【課題】特定波長の真空紫外光を高出力で放射可能な放電ランプを提供する。
【解決手段】放電ガスとしてネオン（Ｎｅ）ガスを放電管内に封入するマイクロ波放電ランプにおいて、微量（ガス濃度Ｎが５％以下）の一酸化炭素（ＣＯ）ガスをＮｅガスに添加し、放電管内に封入する。そして、マイクロ波発振器によるマイクロ波電力の供給によって放電発光させる。放電中、１５６ｎｍ、１６５ｎｍにおいて高強度の輝線スペクトルが得られる。 （もっと読む）

通常、２．４５あるいは５．８ＧＨｚあるいはＩＳＭバンドの範囲内の別の周波数で駆動されるマイクロ波エネルギーの発振器及び増幅器の源（２）を備えたランプ（１）。当該源は、整合回路３を介して半透明の導波路（６）の凹部（５）に延びているアンテナ（４）へマイクロ波を伝播させる。この導波路は、石英からなり、バルブ（８）を収容する中央の空洞共振器（７）を有している。バルブは、石英からなる密封された円筒（９）であり、希ガスの充填物とマイクロ波で励起可能な材料を含んでおり、マイクロ波によって励起されると可視光を放射する。バルブは、中央の空洞共振器から伸びている脚用ボア（11）に受け入れられる脚（10）を有する。導波路は透明であり、バルブからの光は、反射面の影響を受けて、あらゆる方向に出て行くことができる。マイクロ波は、ファラデー箱によってその表面で制限を受け、導波路から出て行くことはできない。通常、これは、導波路の前面にＩＴＯコーティング（12）を備え、通常、背面で酸化ケイ素コーティング（13）と共に銀からなる光反射性コーティング（10）とワイヤ網（14）を備えており、ＩＴＯにも光反射性コーティングにも接して接地されており、ワイヤ網は、前面と後面の間の導波路の外縁に延びている。光は、集光して利用するためのワイヤ網を通過することができる。 （もっと読む）

紫外線放射硬化システム（１０）が、光ファイバーケーブル又はシリコン管などの基板（２６）を処理するために開示される。システム（１０）は、プロセスチャンバ（１２）を備え、処理されるべき基板（２６）の連続片が搬送される。基板（２６）がプロセスチャンバ（１２）を通って移動すると、マイクロ波発生器（３６）によって活性化されたプラズマランプ（３４）からの紫外線放射が、基板（２６）の表面を処理する。システム（１０）は、異なるサイズの２つの楕円反射鏡（４２，４６）を備え、大きな直径の基板を紫外線放射で効率的に処理できるようになっている。システム（１０）はまた、紫外線伝達導管（５４）を備え、これは、基板（２６）を取り囲むと共に、第１の部分（８４）と第２の部分（８６）とに分割され、第２の部分（８６）は、第１の部分（８４）から動けて、導管（５４）を開き、導管（５４）及びプロセスチャンバ（１２）の内部に、基板（２６）を挿入ないし整列できるようにする。
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高圧放電ランプ（２）は無電極であり、マイクロ波によって励起される。音響共振はプラズマ流を制御し、これを安定させる。この安定化は、放電容器の特別な形状によってサポートされる。このためにセラミック製の縦長の放電容器は、少なくともほぼ一定の内径（ＩＤ）を有する中央部分と２つの終端部に分けられ、これらの終端部の内径は終端部に向かって低減する。
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【課題】装置の小型化を図るとともに光の利用効率の向上を図ることのできる光源装置およびそれを備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】本発明の光源装置は、マイクロ波を出力するマイクロ波電源と、マイクロ波の照射を受けて発光する発光物質が封入される発光空間Ｋを有する発光管１０と、発光管１０の発光空間Ｋ内において互いの端部が所定間隔をおいて対向する一対のアンテナ１１ａ，１１ｂとを有するマイクロ波励起ランプ３２と、マイクロ波励起ランプ３２に対して半椀形状の光束反射面３４ｂが対向するように配置された楕円リフレクタ３４と、マイクロ波励起ランプ３２を挟んで光束反射面３４ｂと対向する反射面３６ａを有した副反射器３６とを備え、発光空間Ｋをマイクロ波励起ランプ３２の光軸周りに取り囲む発光管１０の壁部の少なくとも一部に凸レンズが形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型にして発光物質の封入圧力を高く、かつ放電芯体のギャップの精度及び同軸（同心）度を高くすることができる放電灯の製造方法を得る。
【解決手段】放電容器（３）に保持管（４）が連通接続された石英ガラス製の管体（２）を設け、放電容器（３）と保持管（４）との接続部にロッド状に形成された導電性の放電芯体（６）を配置するとともに、該放電芯体（６）の先端部を放電容器（３）内に突出させ、放電容器（３）側に位置する保持管（４）の基部（４ａ）を加熱・軟化させて圧搾することにより、放電芯体（６）の長手方向中間部を通気可能に仮止めし、管体（２）内を排気した後、該管体（２）内に発光物質を充填して保持管（４）の最外端（４ｂ）を密閉し、次いで、放電容器（３）及び保持管（４）の基部（４ａ）を冷却して発光物質を放電容器（３）内に移動させ、この状態で保持管（４）の基部（４ａ）の外端側を加熱・軟化させて放電芯体（６）の長手方向外端部を気密に包囲する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波放電ランプにおいて、高価なマッチング装置がなくとも、マイクロ波発振源と放電ランプのインピーダンス整合をとること。
【解決手段】金属製チャンバーの中に配置された放電容器内に一対の電極を有する放電ランプのリード線をマイクロ波発振源に接続してマイクロ波を供給し点灯するマイクロ波放電ランプ装置において、金属製チャンバー内の放電ランプのリード線の周囲を金属壁で囲ったインピーダンス調整機構を備える。 （もっと読む）

ランプは発光共振器としての光源（１）、マグネトロン（２）、スタブ整合器（３）を備えている。反射器（４）は、光を略平行光とするように前記光源と前記スタブ整合器の接合部に設けられる。前記発光共振器は石英製の内側円筒と外側円筒からなる筺体（11）を備えている。これらはそれぞれ終端板（16、17）のある円筒状の管（14、15）である。前記共振器内部でマイクロ波に対する接地平面となるような大きさの網目を有するタングステン製ワイヤ網（18）は前記管と前記終端板の間にそれぞれ挟まれている。管と終端板からなる内外の各円筒は密封されている。アース接続部（18’）は前記網から前記円筒の外側へ伸びている。前記終端板に挟まれた前記ワイヤ網の間の前記筺体の軸方向の長さはそのマイクロ波の周波数に対してλ／２である。前記筺体の一端においてモリブデン製の駆動接続部19はタングステン製のディスク部（20）まで伸びている。このディスク部は前記筺体の端部の前記網からλ／１６離れた位置において前記筺体の軸Ａに対して横向きに配置される。前記筺体は励起可能なプラズマ材料、例えば希土類ハロゲン化合物の気体が充填されている。前記ディスク部はアンテナとして作用し、前記整合回路（３）を介して前記マグネトロン（２）によって駆動される。 （もっと読む）

【課題】 封入水銀量の多いランプとした場合でも、ランプ点灯中にアンテナ部材を支持するために焼き込んだガラスとの界面に存在する微小なクラックを起点として、クラックが成長し、ランプが不点灯になるという不具合が生じることのない、放電ランプを具えた電磁波励起光源装置を提供すること。
【解決手段】 石英ガラスからなり、膨出部とそれに連設された細管部を有する放電容器と、放電容器外部に突出することなく、細管部に支持されて先端部が膨出部の放電空間に臨む、放電空間の中で電界を集中させ強める作用をする、金属材料からなるアンテナ部材を備え、放電容器に水銀または金属ハロゲン化物を封入した放電ランプと、アンテナ部材に電磁波を供給する電磁波供給手段とからなる電磁波励起光源装置において、アンテナ部材が放電空間に突出する棒状のアンテナ先端部と、先端部に続くアンテナ主部とからなり、アンテナ主部が少なくとも金属箔部を具え、その金属箔部が細管部内で石英ガラスと密着してなる電磁波励起光源装置とする。 （もっと読む）

【課題】電極を持たない長寿命でかつ、低電力で駆動できるランプを提供する。
【解決手段】ハロゲンガス／希ガス混合で封入された、ガラスからなる放電管（１）は、一端（４）から１／４ラムダの開口部（３）に、アルミナからなる１／２ラムダ導波管（２）に通り抜ける。導波管（２）は、その対向端部（４、５）との間で、共振振動を確立するために銀メッキされる。アンテナ／プローブ（６）は、もう１つの開口部（７）に提供され、増幅器（９）から整合回路（８）を介して駆動される。放電管（１）は、導波管（２）の厚さの２倍より大きい長さを有し、少なくとも一側に導波管（２）から延びている。 （もっと読む）

【課題】照射装置においてマイクロ波のエネルギー量による影響が少ない安定な発光スペクトルを得る。
【解決手段】風量制御機構６が、検出器５，５により検出されたエネルギー量に基づいて、送風機構４の風量を計算する。具体的には、エネルギー量が第１のエネルギー量であるときの風量を第１の風量とし、検出されたエネルギー量が第１のエネルギー量より小さい第２のエネルギー量であるときの風量を第２の風量としたときに、第１の風量＞第２の風量となるように、風量を計算する。次に、風量制御機構６が、送風機構４の風量が、計算された風量となるように送風機構４を制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、有害物質である金属カドミウムを封入することなく、放射される光の波長が２１０ｎｍ〜２３０ｎｍに強い発光強度を持ち、擬似点光源として利用可能なショートアーク放電ランプを提供することにある。
【解決手段】膨出部と該膨出部に連設する細管部とを有する放電容器、該放電容器内に互いの先端部が対向配置するよう設けられたアンテナ、から成る放電ランプと、該放電ランプの該放電空間内に電磁波を供給する電磁波励起手段と、を具備した電磁励起型放電ランプ装置であって、該放電容器内には、水銀を２ｍｇ／ｃｃ〜２０ｍｇ／ｃｃ封入し、バッファガスとして希ガスを封入し、該細管部に配置された該アンテナを介して電磁波を該アンテナ間に集中させ放電プラズマを形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、改良された無電極バルブを提供するものである。
【解決手段】無電極バルブ１は、中空の石英管２を有し、石英管２が一端から延びる強固なステム部３と、他端から延びる短くて中空の先端部４とを有している。石英管２の中空内部５は、石英管２と同径で先端部４に延びており、つまり、先端部４の壁厚６は、石英管２の壁厚７から減少している。また、無電極バルブ１は、キセノンガスを充填し、臭化インジウム量８と微量の金属ハロゲン化物とを光スペクトルを調節するために充填する。 （もっと読む）

【課題】 廃棄処理に際して環境汚染の問題が生じることなく、安価な紫外線光源を実現するとともに、高い点灯性を得て実用化を可能とする。
【解決手段】 紫外線光源１に封入された放電ガス３の成分が、窒素ガス（Ｎ_２），アルゴン（Ａｒ），ヘリウム等であり、Ｎ_２とＡｒとの混合比が０．１：９９．９〜３０：７０、内部圧力が１００〜１０００Ｐａである。この紫外線光源１は、化学反応促進装置１０においては、被反応物２１そのものの中に投入される。マグネトロン発振器１１から出力されたマイクロ波は、被反応物２１と紫外線光源１に照射される。この照射を受けて紫外線光源１は、被反応物２１の中に位置して紫外線を放出し、これを被反応物２１に照射する。これら紫外線とマイクロ波の照射により、被反応物２１の化学反応が促進される。 （もっと読む）

【課題】照射幅が非常に大きく、照度分布が良好で、かつ、照度が高い光照射装置を提供する。
【解決手段】光照射装置１は、マイクロ波発生手段５と、マイクロ波発生手段５からのマイクロ波によって発光する棒状の無電極ランプ６と、無電極ランプ６の光を集光して照射する集光ミラー７とを備える灯具４を、無電極ランプ６の長手方向に複数連結した光照射部２と、集光ミラー７の照射方向に配置され、光照射部２における無電極ランプ６の長手方向に沿って所定の長さ（Ｌ）で延設する１対の反射ミラー８、８を備え、反射ミラー８、８の反射面が所定の間隔（Ｄ）を隔てて対面する光均一化部３とを有し、集光ミラー７からの照射光の焦点位置が、反射ミラー８、８の上端部で、かつ、反射ミラー８、８の間の中央であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、発光セル内の発光物質をマイクロ波のエネルギーのより効率良く発光させることができる光源装置を提供する。
【解決手段】外導体３の両端部に短絡面を有すると共に、外導体３の一端部側から他端部側に向かって外導体３の軸心部に延在する中心導体５を有する半同軸共振器７の外導体３の内部空間のうち、中心導体５の先端と外導体３の他端部側の短絡面との間の間隔内の空間に、発光物質を封入した発光セル９を収容する。中心導体５の先端と外導体３の他端部側の短絡面との間隔ａと、中心導体５の外周面と外導体３の内周面との間隔ｂと、中心導体５の径ｃとの間にｃ＜ａ＜ｂの関係が満たされるように半同軸共振器５が構成される。発光セル９はその外周面を外導体３の内周面に接触させて外導体３に収容される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い効率で殺菌効果を得ることができるプラズマ発光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロ波エネルギーによりランプ３内の原料ガスを放電することでプラズマ化し、前記ランプ３の外側に位置する中空容器８の内表面に殺菌を施すプラズマ発光装置であり、天面及び下面が封止された円筒型容器２と、前記天面から円筒軸に平行に設けられ、マイクロ波エネルギーを注入するアンテナ４と、前記下面から円筒軸に平行に設けられ、前記アンテナ４とともに同軸導体を形成する金属導体５とを有し、前記円筒型容器２全体が一体の同軸の空洞共振器１（以下、空洞共振器１とする）として構成され、前記円筒型容器２にマイクロ波エネルギーを注入する手段が一体となっていることを特徴とするプラズマ発光装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い効率で殺菌効果を得ることができる中空容器の殺菌方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】中空容器７の中にキセノン、クリプトンのいずれか１種又はそれらの混合物を主成分とする原料ガスが封入された無電極のランプ３を挿入し、該容器７の外側より高周波又はマイクロ波のような電気エネルギーをパルス状に印加することで、該ランプ３内のガスを放電させ、そこから発するエネルギーで中空容器７内面を殺菌する方法及び前記中空容器７とこれを囲む天面及び下面が封止された金属製の円筒容器２と、前記円筒容器２の外側より高周波又はマイクロ波のような電気エネルギーを印加する手段とが一体となっていることを特徴とする中空容器の殺菌装置である。 （もっと読む）

【課題】長時間に亘って高輝度を輝度ムラなしに維持することのできるバックライトユニット及びこれを備える液晶表示装置を提供する。
【解決手段】内部に放電ガスが充填されたチューブ２１２と、前記チューブの一方の端部が嵌入された空洞共振器２１４と、マイクロ波を生成して前記空洞共振器に供給するためのマグネトロン２１６と、前記マグネトロンを駆動するためのマグネトロン駆動器２１８と、前記チューブから発せられる紫外線光を可視光に変換するための蛍光層と、を備える液晶表示装置用のバックライトユニットである。 （もっと読む）

【課題】発光セルの組付け構造を簡単な構造としつつ、共振させるマイクロ波のエネルギーの利用効率を可能な限り高めて、発生する光量を増加させる。
【解決手段】板状導体７と、この板状導体７から延設された棒状導体９と、発光セル１１とを有する。発光セル１１は、その一端面１１ａの中心部に凹み孔２３を有し、この凹み孔２３に棒状導体９が同軸心に挿入される。発光セル１１の一端面１１ａ側に端部の外周部に固設された取り付け部材２７が板状導体７に取り付けられる。発光セルの外周面と他端面１１ｂとには、薄肉導体層２５が固着される。発光セル１１を板状導体７に取り付けることにより半同軸共振器３１が構成され、この半同軸共振器３１の内部空間は発光セル１１で満たされる。共振器３１の内部空間には、板状導体７の外面７ｂに装着したマイクロ波入力部１９からマイクロ波が供給される。 （もっと読む）