【課題】薄いウエハの周縁部を確実に固定し収納する枚葉式ウエハケースを提供する。
【解決手段】下ケースに適合する上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえ、下ケースおよび上ケースから構成されるウエハケースにおいて、上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえによりウエハ周縁部を押さえ、それ以外のウエハ領域にはウエハケースやウエハ押さえは接触しない。上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえとウエハとの接触部は、ウエハ上面および下面で同一のウエハ内領域である。ウエハ押さえは弾性構造および／または弾性材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で軽く安価な基板収納トレイを提供する。
【解決手段】 口径４５０ｍｍの半導体ウェーハＷを収納するトレイ本体１と、トレイ本体１に着脱自在に嵌合されて半導体ウェーハＷを覆うトレイ蓋１０とを備え、トレイ本体１とトレイ蓋１０を、樹脂を含む成形材料を使用してそれぞれ熱成形する。トレイ本体１とトレイ蓋１０をそれぞれ平面略矩形に形成してその平坦な対向面のいずれか一方には凹部６を、他方には凸部１２をそれぞれ形成し、凹部６と凸部１２を相互に嵌合可能とする。また、トレイ本体１の中央部に、半導体ウェーハＷを隙間を介して収納する収納穴２を凹み形成してその周壁には半導体ウェーハＷ用の取り出し溝５を形成し、トレイ蓋１０の中央部に、半導体ウェーハＷを隙間を介して覆う中空の被覆部１１を膨張形成し、トレイ蓋１０の表面四隅部には、操作用の係止部１３をそれぞれ突出形成する。 （もっと読む）

基板キャリアを加圧するための方法は、キャリアと一体構造のものであるチャンバおよび／またはキャリア内の基板カセットを加圧するステップと、チャンバからキャリア内へガスを放出することにより、キャリア内の圧力を維持するステップとを含む。
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【課題】レチクル収納容器内部に設置する汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーを容易に交換可能とする手段を提供する。
【解決手段】ケミカルアブソーバーを挟持するカートリッジ本体およびストッパーからなるカートリッジをレチクル収納容器の蓋体の側面にピン部および溝部の結合により固定する。カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有し、ケミカルアブソーバーは抜け防止機構で確実に抑えられてカートリッジに固定される。抜け防止機構は、少なくとも１つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および突起を受け、突起に対応する少なくとも１つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなる。さらに、カートリッジはヒンジ部を有し、レチクル収納容器の蓋体角部にも設置することが可能である。連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体として成形することもできる。 （もっと読む）

【課題】 搬送室に接続できる処理室の数に制限がなく、処理すべき基板の雰囲気を所定の環境に維持しながら処理室まで搬送することができる基板処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 内部に収容した基板に対して処理を施すための少なくとも一つの処理室３Ａ〜３Ｆが設けられる。搬送ケース４は、外部雰囲気から隔離された状態で基板を収容し、基板を搬入・搬出するための出入り口を有する。搬送機構５は、処理室に対して基板を搬入・搬出するための第１の位置に搬送ケース４を運ぶ。搬送ケース取り付け機構４０は、搬送機構から分離されて単独で搬送ケースを第１の位置に固定する。搬送ケース４は搬送機構に対して着脱可能に支持される。 （もっと読む）

【課題】 真空成形後の外周加工において適切な加工方法を確立し、端面にバリ等の欠陥が無い清浄なペリクル収納容器を低コストで得る。
【解決手段】 樹脂のシート材を真空成形後、シート材周囲の余剰部分を切削除去してペリクル収納容器部材とし、次いで、前記余剰部分除去後の表面部分に有機溶剤の塗布等の溶解処理を施す。切削加工後の表面に生じたバリを容易に溶解除去し平滑にできるため、端面が清浄なペリクル収納容器を低コストで得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
トレーの収納用ポケットに収納しようとする半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じている場合や、既に収納用ポケットに収納している半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じた場合でも、この回転ずれを許容範囲内に補正できる半導体集積回路用トレーを提供できるようにした。
【解決手段】
トレー１における仕切り枠２の各ポケット３内に面した少なくとも一つの枠面に、同仕切り枠２に設けている呼込みガイド７の支持段部４上面に対する傾斜角度よりも小なる傾斜角度を備える補正ガイド８を、仕切り枠２の中央部乃至中央部近傍に、かつ仕切り枠２の基部から上方に向けて形成する。 （もっと読む）

【課題】容器及び蓋からなる薄い基板容器を、容器に挟み込む力を作用させることなくハンドリングして、炉内に積層して載置し、炉内から搬出することができ、これにより基板の汚染を防止しながら水蒸気アニール処理をし、かつ炉内処理領域への基板のセット数を高めて、スループットを高めることができる基板容器用ロボットハンドと蓋付基板容器を提供する。
【解決手段】水平に位置する蓋付基板容器３の外縁に沿って延び、水平かつ対向して互いに平行に拡縮可能な１対の容器支持枠１２と、容器支持枠を蓋付基板容器の外縁に近接する縮小位置Ｃと離れた拡大位置Ｏとの間で移動させる支持枠駆動装置１４と、支持枠駆動装置を支持し、容器支持枠を間隔を隔てて水平に囲む枠部材１６とを備える。蓋付基板容器３は、その外周の少なくとも一部に所定角度のテーパ下面３ｃを有し、１対の容器支持枠１２は、縮小位置においてテーパ下面に近接しかつ同一角度のテーパ上面１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハを薄膜化して個片化した後、ウエハを支持体に貼り付けた状態で搬送する。
【解決手段】
ウエハの表面にハーフダイシングを行って溝部４を形成した状態で、剛性のある支持体５に接着層６を介してウエハの表面と貼り付ける。そして、ウエハの裏面を研削して各チップ２ｂに個片化したあと、チップ２ｂを支持体５から分離せずに、裏面電極９ａ形成などの熱処理を伴う裏面加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 蓋体の狭いスペースに施錠機構を設けることができ、しかも、蓋体用の開閉機構の複雑化防止を図ることのできる基板収納容器用蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハを整列収納する正面視略横長の容器本体と、容器本体の開口した正面を開閉する正面視略横長の蓋体３０とを備え、蓋体３０に、容器本体の正面に嵌合された際に施錠する施錠機構４０を内蔵する。そして、施錠機構４０を、蓋体３０に支持され、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に対向する一対の進退動係止体４１と、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に進退動係止体４１を進出させてその先端部を干渉接触させる一対のコイルバネ４７とから構成する。横長の蓋体３０に小型の施錠機構４０を横にして配置するので、狭い内蔵スペースに施錠機構４０を適切に取付けることができる。 （もっと読む）

パージステーションは少なくとも１つの上方に延在するパージノズルを有する基板コンテナ受容域を備える。前記ノズルは円形の係合リップを有する。前記基板コンテナは、少なくとも一つの基板のための支持手段と、前記コンテナから下向きの外向き封止フランジを含むパージポートアセンブリとを有する。前記封止フランジは、中央の開口部と、前記ノズルの円形係合リップと係合する片持ち状のフランジ部とを有する。前記フランジの前記片持ち状部分により保持される前記ノズル上の前記基板コンテナの重量により、弾性力のある柔らかい封止のためのフランジ部の曲がりが生じる。
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【課題】保護用カセットの許容量以上の変形を検知することで、保護用カセットと板状製品との接触を抑制して板状製品及び／又はカセットの損傷又は破損を未然に防止するようにした板状製品保護用カセットの変形検知システムを提供すること。
【解決手段】板状製品１を収納するようにした保護用カセット２を載置する置き台３の上部に複数の距離センサ４ａ、４ｂ、４ｃを配置し、距離センサ４ａ、４ｂ、４ｃにより、置き台３の上に載置した保護用カセット２の上面との距離を計測し、各距離センサ４ａ、４ｂ、４ｃによる計測値ａ、ｂ、ｃと、予め設定した許容値ａ_０、ｂ_０、ｃ_０とを比較することにより保護用カセット２の変形を検知する。 （もっと読む）

【課題】 容器本体を成形する金型の構成の簡素化を図ることのできるティース体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 二枚の半導体ウェーハを収納可能な大きさを有するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを整列させて支持するティース体２０と、容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体１と蓋体との間に介在されて気密機能を発揮するエンドレスのガスケットとを備える。そして、ティース体２０を、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ嵌合されて半導体ウェーハの裏面周縁部を支持する複数対のティース２１と、複数対のティース２１の後部を連結して容器本体１の内底面に嵌合される連結片２３とから一体形成する。容器本体１にティース体２０を後から組み付けるので、容器本体１を成形する金型の型開きが困難化したり、コア型を分割式にする必要がない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】搬送具本体と、前記搬送具本体に設けられ、物品を保持する保持手段と、前記搬送具本体の前記保持手段が設けられた面以外の面に設けられ、搬送装置と接続される接続部と、を備えたことを特徴とする物品の搬送具が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】一対の搬送部材で物品を挟持する物品の搬送具であって、 前記物品を挟んで対峙する第１の搬送部材及び第２の搬送部材と、前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の周縁部に設けられ、前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材とを、前記物品を挟持しつつ接続する接続手段とを備えたこと、を特徴とする物品の搬送具が提供される。 （もっと読む）

【課題】脆弱材料のプレートを強固に押し且つ位置決めし、この脆弱材料のプレートの静電荷をクリーン容器から外へ伝導するためのカバー上にねじ留めされた位置決め構造体。
【解決手段】弾性位置決め構造体を有するクリーン容器は、ベース上に支持要素と後方位置決め要素を含む。カバーは、ベースを覆うために配置されると共に、位置決め部品は、カバーとベースとの間に配置され、横方向へ延出する二つの弾性アームを有し、各弾性アームが延出して押し表面を夫々有する。脆弱材料のプレートがベース上に置かれ、カバーが閉鎖されると、押し表面が強固にこのプレートに押し付けられて、プレートを押し、それによって、プレートが後方へ移動し、後方位置決め要素に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】可搬型基板キャリアエンクロージャを提供すること。
【解決手段】キャリアエンクロージャは、キャリア支持体と、移動可能なカバーと、支持体とカバーとの間のスペーサと、ガス入口と、取外し可能な蓋とを有する。可搬型基板キャリアエンクロージャを使用して基板上に空気の影響を受けやすい材料を堆積させるためのアセンブリおよびプロセスも提供される。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の内部に滞留している基板を、基板及び基板処理装置の損傷を抑制しつつ、自動的に短時間で回収する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理室と、複数枚の基板を収容する基板収納容器と基板処理室との間に設けられ内部の圧力を制御可能な予備室と、予備室内に設けられ基板収納容器と基板処理室との間で基板の搬送を行う搬送手段と、搬送手段の動作を制御する制御手段とを備え、制御手段は、基板処理装置内における基板の位置を示す位置情報を管理するとともに、搬送手段による搬送処理が中断されて位置情報を管理することが出来なくなった場合に、基板処理装置内に残留している基板を基板収納容器から近い順に基板収納容器内へ搬送させるように搬送手段の動作を制御する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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