【課題】垂直磁気記録層の磁性粒子の配向性を改善し、かつ磁性粒子を微細化し、記録再生特性の良好な垂直磁気記録媒体を得る。
【解決手段】非磁性基板上に、軟磁性層、微細結晶構造を有し、ＰｄまたはＰｄ合金からなる第一の非磁性下地層、ＲｕまたはＲｕ合金からなる第二の非磁性下地層、及び垂直磁気記録層を積層する。また、前記第一の非磁性下地層が、第一の非磁性下地層が、Ｐｄ−Ｓｉ層であることを特徴とする。前記第一の非磁性下地層は、ガス圧０．５Ｐａ以下の雰囲気で蒸着される。 （もっと読む）

【課題】高いＳＮＲが得られる薄膜積層体としての磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録媒体製造装置、さらにこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】成膜用基板を複数のスパッタチャンバ内に順次搬送し、スパッタチャンバ内で、前記成膜用基板上に、スパッタ法を用いて薄膜を形成する際、スパッタチャンバ内に、複数の成膜用基板を同時に収容し、このうち、いずれかの成膜用基板に薄膜を形成しつつ、成膜前の待機中の他の成膜用基板を加熱する第１の工程と、成膜用基板のうち、いずれかの成膜用基板に薄膜を形成しつつ、前記第１の工程で薄膜を形成した後の成膜用基板を加熱する第２の工程のうち、少なくとも一方を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最適な構造を有する粒状垂直磁気記録層を得るために改良された中間層を成膜する。
【解決手段】５０ａｔ．％超のレニウム（Ｒｅ）と、少なくとも一つの合金化材料とを含んで構成されたレニウム（Ｒｅ）ベース合金材料であり、前記合金化材料がレニウム（Ｒｅ）の原子半径よりも大きい又は小さい原子半径を有し、室温以上の温度で六方稠密構造（ｈｃｐ）のレニウム（Ｒｅ）中に６ａｔ．％よりも小さい固溶度を有する微粒子化成分Ｘと、レニウム（Ｒｅ）の原子半径よりも大きい又は小さい原子半径を有し、室温以上の温度で六方稠密構造（ｈｃｐ）のレニウム（Ｒｅ）中で固溶体の形態を有する格子整合成分Ｙと、から成る群から選択されたもので、酸化物、窒素化物及び炭化物から成る群から選択された少なくとも１つの材料を更に含んで構成されて、ターゲットにされる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、信頼性及び機能の高い磁気記録媒体を提供することである。
【解決手段】
基板と、前記基板の一主面側に形成された軟磁性下地膜と、非磁性膜と、中間膜と、記録層と、前記記録層に接触して形成された第一保護膜と、前記第一保護膜に接触して形成された第二保護膜と、前記第二保護膜に接触して形成された第三保護膜を備え、前記記録層が非磁性材料の凹凸パターンに磁性膜が接触して形成されたパターン構造を持つパターンドメディアにおいて、前記第一保護膜および前記第三保護膜の主構成材料をカーボンとし、前記第二保護膜を塗布膜とする。
【効果】
カーボンと塗布膜の密着性が高いので剥離を防止ができ、塗布膜が緩衝材として衝撃を吸収する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、情報を磁気的に記録する磁気記録媒体等に関し、低ノイズ性能を維持したまま、記録層と裏打層との間の距離を縮めることにより被ライト性能を向上させる。
【解決手段】 非磁性基体と、非磁性基体の上に形成された裏打層２２と、裏打層２２の上に形成された下地層２３と、下地層２３の上に形成された中間層２４と、中間層２４の上に形成された、垂直磁気異方性を有する記録層とを有し、中間層２４が、上層側の層ほど下層側の層に比較して膜厚が厚くかつ高ガス圧で製膜された、２層以上の層２４１，２４２からなる。 （もっと読む）

【課題】 非磁性基板の少なくとも一方の表面に、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体において、従来の物理的な磁気層加工型と比較しその磁性層除去工程を排除することにより格段に製造工程を簡略化し、かつ汚染リスクがすくない製造方法と、ヘッド浮上特性に優れた有用なディスクリートトラック型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体の製造方法を、非磁性基板に磁性層を形成する工程、磁性層の上にマスク層を形成する工程、マスク層の上にレジスト層を形成する工程、レジスト層に前記磁気記録パターンのネガパターンを、スタンプを用いて転写する工程、マスク層で磁気記録パターンのネガパターンに対応する部分を除去する工程、レジスト層側表面から磁性層にイオンを注入し、磁性層を部分的に非磁性化する工程、レジスト層およびマスク層を除去する工程をこの順で有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 トラック密度をつめながらオフトラック時のサイドライト現象を抑えることが可能な磁気記録媒体、その製造方法及び、磁気記録媒体を持つ磁気記録装置を提供する。
【解決手段】 データ記録層の結晶粒間にＳｉＯ_２が存在しているグラニュラー媒体からなり、データ記録層が磁性体の有無でパターン形成されたディスクリートトラックレコーディング媒体において、データ記録層の前記パターン形成された磁性体は、パターン中心部とその側壁である磁性体パターン側壁部とからなり、磁性体パターン側壁部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量が、前記パターン中心部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量より少なく、パターン側壁部の磁性体中ＳｉＯ_２含有量が５ｍｏｌ％以下であることを特徴と磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の表面に存在する異物を効率的に除去することができ、エラーが少なく記録再生特性に優れた磁気記録媒体を歩留まり良く製造することが可能な磁気記録媒体の製造方法及び製造装置、磁気記録媒体、並びにこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に少なくとも下地層と磁性層と保護膜層とを順次形成する成膜工程が備えられているとともに、ワイプテープ２を用いて磁気記録媒体の表面を洗浄する表面処理工程が備えられた製造方法であり、前記表面処理工程は、ワイプテープ２を、少なくとも導電性材料を含有するパッド３で押圧することによって磁気記録媒体１０の表面１０ａ、１０ｂに接触させ、ワイプテープ２及び磁気記録媒体１０を除電しながら、該磁気記録媒体１０の表面１０ａ、１０ｂをワイプテープ２に摺動させて洗浄する方法である。 （もっと読む）

【課題】軟磁性薄膜を形成するためのＦｅＣｏ系ターゲット材を提供する。
【解決手段】ＦｅＣｏ系合金において、Ｆｅ：Ｃｏのａｔ比が１０：９０〜７０：３０とすることを特徴とする軟磁性ＦｅＣｏ系ターゲット材。また、上記にＡｌまたはＣｒの１種または２種を０．２〜５．０ａｔ％含有させてなる軟磁性ＦｅＣｏターゲット材。さらに、上記にＢ，Ｎｂ、Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｔｉ，Ｖのいずれか１種または２種以上を３０ａｔ％以下含有させてなるＦｅＣｏ軟磁性ターゲット材。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体の記録層に用いるＣｏ系合金は腐食しやすい合金であるため、記録密度向上のために保護膜の薄膜化を進めていくと、耐食性、耐久性の観点から製品性能を満足する結果を得ることが難しくなってくる。
【解決手段】垂直磁気記録媒体のグラニュラー磁性層６を保護するＤＬＣ保護膜７をＣＶＤ法により形成する際に、グラニュラー磁性層界面側の第１層７ａの膜厚を保護膜全膜厚の７．５〜２５％，水素含有量を３３〜３８％とし、第２層７ｂの膜厚を保護膜全膜厚の５０〜８５％，窒素含有量を３〜７％とし、最表面側の第３層の膜厚を保護膜全膜厚の７．５％〜２５％，水素含有量を２５％以下とする。 （もっと読む）

【課題】高Ｓ／Ｎ比をもった垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１と、該基板１上に形成された密着層２と、該密着層２上に形成された、非磁性体を含む軟磁性裏打ち層３と、該軟磁性裏打ち層３上に形成された非磁性下地層４と、該非磁性下地層４上に形成された磁気記録層とを備え、該磁気記録層は、第一の強磁性層５と、該第一の強磁性層５上に形成された第二の強磁性層９とからなり、第一の強磁性層５上の少なくとも一部に非金属膜８が形成されている垂直磁気記録媒体である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い保磁力Ｈｃや逆磁区核形成磁界Ｈｎを維持しつつ、耐衝撃性を高めることの可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明にかかる磁気記録媒体の製造方法の代表的な構成は、ディスク基体１上に少なくとも第１磁気記録層５、第２磁気記録層６を備える垂直磁気記録方式の磁気記録媒体の製造方法において、第１磁気記録層５および第２磁気記録層６は連続して成長した結晶粒子の間に粒界部を形成する非磁性領域を備えたグラニュラー構造の強磁性層であって、ディスク基体１側の第１磁気記録層は高圧の雰囲気ガス圧でスパッタリング法を用いて成膜し、ディスク基体１から離れて形成する第２磁気記録層は低圧の雰囲気ガス圧でスパッタリング法を用いて成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パーティクル発生の少ない高密度磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】酸素：０．５〜４０原子％、Ｃｒ：２〜２０原子％、Ｐｔ：４〜３０原子％、Ｔｉ：０．５〜２０原子％を含有し、残部：Ｃｏおよび不可避不純物からなる成分組成を有する焼結体からなるターゲットにおいて、前記ターゲット素地中にＣｒ、Ｔｉおよび酸素からなる酸化物粒子が均一分散している組織を有し、前記Ｃｒ、Ｔｉおよび酸素からなる酸化物粒子は、Ｃｒ、Ｔｉおよび酸素の合計を１００原子％とした場合、Ｃｒ：３〜１０原子％、Ｔｉ：２５〜３５原子％を含有し、残部が酸素からなる酸化物粒子であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な熱揺らぎ耐性を有すると共にＳＮ比を向上した垂直磁気記録媒体、その製造方法、およびその垂直磁気記録媒体を備える磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】基板１１と、基板上に形成された軟磁性裏打層１２と、第１の記録層１９、記録補助層２１、第２の記録層２２がこの順に堆積してなる記録層１８と、を備え、第１および第２の記録層１９，２２は、膜面に垂直な磁化容易軸を有する強磁性層であり、記録補助層２１は、膜面に略垂直で、非磁性部２１ｂにより互いに離隔された複数の磁性粒子からなり、該磁性粒子は膜面に対して斜め方向の磁化容易軸を有し、第１の記録層１９、記録補助層２１、および第２の記録層２２は隣接する層が互いに交換結合している。さらに、垂直磁気記録媒体１０は、第１の記録層１９と記録補助層２１との間、あるいは記録補助層２１と第２の記録層２２との間に交換結合力制御層２０を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】グラニュラー構造の磁性層の結晶配向性を改善して、高記録密度化を達成可能な高Ｓ／Ｎ比の垂直磁気記録媒体を製造すること。
【解決手段】ガラス基板１と、ガラス基板１上に形成された六方晶金属を含む下地層５と、この下地層５上に形成され、六方晶金属を含む柱状の磁性結晶粒子および、酸化物を含み磁性結晶粒子を区画する粒界部を有する磁性層６とを含む垂直磁気記録媒体１０の製造方法は、加熱された下地層５の上に磁性層６を成膜することを特徴としている。六方晶下地層が熱処理を受けていることにより、下地層５の垂直配向性が向上しているので、六方晶下地層（０００２）面のΔθ５０（結晶配向の程度を示す指標）は狭くなり、六方晶下地層の少なくとも六方晶磁性結晶粒子との境界部分についての膜応力を緩和することができ、大きな内部応力の発生を伴うことなく、磁性層６、下地層５を成膜でき、それらの結晶配向性を改善できる。 （もっと読む）

【課題】グラニュラー磁性層内の強磁性微粒子の酸化を低減し、磁気特性の劣化を抑制することで、高密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体、このような垂直磁気記録媒体を製造するのに好適なスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】基板１上に少なくとも磁気記録層６を備えた垂直磁気記録媒体の前記磁気記録層を成膜する際に使用するスパッタリングターゲットであって、このスパッタリングターゲットは強磁性材料と金属酸化物とからなり、その金属酸化物はその金属酸化物中に含まれる酸素の原子数が化学量論比よりも小さくなるようにした。また、このような磁気記録媒体製造用スパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により上記磁気記録層を成膜することにより垂直磁気記録媒体を得る。 （もっと読む）

【課題】グラニュラー磁性層における膜表面の平坦性と磁性粒子の空間的な孤立化を両立させ、磁気特性のより一層の向上を実現することにより、高情報記録密度化に資することができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも軟磁性層と配向調整層と磁気記録層とを順に備え、垂直磁気記録に用いる磁気記録媒体の製造方法であって、前記配向調整層及び前記磁気記録層のそれぞれの成膜時に直流バイアスを基板表面に印加する。 （もっと読む）

【課題】 高Ｓ／Ｎ比の実現に適した粒径分布を持ち、互いに孤立して一様に分布する磁性粒子を有する垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 基板の上に、Ｒｕを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはＲｕからなる多結晶の下地層が配置されている。下地層の上に、中間層が配置されている。中間層は、Ｒｕを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはＲｕで形成され、面内に分布する複数の結晶粒で構成されている。結晶粒の各々の上面は、上方に向かって凸状の形状を有する。中間層の上に、磁気記録層が配置されている。磁気記録層内では、磁性材料からなる複数の磁性粒子が面内に分布し、相互に隣り合う磁性粒子同士が、両者の間に配置された非磁性材料からなる非磁性領域によって磁気的に分離されている。 （もっと読む）

【課題】非磁性基板上に、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体において、従来の物理的な磁気層加工型と比較しその磁性層除去工程を排除することにより格段に製造工程を簡略化し、かつ汚染リスクが少なく、表面の平滑性が高い製造方法と、ヘッド浮上特性に優れた有用なディスクリートトラック型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基板上に磁性層を形成した後、その磁性層に部分的に原子を注入し、磁性層の原子を注入した箇所を非磁性化または非晶質化することにより、磁気的に分離した磁気記録パターンを形成する磁気記録媒体の製造方法において、磁性層に部分的に原子を注入する工程が、磁性層を形成した後に表面にレジストとしてＳＯＧ（スピン・オン・グラス）膜を塗布し、そのレジストを部分的に除去または膜厚を薄くし、その表面に原子を照射することにより、レジストを除去または薄くした箇所を通して磁性層に部分的に原子を注入する工程を含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】高度な四面体のアモルファス炭素の保護オーバーコートを有する好適な記録媒体
およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のダイヤモンド様炭素材料は、高度な四面体である、すなわち、ダイヤモンド結晶格子内に見い出される多くのｓｐ^３炭素−炭素結合を特徴とする。材料はまた、非結晶であり、短い範囲のオーダーと長い範囲のオーダーとの組み合わせを提供し、公知の非結晶炭素コーティング材料よりも実質的に小さい厚みにおいて、超平滑であり連続的な膜として堆積し得る。これらの材料を堆積する好適な方法において、容量性カプリングは、高密度で誘導的にイオン化されたプラズマから、高度に均一で選択的に励起されたイオンストリームを形成する。このような誘導イオン化は、共振イオン化およびイオンビームの均質化を促進する、比較的遅く移動する磁界により向上される。 （もっと読む）