【課題】簡単な構成で、従来のらせん型飛行時間型質量分析装置の総飛行距離を伸ばし、質量分解能を大幅に向上させた飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】試料をイオン化するイオン源と、イオンをパルス的に加速するための手段と、複数のセクター電場で構成され、イオンをらせん軌道で飛行させるらせん軌道型飛行時間型分光部と、らせん軌道型飛行時間型分光部にイオンを入出射させる機構と、らせん軌道型飛行時間型分光部の出射部近傍でイオン軌道を折り返す反射電場と、イオンを検出する検出器とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道型飛行時間型分光部を出射したイオンを前記反射電場で反射させて再びらせん軌道型飛行時間型分光部内に戻し、該らせん軌道型飛行時間型分光部内を往復飛行させることによって飛行時間を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】 試料が破壊されることなくスムーズな元素の離脱を可能とし、試料中の３次元的原子分布を容易且つ正確に再構成することができる。
【解決手段】 ３ＤＡＰにおいて、試料１１の元素の電界蒸発をアシストするための吸着ガスをチャンバー１内に導入する吸着ガス導入機構６が設けられる。吸着ガスとしては、試料１１の元素に吸着し易い（吸着率の高い）ガス種、例えば窒素ガスが選ばれる。 （もっと読む）

【課題】 ナノレベル構造組成観察装置に関し、レーザ光の反射光による測定誤差の発生を防止する。
【解決手段】 針状試料４の表面より、少なくとも外部エネルギー３により原子１つ１つ或いは複数の元素からなるクラスター１集団１集団が外部空間に離脱することにより針状試料４のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置を構成する観察室１の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセスや半導体デバイス開発などで用いられる平板状・薄膜状の試料のＡＰＦＩＭ分析を高い再現性・信頼性で効率よく可能にするような針状体を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板１１と、前記基板上に形成された被分析領域１７とを具備する試料１０の表面に導電材１６を接合して複合体１８を得る接合工程と、前記複合体１８を、前記被分析領域１７の少なくとも一部を備える尖状部と、前記導電材１６の少なくとも一部を備え、前記尖状部に接合した支柱部とを具備する針状体に加工する加工工程と、を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

イオン源、イオンを形成する方法、および質量分析計システムが提供される。本教示はさまざまな実施例において、イオン源、イオン源からイオンを集束させる方法、および飛行時間型質量分析計を操作する方法を提供する。本教示はさまざまな実施例において、質量分析計とともに使用する場合の、マトリックス支援レーザー脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ）イオン源およびＭＡＬＤＩイオン源の操作方法に関連する。さまざまな側面において、複数の操作モードが構成されるＴＯＦ質量分析計の感度と分解能のうち１つ以上の向上を促進するイオン源およびその操作方法が提供される。
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【課題】グロー放電源の領域でのサンプルの冷却を改善すること。
【解決手段】冷却手段として、少なくとも１つのペルチエ素子（２７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 レーザー脱離イオン化質量分析用試料基板において、レーザー光を照射されたときに、妨害ピークを発生させることなく、正確な測定ができ、試料作成にあたっては、試料を均一に塗布することができ、かつ測定後の洗浄が容易であるソフトLDI-MS測定のための試料基板およびそれを用いる測定装置の提供。
【解決手段】 レーザー脱離イオン化質量分析に用いるレーザー光を吸収するイオン化媒体として、焦電性素子、又は前記焦電性素子が強誘電体素子、又は前記焦電性素子が結晶性の素子、又は前記強誘電体素子が結晶性の素子、又は前記結晶性素子の表面が平滑な特定の単結晶を用いる。 （もっと読む）

【課題】特殊電極の表面から放出される固体状、液体状、ガス状の分析物を分析するデバイスを提供する。
【解決手段】圧力、レーザ放射、および電界強度を適当に調整することにより、質量分析法および／または電子常磁性共鳴分光法により形成されたイオンまたはラジカル・イオンを検出し、イオン源を交換しないで、同じイオン容量で、ＥＳＩ、ＦＩ、ＦＤ、ＬＩＦＤＩまたはＭＡＬＤＩ、またはこれらのハイブリッドにより分析用物質をソフト・イオン化するための技術を提供する。 （もっと読む）

レーザ原子プローブ（１００）には、試料台および検出器（１０６）間に対極が配置され、対極（１０８）の開口（１１０）を通して試料（１０４）に照射を行うようビーム（１２２）が位置合わせされたレーザ（１１６）が設けられる。そして検出器および試料台（１０２）は、試料のイオン化のためにパルス駆動される。イオン出発時間および到着時間を定めるのにレーザパルスのタイミングを用いることで、イオンの質量／電荷比の決定が可能となり、従ってその同定が可能となる。レーザが自動的に対象エリアに向けられるようにした自動化位置合わせ方法が記載される。
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