【課題】広い作業スペースを必要とせず、表面を汚すことなく、また、表面を傷つけることなく、大型基板の出し入れ作業を行うことのできる基板収納容器を提案すること。
【解決手段】マスクブランク収納体１は、基板収納容器１０にマスクブランク５０が密閉状態で収納保持された構成となっている。基板収納容器１０は、外側容器２０に内側容器３０が引き出し可能に収納され、内側容器３０の内部には、外周端面が保持された状態で大型サイズのマスクブランク５０が収納されている。内側容器３０を外側容器２０から引き出し、内側容器３０の内側容器蓋３２を外すと、マスクブランク５０の裏面５１ｆが露出する。吸着盤などの治具を用いてマスクブランク５０を内側容器本体３１から取り出して所定の場所に移すことができる。 （もっと読む）

【課題】マスク収納装置内で上蓋が下蓋にしっかりと装着されるマスク収納装置等を提供する。
【解決手段】マスク収納容器２は、マスク１を載置するベース部材２ｂとマスク１を覆う蓋部材２ａとからなり、大気環境と真空環境とを移動するマスク収納容器２であって、ベース部材２ｂと蓋部材２ａとの接合を付勢する付勢部材５を備える。また、付勢部材５が、ベース部材２ｂとマスク１の重量よりも大きな付勢力を有する。
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【課題】マスク収納装置内で上蓋と下蓋とが確実に外れるようにするマスク収納容器開装置等を提供する。
【解決手段】マスクを収納すると共に大気環境と真空環境とを移動するマスク収納容器を、真空環境において、マスクを載置するベース部材２ｂとマスクを覆う蓋部材２ａとに分離させるマスク収納容器開装置１８，３０であって、マスク収納容器を載置して搬送するマスク搬送部と、蓋部材を係止すると共に蓋部材を載置可能な蓋部材係止部１８ｂと、ベース部材２ｂをマスク搬送装置に向けて押圧するベース部材押圧部３３ａとを備え、蓋部材を蓋部材係止部１８ｂに係止させると共に、マスク搬送部によりベース部材２ｂを降下させて、ベース部材２ｂと蓋部材２ａとを分離させる。
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【課題】 レチクルと他の物質が接触することによるパーティクルの発生を抑えたレチクル搬送を行うことを目的とする。
【解決手段】 レチクルを搭載するための搭載部とその蓋部間の空間にレチクルを収容し支持するためのレチクルカセットであって、前記搭載部に前記レチクルのパターン面側を静電力によって吸着して支持する電極を備える。 （もっと読む）

【課題】客先での使用時に、精密基板収納容器をハンドリング中に落下させたり、衝撃を与えたりして、精密基板を破損させたり、汚染させたりすることを防止できる精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し治具を提供する。
【解決手段】精密基板を１又は複数枚収納可能な精密基板収納容器の外壁に取り付けられる付属部品の取り付け取り外し用の冶具２０であって、前記付属部品の取り付け取り外し用の冶具２０は、把持可能な本体部２１を有し、前記本体部２１の一端には、前記付属部品の係止部と係合する溝部２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ２６インチ以上の大形表示装置用基板を複数枚集積梱包して輸送するときの梱包手間を省くと共に、梱包資材の節約を図ってコストを減少させ、梱包出荷作業の省力化・効率化を達成できる表示装置用基板の出荷方法を提案する。
【解決手段】 薄形表示装置用基板が水平状態で載置されると共に、載置された該表示装置用基板をトレイ底から浮かせた状態で工程間を搬送するトレイを使用して、トレイの上面開口部にトレイ蓋を設置して前記トレイの段部とトレイ蓋とで前記基板を挟持する。
パレット付きコンテナを使用して、前記搬送トレイが該コンテナ内に横置されるようにトレイを所定枚数積層して投入する。次に、コンテナ内に投入した前記搬送トレイが縦置き状態になるように該コンテナを９０度反転させる。反転させたコンテナの開口部を閉じ、前記搬送トレイの積層体を該コンテナを介して一括輸送または保管する。 （もっと読む）

【課題】ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができるレチクル収納ケースを提供する。
【解決手段】レチクル１を水平に保持するレチクル保持体２ｂを有する下皿２ａと、レチクル１を上部から弾性的に押さえつける押圧体３ｂを有する上蓋３ａとで構成し、レチクル保持体２ｂは金属のようなプラスチック樹脂よりも堅い材料で形成されており、その形状は丸みを帯びた上部凸型とする。 （もっと読む）

【課題】ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋をテープを用いて容易かつ強固に固定すること。
【解決手段】
ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とを有するペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３と、当該トレイ３の蓋となるカバー２と、を有し、トレイ３およびカバー２の外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部２１ｄ，３１ｄを備え、トレイ３にカバー２を被せた状態において、トレイ３の外周部とカバー２の外周部によって平面部４を形成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】板状物を一枚ずつ載置し、搬送し、複数枚積み重ねた状態で保管することのできる枚葉搬送用トレイであって、収容する板状物にトレイからダストが付着することがない枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】外枠２間に桟４を架け渡すことによってワーク載置部３１を形成する枚葉搬送用トレイ１であって、桟４の両端を外枠２に接合するとともに、その接合箇所３をワーク載置部３１の外側に設けた。 （もっと読む）

【課題】 薄板状の物品を一枚ずつ載置して搬送する枚葉搬送用トレイであって、小さなピッチで積み重ねることが可能で、かつ充分な強度を備えた枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】 枚葉搬送用トレイの外枠２の断面形状を、フランジ１４，これより少し高い外側平坦部１１、これに連続して下降する傾斜部１３、この傾斜部１３の下方に連続する内側平坦部１２とで形成する。傾斜部１３の高さを適宜調整して、外枠２に要求される強度を得る。傾斜部１３を、積み重ねたときに上方から別のトレイが入り込む受容部として構成する。 （もっと読む）

【課題】 薄板状の物品を一枚ずつ載置して搬送する枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイに由来するダストが発生しない枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】枚葉搬送用トレイ１の外枠２には、耐磨耗性の高い樹脂ブロック８が固定されており、積み重ねられた枚葉搬送用トレイ１との接触部を構成している。樹脂ブロック８には、上下に嵌め合わせることのできる位置決め部が設けられている。また、樹脂ブロック８には、トレイマガジンの爪によって支持される被支持部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率、加工効率の向上、搬送時間の短縮及び設備コストの低減を図ることができる半導体ウェハ等の搬送システムを提供すること。
【解決手段】 本発明は、複数の各種加工装置Ａ〜Ｈ、Ｒに対してウェハキャリアＷＣの加工装置間搬送を行う搬送システム１０において、所定の基数の加工装置に対して加工装置間搬送を行うよう構成された複数の基本搬送モジュールＭと、相互に隣接する基本搬送モジュール間でウェハの搬送を中継する中継プラットホームＴＰとを備える。また、このシステムでは、各基本搬送モジュールは、対応の加工装置に沿って配置された単一の搬送路１４と、この搬送路により案内され正逆両方向に移動可能である単一の搬送機１６とを有する。この構成により、搬送機間の渋滞、衝突の恐れなしに、ループやバイパス搬送路を設けることなくスキップ前進・逆進搬送を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 アウトガスがより少なく、静電気によるパーティクルの付着がより少ない、精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】 熱可塑性樹脂１００質量部に対して、導電性化合物を１〜１０質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は、８０℃にて６０分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガスの総発生ガス量が０．３ｐｐｍ以下であり、表面抵抗値が１０³〜１０⁸Ωであることを特徴とする。熱可塑性樹脂が粘度平均分子量１００００〜３００００のポリカーボネート樹脂であり、導電性化合物がＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ³／１００ｇ以上、ＢＥＴ比表面積が５００ｍ²／ｇ以上の導電性カーボンブラックであること、前記ポリカーボネート樹脂は、ペレット２ｇを１００ｍｌの超純水に入れ、５０℃で３時間加熱した時に溶出するイオンの溶出液濃度の総量が８ｐｐｂ以下であること、また、前記ポリカーボネート樹脂は、安定剤及び離型剤の添加量がが５００ｐｐｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】マスクやウェハ等の基板を異物から保護しながら搬送するとともに搬送後における基板の利用を容易にする。
【解決手段】容器３００は、マスクやウェハ等の基板７１を吸着して保持するチャック３１０と、チャック３１０とともに保管空間１０８を形成するカバー３２０とを備える。基板７１は、チャック３１０にカバー３２０が装着された状態において保管空間１０８内に保持されて搬送される。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器に収納された基板の搬送中のたわみを抑制し、基板の取り扱いが容易で確実に運搬できるようにする。
【解決手段】 枚葉基板収納容器９は、方形状の容器本体１０及び蓋１７から構成されている。容器本体１０は、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６を有し、蓋１７は、複数のリテーナ１８を有している。ウエハ収納部１１は、ウエハ７を収納する空間部分である。蓋収納部１２は、蓋１７を収納する空間部分であり、その上部に設けられた２つの凹部１５に蓋１７のストッパとしてのクランピング機構部１９をそれぞれ挿入することにより枚葉基板収納容器９が密封される。支持部１４は、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い円形状を有し、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。 （もっと読む）

【課題】
手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供する。
【解決手段】
カセットＣを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ５を用いて、作業者の力を中間部４の上昇力に変換するので、中間部４を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ７を用いて、作業者の力を保持部６の上昇力に変換するので、保持部６を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部６がオーバーハングしていると、カセットＣを移送させやすいというメリットがある。 （もっと読む）

【課題】 保持枠が変形せず、ペリクル膜が変形することのない、取扱い及び搬送が容易で、簡単な構造で補強することのできるリソグラフィ用大型ペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 一辺の長さが300mm以上で、外形が４辺以上の辺より構成される枠体でペリクル膜を保持する大型ペリクルを収納する収納容器であって、該収納容器が樹脂で形成され、外形の少なくとも一部が収納容器より大きな容器補強体上に、該収納容器が載置又は載置後接合されてなることを特徴としている。なお、収納容器は、ペリクルを収めるカバーと該カバーを支持・運搬するためのトレーから構成されている。この容器補強体には、持ち運び用の取っ手を設けるとよい。また、容器補強体は、金属製又は樹脂製、あるいは樹脂と金属の複合材料や、樹脂と無機材料の複合材料で構成するのが好ましい。無機材料には、炭素繊維が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】外力が加わっても、破損や収納不良が発生しにくく、半導体ウエハ等を一枚づつ収納しても、取扱や管理を容易に行うことが出来るウエハ収納容器を提供する。
【解決手段】湾曲弾接片１４は、この蓋体１３の裏面側に外周縁部から一定距離内側に離間して形成される円弧状装着溝部に、半嵌着されることにより、リップ部を下方に向けて突設させている。そして、内径方向へ向けて凹状となるように、両端部１４ｂ，１４ｂが湾曲されていて、この両端部１４ｂ，１４ｂが、周方向に離間した２箇所で、容器本体１１内に収納された半導体ウエハ４の外周縁４ａ，４ａに弾接して保持する。この湾曲弾接片１４の曲率半径は、半導体ウエハ４の外周縁部４ａの曲率半径よりも小さく、各端部１４ｂ，１４ｂが、半導体ウエハ４の外周縁４ａ，４ａに各々浅い角度で当接する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供する。
【解決手段】工程内のフォトマスクの搬送、保管用ケース及びフォトマスクのシッピング用ケースなどフォトマスクを搬送、保管するためのフォトマスケースであって、フォトマスクケースの内壁部にガスバリア層を設けており、前記ガスバリア層が酸化ケイ素膜もしくは酸化ケイ素膜と導電薄膜とからなるフォトマスクケース。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルタ基板を傷、破損から守り、保管、輸送に有効な基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体と、前記第１の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第２の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）