子源（１００）は、電子バンチ伸張器（１１０）および電子バンチ圧縮器（１２０）と組み合わせて好適に用いられる。 （もっと読む）

【課題】導電性碍子を使用する加速管において、表面のドーパント濃度が不均一となるため、導電性碍子の表面抵抗が不均一になることがあるが、この場合でも、内面垂直方向の電位分布を円周方向によらず一定に保つことが課題である。
【解決手段】導電性碍子加速管の内面に円周状の溝を数段設け、溝の内部に沿って金属をメタライズする。加速管表面の特定の部分の抵抗が周囲と違う場合でも、加速管内面のメタライズ領域の電位は一定になるので、加速管内面の垂直方向電位分布を、円周方向によらずほぼ同一に保つことができる。この結果、中心軸上を通過する電子線に横方向の力が働かないとともに、電位勾配もほぼ一定に保つことができ収差を小さくすることが可能である。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、および、当該光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】カソード部３と、前記カソード部３にレーザー光８を照射するレーザー照射口４と、前記カソード部３から放出された電子９を加速する加速空胴部５と、前記加速空胴部５の内部に高周波を導入する高周波導入部１５とを備える光陰極高周波電子銃１において、前記加速空胴部５は、二以上の基本セル１０と、前記基本セル１０同士の間に設けられる基本アイリス１２と、前記基本セル１０の出口に最終アイリス１３を挟んで連通された最終セル１１とを有し、前記最終アイリス１３の厚さは、前記第２アイリス１２の厚さと異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、荷電粒子線装置に関し、電子源から放出される電子の取り込み角を大きくしてコンデンサーレンズでのビームの広がりを小さくして収差を小とし、プローブ電流の増大を図ることを目的とする。
【構成】荷電粒子源Ｅから放出される荷電粒子ビームを引き出す電圧を印加する引出電極Ｔと、引出電極Ｔにより引き出された荷電粒子ビームを減速あるいは加速する電圧を印加する中間電極Ｌと、中間電極Ｌにより減速あるいは加速された荷電粒子ビームを加速する高電圧を印加する加速電極Ａと、加速電極Ａにより加速された高電圧の荷電粒子ビームを細く絞ってあるいは集束した後に細く絞って、試料ＳＰに向けて照射する電子光学系と、電子光学系から試料ＳＰに向けて細く絞って照射される荷電粒子ビームを減速する電圧を印加する減速電極あるいは減速する電圧を印加する試料ＳＰとを備える。 （もっと読む）

イオンを加速し、同時に分散イオン源における電界を弱く維持し、それによって分解能を向上させるために、イオン・ビーム・システムが、抵抗管などの別個の加速電極を使用する。イオン源として磁気光学トラップを使用することができる。
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【課題】 絶縁耐性が高く、かつ劣化しにくい碍子を提供する。
【解決手段】 碍子（２）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）と該一対の電極（４ａ，４ｂ）間に設けられた基体（５）とを有する。基体（５）は、表面における一部の領域（５ａ）が半導電性であり、その他の領域（５ｂ）が絶縁性である結晶体からなる。上述の半導電性である一部の領域（５ａ）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）に電気的に接続されている。また、基体（５）は、一部の領域（５ａ）の表面抵抗値が１０^６〜１０^１１Ω／□であり、その他の領域（５ｂ）の表面抵抗値が１０^１２Ω／□以上である。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子加速装置においては加速電極の間に数十ｋＶの電圧が印加される。このような場合、加速電極間で放電が発生することがある。
【解決手段】加速電極の一部または全部を、金属と比較して融点が高いセラミックスまたは合金よりなる放電抑制層で被覆した荷電粒子加速装置にある。セラミックスまたは合金の放電抑制層により、不純物の微粒子が電界により加速され、電極に衝突した際にも電極から金属蒸気が発生しにくく、電離プラズマとなりにくいため、電極間の放電を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】真空中における絶縁構造体の沿面での絶縁耐力を向上させた真空機器を提供するとことを目的とする。
【解決手段】 絶縁体を介して電位差のある複数の導体が配置された構造を有する５×１０^−２Ｐａ以下の圧力下で使用される絶縁構造体において、少なくとも前記絶縁体の最表面の一部が、米国材料試験協会（ＡＳＴＭ：Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ｔｅｓｔｉｎｇ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）の規格Ｄ５７０に規定された２３℃吸水率が０．３％以下のエポキシ樹脂組成物であり、このエポキシ樹脂組成物は、少なくとも主剤と反応性希釈剤と触媒型硬化剤とから構成される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ電圧分布を滑らかにすることができる加速管を備えた電子源又はイオン源を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によると、加速管は半導電性材料を有する。従って、高速管は、チップからアノード電極を経由して放出される電子線の電流の電流値と同一の電流が流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム装置の保守が容易で、連続排気用の真空ポンプを作動させないで真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム放射窓２４を清浄な空気環境に制御された場所内で真空チャンバ４６に気密にろう付け、溶接または接着結合して密封して連続排気用の真空ポンプを作動させないで持続的に真空を維持する真空チャンバ４６を設け、真空チャンバ内に配置した電子発生器３１で電子を発生し、電子発生器をハウジング３０により囲み、このハウジングは、電子発生器と電子ビーム放射窓間に開口が形成され、ハウジングと電子ビーム放射窓２４間に電圧が供給されたときに、電子を電子発生器３１から電子ビームにして電子ビーム放射窓２４の外に加速し、真空チャンバ内の分子をイオン化し、真空チャンバ内にイオン化された分子を捕獲して真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法。 （もっと読む）

低圧チャンバにおいてイオン照射が誘導される二次放出電子源用の電力供給装置（１４）は、制御入力、２つの高電圧出力、高電圧出力における複数の正のパルス発生用手段、少なくとも複数の正のパルス後の他方の高電圧出力における負のパルス発生用手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子線の放出電流量を安定化するために、第１引出し電極に印加する電圧を制御しても、電子線の軌道の変動を抑えることができる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子線装置は冷陰極型電界放出電子銃を有する。冷陰極型電界放出電子銃は、冷陰極と第１引出し電極と第２引出し電極とを有する。冷陰極と第１引出し電極の間の距離を、第１引出し電極と第２引出し電極の間の距離と比較して短く設定する。冷陰極から放出される電子線の電流量が減衰したとき、第１引出し電極に印加する電圧を増加する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子加速装置においては加速電極の間に数十ｋＶの電圧が印加される。このような場合、加速電極間で放電が発生することがある。
【解決手段】
加速電極の一部または全部を、金属と比較して融点が高いセラミックスまたは合金よりなる放電抑制層で被覆した荷電粒子加速装置にある。セラミックスまたは合金の放電抑制層により、不純物の微粒子が電界により加速され、電極に衝突した際にも電極から金属蒸気が発生しにくく、電離プラズマとなりにくいため、電極間の放電を抑制することができる。 （もっと読む）

加速／減速システムにおける電気的ストレスを低減する技術が開示される。一つの特定の模範的な実施例では、この技術は加速／減速システムとして実現できる。この加速／減速システムは、荷電粒子ビームが通過し得るアパーチャを有する複数の電極を含む加速コラムを備えることができる。この加速／減速システムは、前記複数の電極にそれぞれ電気的に結合された複数の電圧グレーディング要素も備えることができる。この加速／減速システムは、更に、前記複数の電圧グレーディング要素の周囲の電界を緩和するために前記複数の電圧グレーディング要素に隣接して配置された複数の絶縁導体を備えることができる。
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【解決手段】 誘電フィンを有する絶縁導体を備える、イオン注入装置用ターミナル構造を開示する。特定の一実施形態例によると、当該イオン注入装置用ターミナル構造は、１以上の誘電フィンを有する絶縁導体を用いて実現され得る。例えば、当該イオン注入装置は、イオンビームを供給するイオン源を備えるとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、空間を画定しているターミナル構造を備えるとしてよく、イオン源は、少なくとも一部分が前記空間の内部に配設されているとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、電界を変更するべく前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている少なくとも１つの誘電フィンを有する絶縁導体を備えるとしてよい。 （もっと読む）

一体型遮蔽電極を有する電気接続機構を含むイオン加速装置とその方法が開示される。実施形態によれば、イオン注入システムのイオン加速装置は、第１素子と、第１コネクタと前記第１コネクタのまわりの第１カプセル化遮蔽電極とを有する前記第１素子内の第１接続系統と、前記第１のコネクタに連結している前記第１素子以外の第２素子内の第２接続系統とを備え、前記第１カプセル化遮蔽電極は、前記第１素子の第１インターフェース面に隣接した第１遮蔽部を含み、断面において、前記第２接続系統は前記第１素子と接しており、前記第１遮蔽部がほぼＵ形状である。
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粒子ビーム発生装置は、粒子源に隣接して配置され、粒子ビームを生成するために該粒子源から粒子引出手段の引出開口内へ粒子を引き出す粒子引出手段と、前記ビームのエネルギーを増加させるために、引き出された粒子を加速させる粒子加速手段と、前記粒子ビームを集束させる集束手段とを備え、前記粒子引出手段と、前記粒子加速手段と、前記集束手段との各々は、順に配置されており、粒子が移動する通路を画定するように一直線に並んで配置された開口を有するものであり、前記粒子引出手段は、少なくとも一対の電極を有するレンズ構造を備え、該電極は、該電極の各々に異なる電位を印加することを可能にするように絶縁材料の層によって互いに分離されており、前記電極の１つは引出開口を有する引出板を備え、該引出板は、前記源と該引出板との間の電位差により前記粒子源から前記引出開口内へ粒子を引き出すものである。
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【課題】空洞内でロッドを移動させることなく空洞内の周波数の微調整を行なうことができる、小型で構造が簡単な空洞の形状調整装置及び加速空洞の周波数調整装置を提供する。
【解決手段】周波数調整装置１０では、空洞Ｓを形成する壁部２ａに局所的に略凹陥状の空間部３５を設け、それにより空洞Ｓの共振周波数調整に関与する形状変動部３０を形成するとともに、空間部３５に設けた回転操作部３２によって形状変動部３０を形状変動させる。 （もっと読む）

【課題】電圧印加ユニットの耐電圧性を維持しつつ、軸方向及び径方向ともに小型化することである。
【解決手段】真空容器２と、その真空容器２内に設けられる電極８と、前記真空容器２の外壁２１に設けられ、外部から前記電極８に電圧を印加するための高電圧印加ユニット４と、を備え、前記高電圧印加ユニット４が、一端が大気側に、他端が真空側に設けられて、当該他端が前記電極に電気的に接触して電圧を印加する高電圧印加端子４１と、前記高電圧印加端子４１が貫通して設けられ、一端が大気側に、他端が真空側に設けられる絶縁性を有する絶縁体４２と、前記絶縁体４２が貫通して設けられ、前記真空容器の外壁２１に気密に取り付けられるフランジ部４３と、を備え、前記フランジ部４３から大気側及び真空側に突出した前記絶縁体４２の外側周面４２ａを非接触状態にして、さらに、前記絶縁体４２の外側周面４２ａに凹凸部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノイズの影響を排除し、高精度、高再現性があり、大規模加速器における複数のビーム位置計測手段を設置する場合に、それぞれのビーム位置計測信号の同期を確保することができる加速器のビーム位置計測装置を提供する。
【解決手段】アナログ信号処理回路２１は、恒温槽４０１を信号処理回路と温度センサー４０３を収納した信号処理部恒温槽４０７と発熱体４０２を収納した温度調整恒温槽４０８とに分割し、温度調整恒温槽４０８を信号処理部恒温槽４０７と距離を置いて配置し、この両者の恒温槽を管路４０９Ａと４０９Ｂで接続し、管路上に送風装置４１０を配置し、そして電源４０４と発熱体スイッチ４０５と温度制御回路４０６とを恒温槽４０１の外部に配置した構成となっている。また、温度センサー４０３からの温度モニタ信号は温度制御回路４０６に入力し、温度制御回路４０６から発熱体スイッチ４０５へ開閉指令を出力する構成とする。 （もっと読む）