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【課題】微細で高密度配線を有する絶縁信頼性の高い配線基板を簡単な方法で製造することが可能な配線基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】絶縁層1上または金属層2上に配線パターンに対応する開口3aを有するめっきレジスト層3を形成するレジスト形成工程と、前記開口3a内の前記絶縁層1上または前記金属層3上にめっき金属層4を析出させるめっき工程と、前記絶縁層1上または前記金属層2上から前記めっきレジスト層3を剥離するレジスト剥離工程とを含む配線基板の製造方法であって、前記レジスト剥離工程は、前記めっきレジスト層3を水溶性有機溶剤または該水溶性有機溶剤の水溶液で前処理した後、引き続きアルカリ性水溶液で膨潤させる配線基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】微細で高密度配線を有する絶縁信頼性の高い配線基板を簡単な方法で製造することが可能な配線基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】絶縁層1上または金属層2上に配線パターンに対応する開口3aを有するめっきレジスト層3を形成するレジスト形成工程と、前記開口3a内の前記絶縁層1上または前記金属層3上にめっき金属層4を析出させるめっき工程と、前記絶縁層1上または前記金属層2上から前記めっきレジスト層3を剥離するレジスト剥離工程とを含む配線基板の製造方法であって、前記レジスト剥離工程は、前記めっきレジスト層3をアルカリ性水溶液で膨潤させるレジスト膨潤工程と、該膨潤させた前記めっきレジスト層3を水または酸性水溶液で収縮させるレジスト収縮工程とを交互に複数回繰り返す配線基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 銅表面に1,000nmを超す凹凸を形成することなく、銅表面と絶縁樹脂との接着強度を確保し、各種信頼性を向上させることができる銅表面の処理方法、ならびに当該処理された配線基板を提供すること。
【解決手段】 銅表面の処理方法であって、銅表面に銅よりも貴な金属を離散的に形成する工程、その後、酸化剤を含むアルカリ性溶液で酸化して表面に酸化銅を形成する工程、その後、前記酸化銅を酸性溶液で溶解する工程を有する銅表面の処理方法。 (もっと読む)


【課題】絶縁板中に半導体チップがフリップ接続で埋設、実装された部品内蔵配線板において、フリップ接続の信頼性および配線板としての機能性を保全した上で、低コストで製造を可能とすること。
【解決手段】第1の絶縁層と、第1の絶縁層に対して積層状に位置する第2の絶縁層と、第2の絶縁層に埋設された、端子パッドを有する半導体チップと、第1の絶縁層と第2の絶縁層とに挟まれて設けられ、半導体チップ用の実装用ランドを含みかつ第2の絶縁層側の表面が粗化された配線パターンと、半導体チップの端子パッドと配線パターンの実装用ランドとの間に挟設され、該端子パッドと該実装用ランドとを電気的、機械的に接続する導電性バンプと、半導体チップと第1の絶縁層および配線パターンとの間に設けられた樹脂とを具備する。 (もっと読む)


【課題】コストアップを招くことなく良質で細密化されたパターンを形成可能とする。
【解決手段】機能液に対する親液部及び撥液部を有する基板に機能液を塗布してパターンを形成する。親液部Paを有する基板Pに対して、撥液材料を含む液滴を選択的に塗布して第1撥液部を形成する第1工程と、親液部に機能液を塗布して第1パターンW1を形成する第2工程と、少なくとも第1撥液部にエネルギーを付与して、第1撥液部の撥液性を低下させる第3工程と、親液部及び第1撥液部を有する基板に対して、第2機能液に撥液性を有する第2撥液材料を含む液滴を選択的に塗布して第2撥液部H2を形成する第4工程と、第2撥液部の非形成領域に第2機能液を塗布して、第1パターンと略同一層で第2パターンW2を形成する第5工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】金属薄膜を密着信頼性及びパターン精度高くポリイミド樹脂基材の表面に形成することができるポリイミド樹脂基材の金属薄膜パターン形成方法及び金属薄膜回路パターン形成方法を提供する。
【解決手段】ポリイミド樹脂基材の表面に形成されたパターンからなる凹部にアルカリ溶液を供給し、該アルカリ溶液と接触する該凹部の該ポリイミド樹脂のイミド環を開裂させてカルボキシル基を生成させて改質層を形成する工程と、該改質層に金属イオン含有溶液を接触させ、該カルボキシル基の金属塩を生成させる工程と、該金属イオン配位改質層を熱処理して金属イオンを還元し、金属薄膜パターンを形成する工程と、該金属薄膜パターンをシード層として無電解めっき又は電気めっきにより金属薄膜回路パターンを形成する工程とを含むことを特徴とするポリイミド樹脂基材への金属薄膜回路パターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】簡便なプロセスにより、ポリイミド樹脂に対して密着強度が比較的高い金属薄膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】(1)アルカリ溶液を用いて、ポリイミド樹脂表面のイミド環を開環し、改質層を形成する工程;(2)金属イオン含有溶液を用いて、前記改質層に該金属イオンを吸着させる工程;(3)ホウ素化合物を含有するpH7.5〜8.2および温度40〜50℃の溶液に浸漬することによって、前記改質層に吸着した金属イオンを還元する工程;および(4)イミド環を閉環する再イミド化工程を含むポリイミド樹脂表面への金属薄膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】反りの発生および開口部から導体パターンとカバー絶縁層との間への材料の染み込みが防止されるとともに良好な屈曲特性を有する配線回路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ベース絶縁層1上に導体パターン2aを形成する。導体パターン2aの表面に凹凸6を形成する。導体パターン2a上に錫めっき層3を形成する。錫めっき層3上に開口部5aを有するカバー絶縁層4を錫めっき層3を覆うようにベース絶縁層1上に形成する。カバー絶縁層4の25℃における弾性率は1GPa以下である。 (もっと読む)


【課題】 液晶モジュールやヒンジ屈曲部などに使われるプリント配線板に関して、前記プリント配線板の伝送損失や屈曲性を損なわず、且つ各種ソフトマテリアルとの接着性が良好で回路形成時や部品実装時に支障をきたさないようなプリント配線板及び電子部品を提供すること。
【解決手段】回路加工された後のポリイミド系樹脂表面を、(a)アルコールアミンとアルカリ金属水酸化物を含む水溶液、及びまたは(b)過マンガン酸塩を含む水溶液にて処理されたことを特徴とするプリント配線板、該プリント配線板に、ソフトマテリアルが接着していることを特徴とする電子部品、並びに該電子部品の製造方法。 (もっと読む)


【課題】ホルムアルデヒドを含んでおらず、且つ安定であり、許容可能な銅堆積物をもたらし、且つ環境にも優しい、無電解銅浴の提供する。
【解決手段】一以上の銅イオン源と、ヒダントインおよびヒダントイン誘導体から選択される一以上のキレート化剤と、一以上のレドックス対とを含む組成物で、そのヒダントイン誘導体は、1−メチルヒダントイン、1,3−ジメチルヒダントインおよび5,5−ジメチルヒダントインから選択される。 (もっと読む)


【課題】配線基板の微細配線形成、特に、L/S=15μm/15μm以下または配線厚み15μm以下の微細配線形成が可能な銅のエッチング処理方法およびこの方法を用いてなる配線基板を提供することである。
【解決手段】銅をエッチング処理する方法であって、銅を酸化処理して酸化銅とする工程、その後、前記酸化銅を酸性溶液で溶解する工程を有する、銅のエッチング処理方法。 (もっと読む)


【課題】銅の表面に、Rzが1μm以下となるような微細凹凸を緻密かつ均一に短時間で形成することが可能な銅表面処理液セット、ならびに当該処理液セットを用いた銅の表面処理方法、当該表面処理方法を適用して表面処理された銅、当該表面処理方法を適用して表面処理された銅配線を有する配線基板、および当該基板を用いてなる半導体パッケージを提供することである。
【解決手段】銅より貴な金属の塩を含み、銅表面に銅よりも貴な金属を離散的に形成するための酸性の貴金属処理液と、リン酸塩と酸化剤を含み、銅表面を酸化するためのアルカリ性の酸化処理液と、を備える銅表面処理液セットであって、使用時には、貴金属処理液を用いて銅表面に銅よりも貴な金属を離散的に形成し、その後、当該銅表面を、酸化処理液を用いて酸化処理することで、銅表面に緻密且つ均一な酸化銅の結晶による微細凹凸を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】基板の変形および金属薄膜の亀裂を生じさせることなく、金属薄膜とポリイミドとの密着性が良好で、十分な厚みの金属薄膜を有するポリイミド配線板を製造可能なポリイミド配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】ポリイミド基板をアルカリ溶液で処理してイミド環が開環されたポリイミド改質層を形成する改質工程;前記ポリイミド基板を金属イオン含有溶液で処理して、該金属イオンを前記改質層に吸着させる金属イオン吸着工程;前記改質層にマスクパターンを形成し、該改質層を選択的に露出させるマスクパターン形成工程;および前記ポリイミド基板を還元浴で還元処理することにより、前記改質層に吸着した金属イオンを還元して、前記改質層の露出領域に金属薄膜を析出させる金属イオン還元工程;を含むことを特徴とするポリイミド配線板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 実装時の空気の巻き込みによるボイドの発生を低減して、接合信頼性の高い回路装置を得る。
【解決手段】 バンプ3を介して半導体装置2が配線基板4上のランド5に接合されている。配線基板4上にはソルダーレジスト膜6が形成されている。ソルダーレジスト膜6はバンプ3とランド5が接合する部分には形成されておらず、非形成部8となっている。この非形成部8は略口字状に形成され、その外縁は半導体装置2の外縁よりも外側にある。 (もっと読む)


銅相互接続層を、例えばTFT−LCDフラットパネル相互接続システムにおいて使用されるガラス基板などの基板上に堆積させる方法。本発明に従う方法は、a)任意に、基板を清浄化する工程と、b)任意に、この基板をミクロエッチングする工程と、c)触媒化層を基板上に堆積させて、触媒化基板を得る工程と、d)触媒化基板を、調整溶液を用いて調整して、調整触媒化基板を得る工程と、e)前記基板又はまたはその少なくとも一部をNi及びPの前駆体を含んだウェッツバス混合物と接触させることによって、前記触媒化基板に無電解NiP層を鍍金して、NiP鍍金調整触媒化基板を得る工程と、f)銅用触媒層をNiP鍍金層上に堆積させる工程と、g)Cu層を前記銅用触媒層上に堆積させる工程とを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】過マンガン酸塩処理などによる樹脂の表面粗化処理および錫を含む触媒付着処理を必要とせず、均一かつ密着性に優れためっき皮膜を提供する。
【解決手段】被めっき材を、陰イオン性界面活性剤、有機溶媒およびアルカリ成分を含む前処理溶液で処理し、その後、陰イオン性界面活性剤および貴金属イオンを含む溶液により処理し、無電解めっき処理を行う。 (もっと読む)


【課題】所定の高分子化合物を含むことにより、感度、保存安定性、及び無電解金めっき耐性に優れ、かつタック性が良好で感光層を傷付けることなく、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を効率よく形成可能な感光性組成物、感光性フィルム、前記感光性組成物を用いた永久パターン形成方法、及び前記永久パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及びアルカリ不溶性の熱架橋剤を含む感光性組成物を含み、前記バインダーが、側鎖に、炭素原子数7〜20の置換基を有していてもよい鎖状及び環状のいずれかの炭化水素基、並びにエチレン性不飽和結合を有する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性組成物等である。前記高分子化合物が側鎖にカルボキシル基を有する態様、などが好ましい。 (もっと読む)


【課題】高い密着性と、高いパターン精度で、ポリイミド表面に金属パターンを形成することができる、ポリイミドへの金属パターン形成方法を提供する。
【解決手段】ポリイミド表面の金属パターンを形成しない領域にアルカリ性水溶液に溶解しない疎水性物質を付着させ、疎水性物質が付着していない領域に選択的にアルカリ性水溶液を塗布し、この水溶液を塗布した領域に前記アルカリ金属イオンとは異なる金属イオンを含有する水溶液を接触させることによってカルボン酸金属塩の層を生成し、次いで、カルボン酸金属塩を還元して金属薄膜からなる金属パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】配線の高密度化を容易に実現でき、しかも剥離やクラックの発生の抑制、充填材中の金属イオンの拡散防止、レーザ光による充填材の浸食防止を有利に実現できる多層プリント配線板を提供すること。
【解決手段】基板上に、層間樹脂絶縁層を介して導体回路が形成されてなり、該基板にはスルーホールが設けられ、そのスルーホールには充填材が充填された構造を有する多層プリント配線板において、前記スルーホールの直上には、充填材のスルーホールからの露出面を覆う導体層が形成されてなり、当該導体層および当該導体層と同一平面内に位置する導体回路の全表面にはそれぞれ同一種類の粗化層が形成されているとともに、前記スルーホールの内壁には、粗化層が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、種々のエッチングバスを採用することのできる、非導電性基板(サブストレート)への金属被覆(メタライゼーション)方法を提案する。
【解決手段】少なくとも下記の工程、
(a)前記基板を金属含有活性化溶液に接触させる工程と、
(b)次いで、前記活性化溶液に接触させた基板を少なくとも1つのチオ硫酸塩を含む処理溶液に接触させる工程と、
(c)続いて、前記処理基板上に、金属又は合金層を析出させる工程と
から構成される、非導電性の基板(サブストレート)に金属被覆(メタライゼーション)をする方法であって、
前記チオ流酸塩を含有する前記処理溶液は、リチウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、あるいはこれらの混合物からなるイオングループの、少なくとも1つのイオンを含んでいることを特徴とする。 (もっと読む)


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