【課題】磁気媒体の作成において、良質の磁気媒体を作製できるようにする。
【解決手段】基板８の外側周囲を回転する磁界発生手段７を備えたマグネトロンスパッタリングのためのチャンバー１内に、基板８と第１及び第２ターゲット２１，２１とを、前記基板８の中心軸と前記第１及び第２ターゲット２１，２１の中心軸とが交差するように配置し、前記チャンバー１内を排気し、前記チャンバー１内にガスを導入し、前記排気及びガス導入された雰囲気下で、前記基板８を回転させ、前記磁界発生手段７を前記基板８の外周の周りにおいて回転させながら、マグネトロンスパッタリング法により前記基板８の上に磁性膜及び異種材料膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】ＭＲヘッドの製造におけるラッピングガイドを改善する。
【解決手段】少なくとも一つの読取ヘッドＭＲＥ１、２と電子ラッピングガイドＥＬＧ５とを有する統合ラッピングガイドＩＬＧ１０であって、一実施形態において、ＥＬＧ５が読取ヘッドＭＲＥ１、２の高さからオフセットしており、ＭＲＥ１、２とＥＬＧ５との間の抵抗をラッピング処理中に測定できる。ラッピング処理の初期段階中、ＥＬＧ５はＩＬＧ抵抗の変化を支配し、磁気抵抗ＭＲヘッドの列の傾きと曲がりを可能にする長い範囲のストライプの高さ制御を提供する。ラッピング処理の後半の段階中、ＭＲＥ１、２は、ＩＬＧ抵抗のバラツキを支配し、短い範囲の均一な読取ヘッド抵抗制御を提供する。この実施形態において、長い範囲のストライプ高さ制御と短い範囲の均一な読取ヘッド抵抗制御との間の移り変わりは円滑であり、読取ヘッド製造処理に著しい利益をもたらす。 （もっと読む）

【課題】真空中で行われるドライエッチングの微細加工の製造工程に特別な変更を加えることなく微細加工時に使用されるマスク材を二重に重ねて積層することで、製造工程中必然的に含まれる酸化過程により保護層の最表層に酸化層が形成されたとしても、ＭＲ比の低下を防止し、磁気抵抗効果素子としての性能を高く保持することができる磁気抵抗効果素子を提供する。
【解決手段】基板、少なくとも２層の磁性層を含む磁性多層膜、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｎｂ、Ｉｒ及びＲｅのいずれか１つの金属からなる金属層、並びに該金属の酸化物からなる導電性酸化物層、を有する磁気抵抗効果素子とする。 （もっと読む）

【課題】半導体層上にエピタキシャル成長したホイスラー合金を有する積層体、及び前記ホイスラー合金を有する積層体を用いたスピンＭＯＳ電界効果トランジスタ及びトンネル磁気抵抗効果素子などの半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板３１の表面領域には不純物拡散層３２が形成され、不純物拡散層３２上には、（００１）配向したＭｇＯ層３３が形成されている。さらに、ＭｇＯ層３３上には、エピタキシャル成長したホイスラー合金３４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】磁気テープ装置に用いられる磁気ヘッドアセンブリであって、ヘッド素子部の磨耗変形やステインの付着によるスペーシングの増加による出力の低下のない磁気ヘッドアセンブリを提供する。
【解決手段】電磁変換素子を含む複数のヘッド素子部Ｅと、磁気テープと当接する摺動部Ｓ１，Ｓ２とを備えたヘッドレール１０２を有するリニア記録型磁気ヘッドアセンブリであって、ヘッド素子部Ｅと摺動部Ｓ１，Ｓ２とにおける磁気テープ摺動面に保護膜１２を備え、保護膜１２は、ヘッドレール１０２の磁気テープ走行方向の両端部近傍以外の部分に形成され、磁気テープが摺動可能な最表面が平坦に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ターゲット間のクロスコンタミネーションを防止する。
【解決手段】シャッタ機構は、下記（ａ）〜（ｃ）を同時に満たす様に動作するスパッタ装置。
（ａ）第１シャッタ板６１の第１孔６１ａと第２シャッタ板６２の第３孔６２ａとの重ね合わせ部が第１ターゲット３８下に位置する。
（ｂ）第１シャッタ板６１の第２孔６１ｂが第２ターゲット３５下に位置し、第２シャッタ板６２が第２ターゲット３５を覆う。
（ｃ）第１シャッタ板６１と第２シャッタ板６２とが第３ターゲット（３６，３７）を覆う。 （もっと読む）

【課題】十分な耐電防止性を確保しつつ、コンタミネーションの発生を大幅に低減し得る電子部品用トレイを提供する。
【解決手段】磁気ヘッドアセンブリ２を搬送するための電子部品用トレイ１であって、直径が１５μｍ以下で、かつ繊維長と直径の比が１００以上１２０００以下の範囲内であるステンレス繊維を含有するポリカーボネート樹脂で成形されている。磁気ヘッドアセンブリ２は、電子部品用トレイ１に複数形成されたヘッド載置部２３に載置される。 （もっと読む）

【課題】
磁気ヘッドのリード素子コア幅が規格より広い場合にトラックエッジノイズを感知させないことが出来る磁気ヘッドとその磁気ヘッドを制御する制御回路を提供する。
【解決手段】
磁気記録再生装置の磁気ヘッドに記録再生媒体に対向する様に発熱素子を配置し、再生信号を検出するリード動作時に記録再生媒体のトラックを、パルス電圧を用いて瞬間的に加熱し、トラック幅を膨張させる。また、発熱素子を低熱膨張材料で挟むことで、リード素子及びライト素子の熱による損傷や、磁気ヘッドが搭載されるヘッドスライダの膨張を抑制することが出来る。更に放熱効率を向上させる為に、ヘッドスライダの表面にヒートシンクとして溝を形成する。これにより、ヘッドスライダの膨張による磁気ヘッドと記録再生媒体の接触による磁気ヘッドと記録再生媒体の損傷を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】磁性膜の作成において、良質の磁性膜を成膜できるようにする。
【解決手段】スパッタチャンバー１内に基板８を配置し、マグネトロンスパッタリングにより基板８の表面に磁性膜を作成するマグネトロンスパッタリング装置であって、磁性材のターゲット２１を保持するためのカソード２を、該ターゲット２１の中心軸と前記基板８の中心軸とが角度θで交差するように設置し、前記基板８の直径ｄと該ターゲット２１の直径Ｄとをｄ≧Ｄの関係を持つように設置すると共に、前記基板８を回転するための回転機構３３及び前記カソード２の背後に位置するカソードマグネット２２を有するマグネトロンスパッタリング装置とする。 （もっと読む）

【課題】磁気媒体の作成において、良質の磁気媒体を作製できるようにする。
【解決手段】マグネトロンスパッタリングのためのチャンバー１内に、基板８と第１及び第２ターゲット２１，２１とを、前記基板８の中心軸と前記第１及び第２ターゲット２１，２１の中心軸とが交差するように配置し、前記チャンバー１内を排気し、前記チャンバー１内にガスを導入し、前記排気及びガス導入された雰囲気下で、前記基板８を回転させながら、グネトロンスパッタリング法により前記基板８の上に磁性膜及び異種材料膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】エレクトロマイグレーションによる磁気抵抗効果素子の劣化を、磁気ディスク装置内部の温度変化の影響を受けることなく早期にしかも精度よく正確に検出することができる磁気ヘッドの検査方法および磁気ディスク装置（磁気再生装置）を提供する。
【解決手段】磁気ヘッド３の退避時に、磁気ヘッド３のセンス電流を変化させ、そのときの磁気抵抗効果素子の電気抵抗値の変化を測定し、変化率が一定値を超えて増大したときに磁気抵抗効果素子の異常と判断することにより、磁気ヘッド３の異常を精度よく早期に検出して、磁気ディスク装置の信頼性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ＴＭＲ素子から成る磁気ヘッドやＭＲＡＭ等の生産において、通常な構成であって特に半導体デバイスメーカによる磁性多層膜の製作に適した構成を有し、さらに膜性能を高めることができかつ生産性を向上できる磁性多層膜作製装置を用いて実施することができる磁気抵抗デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上に、第１磁性金属からなる第１膜及び該第１磁性金属以外の金属からなる第２膜を同一の第１チャンバ１７Ａで成膜する工程を用いて、第１多層金属膜を設ける第１工程、該第１工程後の基板の上に、金属酸化物からなる第３膜を、第２チャンバ１７Ｂで設ける第２工程、並びに、該第２工程後の基板の上に、第２磁性金属からなる第４膜及び該第２磁性金属以外の金属からなる第５膜を同一の第３チャンバ１７Ｃで成膜する工程を用いて、第２多層金属膜を設ける第３工程を有する磁気抵抗デバイスの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】熱処理による磁気抵抗変化率の劣化を抑制することにより、良好な磁気特性を有する磁気抵抗効果素子を備えて優れた書き込み特性を有する磁気メモリ装置を提供する。
【解決手段】対の強磁性層（磁化固定層５と磁化自由層７）が中間層６を介して対向され、膜面に対して垂直に電流を流すことによって磁気抵抗変化を得る構成であり、対の強磁性層５，７のうち少なくとも一方は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉを主成分とし、非晶質化のための添加元素として、Ｃ，Ｐ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｍｏのいずれか１種以上を含み、結晶化温度が６２３Ｋ以上である非晶質強磁性材料を含む磁気抵抗効果素子１と、この磁気抵抗効果素子１を厚み方向に挟むビット線及びワード線とを備えた磁気メモリ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ロウバーを研磨加工した後にロウバーに施すスメア除去処理を的確に行うことにより、磁気ヘッドスライダーの特性のばらつきを防止し、製品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】磁気ヘッドが形成されたロウバー３０に磁気ヘッドのハイト方向の寸法出しをする研磨加工を施した後、ロウバー３０にスメア除去処理を施すスメア除去装置として、前記ロウバー３０にイオンビームを照射してエッチングするイオンビームの発生源５０と、ロウバー３０を支持するステージ４０と、ステージ４０に支持されたロウバー３０に磁界を印加する磁界印加機構６０と、前記ロウバー３０に形成された実素子のＭＲ素子にセンス電流を供給するとともに、前記磁界印加機構に通電して、ロウバーに磁界を印加した場合と印加しない場合での前記ＭＲ素子の抵抗値の変化量を検知し、前記センス電流と前記抵抗値の変化量から得られる前記ＭＲ素子のヘッド出力を検知するヘッド出力検知部８０とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録媒体に対向する面の角部に磁束が集中しないシールド層及び補助磁極を有し、エッジライトの問題が生じにくい磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】記録媒体の情報を記録する記録ヘッド及び記録媒体の情報を再生する再生ヘッドのうち少なくとも一方を備えた磁気ヘッドにおいて、前記記録ヘッド及び前記再生ヘッドのうち少なくとも一方が、前記記録媒体に対向する第１の面及び第２の面、並びに前記記録媒体に対向しない第３の面を有するシールド層を備え、前記シールド層の第１の面と第２の面とがなす外角が鋭角であり、前記シールド層の前記第１の面と第３の面とがなす外角が鈍角であることを特徴とする磁気ヘッド。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドスライダーの特性に大きく影響を与えるクラウンラッピング工程において、高精度でばらつきのない研磨加工を可能とし、これによりすぐれた特性を備え、特性のばらつきのない磁気ヘッドスライダーを得ることを可能にする。
【解決手段】 磁気ヘッドが作り込まれたウエハから切断されたロウバー１０の、媒体に対向する面をラッピングして、磁気ヘッドのハイト方向の寸法出し加工を施す磁気ヘッドスライダーの加工装置において、水平面内で回転駆動される定盤４０と、前記ロウバー１０を支持するラップ治具２０と、ラップ治具２０に支持されたロウバー１０に磁界を作用させる磁界印加機構５０と、ロウバー１０に形成された実素子のMR素子にセンス電流を供給し、前記磁界印加機構５０によりロウバー１０に磁界を印加した場合と印加しない場合でのMR素子の抵抗値の変化量を検知し、前記センス電流と前記抵抗値の変化量とから得られるMR素子のヘッド出力をモニター出力として出力する検知制御部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＲ効果素子のシールド層の小面積化に対応して、過度の温度上昇が抑制された発熱素子を備えた薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】この薄膜磁気ヘッドは、データ書き込み用の電磁コイル素子と、ＭＲ効果積層体を間に挟むように設けられた２つのシールド層を有するデータ読み出し用のＭＲ効果素子と、少なくとも電磁コイル素子とＭＲ効果素子との間に設けられた発熱層を有する発熱素子とを備えており、この発熱層において、２つのシールド層のうちこの発熱層により近い位置にあるシールド層からはみ出た部分の少なくとも一部における単位長さ当たりの抵抗値が、このはみ出た部分以外の部分における単位長さ当たりの抵抗値よりも小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】磁性薄膜の選択的なエッチングを可能にして生産性を向上させた磁気デバイスの製造方法及び磁気デバイスの製造装置を提供するものである。
【解決手段】基板Ｓ上に、鉄、コバルト、ニッケルからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含有した磁性層５１と、磁性層５１のエッチング領域５１Ｅを露出するマスクパターン５２を形成する。そして、エッチング領域５１Ｅに対応する磁性層５１を核にして内包片５１ａを内包したＣＮＴを成長させた後、同ＣＮＴを基板Ｓ上から除去させた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、磁気ヘッド素子の検査方法に関し、より詳細には磁気ヘッド素子のリードコア幅と所定の磁界をかけたときの抵抗値変化を測定し、リードコア幅と抵抗値変化の比率に基づいて磁気ヘッド素子の良否を判定する磁気ヘッド素子の検査方法に関するものである。
【解決手段】 本発明の磁気ヘッド素子の検査方法は、基板上に形成した磁気抵抗効果層の端面に沿って磁気抵抗効果層にバイアス磁界を与えるハードバイアス層と端子電極とを形成し、磁気抵抗効果層を挟んだ端子電極間のリードコア幅を測定するリードコア幅測定工程と、リードコア幅測定工程後に逆スパッタによるクリーニングを実施して絶縁層と上部シールド層とを形成し、所定の磁界とセンス電流とを与えて磁気抵抗効果層の抵抗値変化を測定する抵抗値変化測定工程と、測定されたリードコア幅と抵抗値変化との比率を求め、その比率と予め定めた基準値とに基づいて良否を判定する良否判定工程と、を備えるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体において、ディスクリートトラックの形成精度向上と、優れた浮上性とを実現し、高トラック密度を実現する。
【解決手段】垂直磁気記録媒体１は、非磁性基板１０上に、軟磁性下地層１１と、中間層１２と、磁性を有する結晶粒子とそれを取り巻く酸化物を主成分とする非磁性結晶粒界から構成された第１の記録層１３と、Coを主成分とし酸化物を含まない第２の記録層１４とを備え、情報を記録する記録トラック部１８と、隣接する記録トラックの間に設けられたガードバンド部１７を有する。ガードバンド部１７の幅ｄは30 nm以下である。また、ガードバンド部１７の第２の記録層１４の膜厚ｔ_３が、記録トラック部１８のｔ_２よりも小さく、記録トラック部１８の第１の記録層１３の厚さｔ_１と第２の記録層１４の厚さｔ_２の和(ｔ_１＋ｔ_２)と、ガードバンド部１７の(ｔ_１＋ｔ_３)との差が5nm以上12nm以下である。 （もっと読む）