【課題】樹脂フィルムに形状変化が生じた場合であっても、樹脂フィルムの凹凸パターンを基板の所望とする位置に合わせることができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂フィルム１１と、前記凹凸パターンが転写されるべき光硬化性樹脂層１６を有する基板１５とを貼り合わせる際に、前記樹脂フィルム１１と前記基板１５とを位置合わせするアライメント方法であって、前記樹脂フィルム１１はその平面形状が多角形であり、前記樹脂フィルム１１の頂点部分は保持せずに辺の縁部を保持して平面方向に伸長する工程を含むことを特徴とするアライメント方法。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に凹部を有する場合においても、ドライエッチング加工における面内のエッチングレートを制御し、パターン精度に優れたテンプレートの製造装置及びテンプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、真空容器と、電極と、調整体と、を含むテンプレートの製造装置が提供される。前記真空容器は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能とされている。前記真空容器は、反応性ガスの導入口と排気口とを有する。前記電極は、前記真空容器の内部に設けられ、高周波電圧が印加される。前記調整体は、絶縁体を主成分とする。前記調整体は、前記電極の上に載置される基板の前記電極の側の面に設けられた凹部に挿入される。 （もっと読む）

【課題】転写成形された微細構造を損傷させることなく迅速にスタンパから剥離することができる微細構造体の剥離方法及び剥離装置を提供する。
【解決手段】微細構造が転写成形されスタンパ1に付着した微細構造体2をそのスタンパ1から剥離するにさいして、微細構造体2の隅部2aからその微細構造体2とスタンパ1との間に冷却用の気体が入り込む方向に気体を噴出させ、その微細構造体2が中心部分を残してスタンパ1から剥離されつつあるときに、微細構造体1の上面から吸引力を作用させてその微細構造体2をスタンパ1から完全に剥離させる。 （もっと読む）

【課題】多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上を図ることでコスト削減を図る。
【解決手段】巻き取り芯部によってフィルムを複数回巻き取り、これを打ち抜くことによってフィルム積層体（多層記録可能構造体）を作成する。このように巻き取り・打ち抜きの手法によって多層記録可能構造体を作成するものとしたことで、上記巻き取り芯部に形成された平面（打ち抜き面）の数ｎに応じて、一度にｎ個の多層記録可能構造体を作成でき、その分、従来の製造方法と比較して多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上が図られる。 （もっと読む）

【課題】型が光を透過しない材質で構成され、また、被成型品にアライメントマークが設けられていなくても、被成型品の正確な位置に微細な転写パターンを転写できる転写装置を提供する。
【解決手段】型Ｍを保持し、被成型品Ｗに接近・離反する方向に移動位置決め自在な型保持体９と；被成型品Ｗを保持し、型保持体９の接近・離反方向に交差する方向に移動位置決め自在な被成型品保持体５と；型Ｍと被成型品Ｗとの間に挿入される第１の位置と、型Ｍと被成型品Ｗとから離れた第２の位置との間を移動自在な検出子１５で被成型品Ｗの縁の位置を検出して、型Ｍに対する被成型品Ｗの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段１１と；第１の位置に検出子１５を位置させて被成型品Ｗの位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量を、型保持体９を移動することによって補正し、型Ｍを被成型品Ｗに接触させて転写を行うように制御する制御手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱によるスタンパの寸法変化を防止され、製造コストを削減可能なインプリント装置を提供すること。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有するスタンパ５６を、基板５２上に供給された紫外線硬化樹脂材料５４の上に配置し、該スタンパ５６の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ５６を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料５４を硬化させ、前記基板５２の表面に前記凹凸パターンの反転凹凸パターンを形成するインプリント装置１０において、前記基板５２を保持する保持部材１４と、前記保持部材１４と対向する耐圧体１２と、前記紫外線の光源２０と、を有し、前記耐圧体１４はその底部に導光板１６を収容し、該導光板１６は前記保持部材１４と対向して配置されており、前記光源２０から発生した紫外線は、該導光板の側面１６ｂから入射して該導光板１６の前記保持部材１４側から出射し、前記紫外線硬化樹脂材料に照射されることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】優れた透過特性を有する光情報記録媒体用記録層およびそれを備える光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】光情報記録媒体は、基板と、基板上に設けられた２以上の記録層と、記録層上に設けられた保護層とを備える。基板および保護層の側のいずれか一方の表面が、２以上の記録層に情報信号を記録するための光が照射される光照射面である。光照射面から最も奥側となる記録層以外の記録層のうちの少なくとも１層が、Ｗ酸化物、Ｐｄ酸化物、およびＣｕ酸化物を主成分として含み、Ｗ酸化物、Ｐｄ酸化物、およびＣｕ酸化物にそれぞれ含まれるＷ、Ｐｄ、およびＣｕの割合が、０．１７≦ｘ₁（但し、ｘ₁＝ａ／（ｂ＋０．８ｃ）、ａ：Ｗ、Ｐｄ、およびＣｕの合計に対するＷの原子比率［原子％］、ｂ：Ｗ、Ｐｄ、およびＣｕの合計に対するＰｄの原子比率［原子％］、ｃ：Ｗ、Ｐｄ、およびＣｕの合計に対するＣｕの原子比率［原子％］）の関係を満たすである。 （もっと読む）

【課題】記憶媒体への信頼性の高いＢＣＡデータの記録方法および記憶媒体、ならびにその記憶媒体からのＢＣＡデータの再生方法、および記憶媒体製造装置を、提供する。
【解決手段】この発明は、ＢＣＡデータ向けあるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りの記録層に用いられる膜材料の厚みが、互いに隣接する２つを一体化するように、円弧状とした吸着機構７１，７２により吸引されて形成された記憶媒体の基材を用いることにより均一な厚みに形成される。従って、ＢＣＡ（バーストカッティング領域）あるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りに記録される情報が、正確、かつ安定に記録可能となる。 （もっと読む）

【課題】 両面インプリント装置においてディスクを選択的に剥離できる光インプリント方法を提供する。
【解決手段】 前記方法は、両面インプリント装置において、下面側スタンパ装置を上面側スタンパ装置に対峙させた後、下面側スタンパ装置に載置された、両面にレジストが塗布された被転写体に上面側スタンパ装置を押圧しながら、前記被転写体のレジストに下面側スタンパ装置のＵＶ光源及び上面側スタンパ装置のＵＶ光源から紫外線を照射して前記レジストを硬化させ、硬化レジストに前記スタンパのパターンを転写する際に、下面側スタンパ装置に配設されたＵＶ光源の照射時間を上面側スタンパ装置に配設されたＵＶ光源の照射時間よりも短くすることにより、転写済みディスクを下面側スタンパ装置から選択的に剥離させることができる。 （もっと読む）

【課題】優れたスループットを実現できる導電性素子を提供する。
【解決手段】導電性素子は、第１の波面および第２の波面を有する基体と、第１の波面上に形成された導電層とを備える。導電層は、導電パターン部を形成し、第１の波面および第２の波面が、０≦（Ａｍ１／λｍ１）＜（Ａｍ２／λｍ２）≦１．８（但し、Ａｍ１：第１の波面の振動の平均幅、Ａｍ２：第２の波面の振動の平均幅、λｍ１：第１の波面の平均波長、λｍ２：第２の波面の平均波長）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】視認され得る程度の不要な明暗縞が記録されることを効果的に防止することができるホログラムを製造する方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、透過型ホログラム原版４０を含む記録原版３０をホログラム記録材料２０に対して傾斜して配置する工程と、記録原版へ透過型ホログラム原版のブラッグ条件を満たすように光を入射させて、記録原版から出射する０次光および１次光をホログラム記録材料に照射する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ＺｒＳ系薄膜よりも短波長のレーザー光に対する屈折率が高く、耐熱衝撃性に優れ、かつ熱に対して高い安定性を有するとともに、直流スパッタリング等の効率の良いデポジション法によって成膜することが可能な薄膜を提供する。
【解決手段】酸化チタン系薄膜は、酸化チタンを主成分とし、副成分として酸化ニオブを含有してなり、４００ｎｍの波長光に対する屈折率が２．５以上であり、かつ非晶質構造を有する。この酸化チタン系薄膜は、例えば光記録媒体に用いられる。 （もっと読む）

【課題】吐出される液滴の噴霧状態を調整することができる二流体ノズルを提供すること。二流体ノズルから吐出される液滴を用いて所期の処理を基板に施すことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】二流体ノズル３は、ケーシングを構成する外筒２０と、外筒２０に内嵌された内筒２１と、内筒２１を外筒２０に固定するための固定ナット２３とを含む。内筒２１の大径円筒部２４の外周には、雄ねじ３６が形成されている。外筒２０の内周の基端部には、雄ねじ３６に螺合する雌ねじ３７が形成されている。固定ナット２３は、内筒２１の雄ねじ３６と螺合する雌ねじ孔３１を有している。外筒２０と内筒２１とはねじ嵌合により連結されている。雄ねじ３６に対する外筒２０のねじ込み量を調節することによって、遮蔽部４３に対する短筒部４７の軸方向の位置を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】記録特性の優れた光情報記録媒体用記録層、その記録層を備えた光情報記録媒体、および上記記録層の形成に有用なスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】レーザー光の照射により記録が行われる記録層であって、酸素１ｍｏｌに対する酸化物の標準生成自由エネルギーの絶対値がＰｄおよびＡｇよりも大きい金属（以下、Ｘ金属という）の酸化物、酸化Ｐｄおよび酸化Ａｇを含み、記録層に含まれるＸ金属原子、Ｐｄ原子およびＡｇ原子の合計量に対し、Ｐｄ原子の比率が１０〜６０原子％、Ａｇ原子の比率が５〜４５原子％、かつＰｄ原子とＡｇ原子の合計量が７５原子％以下であることを特徴とする光情報記録媒体用記録層。 （もっと読む）

【課題】記録層の耐久性に優れた光情報記録媒体、および該記録層の形成に有用なスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】レーザー光の照射により記録が行われる記録層と、該記録層に隣接して形成される誘電体層とを備えた光情報記録媒体であって、前記記録層は、酸素１ｍｏｌに対する酸化物の標準生成自由エネルギーの絶対値がＰｄよりも大きい金属（以下、Ｘ金属という）の酸化物と、酸化Ｐｄとを含み、該酸化Ｐｄが一酸化Ｐｄと二酸化Ｐｄを含むものであり、かつ、記録層に含まれるＸ金属原子とＰｄ原子の合計に対するＰｄ原子の比率が４〜８５原子％であることを特徴とする光情報記録媒体。 （もっと読む）

【課題】光ディスクのデータ保存容量の増大やデータ読み取り速度の高速化、更にはＣＤやＤＶＤプレーヤー機種の多様化に対応可能な光ディスクカバーを提供する。また、生産性が高くより安価な光ディスクカバーを提供する。
【解決手段】光ディスクのデータ読み取り面を覆うように、透明な未延伸樹脂からなるフィルム２で形成された三酢酸セルロースを主成分とした薄い光ディスクカバー１を、その片面の外周端部近傍に再剥離性粘着剤で光ディスクのデータ読み取り面に粘着する。 （もっと読む）

【課題】ディスク基板を回転させる駆動装置を有効に利用して構造の簡易化を達成し、ディスク基板の反りを防止しつつ硬化促進を図ること。
【解決手段】硬化前のディスク基板Ｄを回転させて反りを低減しつつ硬化させる基板処理装置１０であり、ディスク基板Ｄの中央部を支持する支持手段１１と、この支持手段１１に回転力を付与する駆動手段１３と、当該駆動手段１３の出力軸２３に連結された複数の回転羽根２７と、空気の通路を確保する導風手段１７とを含む。ディスク基板Ｄを回転させることで反りが防止されるとともに、回転羽根２７が回転することで、導風手段１７に引き込まれる空気でディスク基板Ｄの硬化促進が図られる。 （もっと読む）

【課題】スタンパによる樹脂層への転写不良を防止しつつ、樹脂層へ確実に凹凸を転写することができる転写装置および転写方法ならびに光ディスク製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】樹脂層ＲをスタンパＳＴに押圧して貼付する際に、振動体３４で押圧ローラ３３を振動させることで、樹脂層ＲをスタンパＳＴの微細な凹凸に追従させてなじませることができ、スタンパＳＴの凹凸を樹脂層Ｒに確実に転写することができる。さらに、樹脂層ＲからスタンパＳＴを剥離する際に、振動体７８で剥離テーブル７６を振動させることで、樹脂層Ｒに転写された凹凸がスタンパＳＴの凹凸から容易に抜け出すことができ、スタンパＳＴと樹脂層Ｒとの剥離力が低減できることから、スタンパＳＴを小さい剥離力で剥離することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、均一な膜厚でなる円板状の光ディスクを製造する。
【解決手段】本発明は、注型セルＳＬを介してベース金型３１及びカバー金型３２によって形成され、中央に中央孔部ＳＬｈを有する円板状の注入空間ＪＳに対し、注入空間ＪＳにおける内縁部分に接続して形成された注入孔としての注入ノズル受け部３３から液状材料が注入される。注入空間ＪＳの円板の平面方向において注入ノズル受け部３３及び中央孔部ＳＬｈの中心を通る直線上に形成された排出孔としての排出ノズル受け部３４から空気が排出される。さらに注入空間ＪＳに注入された液状材料を硬化させ、スペーサ群及び平板１５が取り除かれることにより、硬化された液状材料である記録層１０１を注入空間ＪＳから取り出すようにする。 （もっと読む）

【課題】ホログラフィ記憶媒体の複製に関する効率、品質、コスト及びスループットを向上させる技法を提供すること。
【解決手段】複数のデータ層（１２）を有する光学式データ記憶ディスク（２２、２２０）（例えば、ホログラフィデータ記憶ディスク）を複製するためのシステム（３０、５０、７０、１００、２００）及び方法（６０、９０）である。それぞれに単一データ層（１２）を提供するマスターディスク（１０、２１０）を利用すると共に、マスターディスク（１０、２１０）からのそれぞれの各単一データ層（１２）が光学式データ記憶ディスク（２２、２２０）上に複製される。 （もっと読む）