【課題】レチクルケースの帯電を防止し、レチクルおよびレチクルケースへの塵埃等の異物の静電的付着を防止し、かつレチクル情報を確実に把握すること。
【解決手段】レチクルケースの上・下面に透明窓を設ける。これによりレチクルケース内のレチクル状態およびレチクル情報を把握できる。透明窓以外のレチクルケースは非帯電性材料で形成され、かつ連続している。これによりレチクルケースの帯電を防止できる。レチクルケースには呼吸弁およびケミカルアブソーバーが設置される。これによりレチクルケース内は、常に清浄な環境に保持される。呼吸弁はレチクルケース外表面から張り出さない構造である。このため、レチクルケース本体および蓋体の側面に形成されたV溝を用いて固定スライダでレチクルケース本体および蓋体を結合固定できる。また、呼吸弁の破損がなくなりレチクルケースの取り扱いも容易になる。 （もっと読む）

【課題】 射出成形性に優れ、高い機械的強度と耐衝撃性、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、各種イオン量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物、およびそれを使用したシリコンウェーファー搬送治具の提供。
【解決手段】 ポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量部と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、濾過した抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】大形物品用の搬送システムと小形物品用の搬送システムとの間で小形物品用の搬送システムを待たせることなく小形物品を搬送できる搬送システムを提供する。
【解決手段】 レチクルカセット１８を搬送するコンベヤ４を設け、有軌道台車１４のリフタ１６でレチクルカセット１８をリフトさせて、ダミーＦＯＵＰ２２の内部とコンベヤ４との間で受け渡しする。
【効果】 ＦＯＵＰ搬送用の搬送システムとレチクル搬送用の搬送システムを接続できる。 （もっと読む）

【課題】成膜室内のメンテナンス性を向上させて、成膜装置の生産性を高める。
【解決手段】基板を加熱するための加熱手段を成膜室から分離した構成とすることにより、成膜室のメンテナンス性を向上させる。成膜装置は、成膜室内に配置するプラズマ放電用の電極と、成膜室内に対して基板を搬出入する基板トレイとを備え、基板トレイは、少なくとも１枚の基板をほぼ垂直方向に支持する支持面と、当該支持面の背面側に配置した加熱手段とを有する。これよって、基板を加熱するための加熱手段を成膜室から分離し、成膜室内のメンテナンス性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】コンテナまたはカセットにレチクルを固くかつ解放可能に保持する。また、微粒子異物を減じる。
【解決手段】本体１２と、締付けバー１４と、この締付けバー１４に取り付けられた複数の角隅支持部材２０，３４とを有しており、ばね４０が設けられており、このばね４０は、一方の端部で前記複数の角隅支持部材２０の少なくとも１つに取り付けられており、他方の端部で前記本体１２に取り付けられており、前記締付けバー１４が動かされる時に、前記複数の角隅支持部材２０，３４が動くようになっている。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて簡易に、真空処理装置で真空処理した基板を大気に晒すことなくその測定を行うことを可能とし、従来に比べて作業効率の向上を図ることのできる基板収容ケース及び基板真空処理システムを提供する。
【解決手段】真空処理装置の真空搬送チャンバ１０から半導体ウエハＷを取り出し可能とする基板収容ケース３０であって、内部を気密に閉塞可能に構成された基板収容部３１と、 半導体ウエハＷの搬入出用の開口部３２と、開口部３２を気密に閉塞可能とされた開閉機構３３と、真空搬送チャンバ１０に脱着するための脱着機構としてのねじ３７等と、開閉機構３３と真空搬送チャンバ１０との間に開口し、これらの間を真空及び大気圧に設定可能とする通気ポート３９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】広い作業スペースを必要とせず大型基板を出し入れでき、その表面を汚すことなく搬送可能な基板搬送ケースを提案すること。
【解決手段】マスクブランク搬送ケース１は、密閉型の収納箱２に、マスクブランク８が保持されているキャスタ付きの基板保持具４が前側から出し入れ可能である。基板保持具４を入れると、その支持台４１が、Ｏリング５９を挟み、収納箱側の仕切り用枠板３１、３２に下側から押し付けられ、基板収納部２３が上下に二分される。マスクブランク８の側に、キャスタ側から埃などの異物が回り込み、その表面を汚してしまうことを防止できる。また、前方からキャスタ付きの基板保持具４を出し入れするので作業スペースが少なくて済む。 （もっと読む）

【課題】装置内との接続に支障を生ずることなく、オープンテーブル上に複数のＦＯＵＰを無理なく導入することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】オープンテーブル３は、複数のフロントオープン一体型ポッド５１が縦置き姿勢で且つ位置決め状態でそれぞれ載置されると共に、基板処理装置１に沿わせるように横並びに配設した複数の縦移動手段３１と、各縦移動手段３１を横並びの並び方向に直交する方向にスライド自在に支持すると共に、複数の縦移動手段３１を並び方向に一体として移動させる横移動手段３２と、搬入搬出口４に臨んだ各フロントオープン一体型ポッド５１を、縦移動手段３１を介して搬入搬出口４に密接させるポッド押圧手段３３と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。
【解決手段】駆動することでＦＯＵＰ１０を搬送方向に搬送するローラ２１ａを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路２１と、ローラ２２ａを有し、少なくとも一部が主搬送路２１と平行に配置された副搬送路２２と、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出すプッシャー３と、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬出する移載装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭＩ規格の規定を遵守した状態で、半導体ウエーハが複数枚積層された状態で収納されている１つの第１フープの他、１枚の半導体ウエーハを収納した第２フープが複数積層されている第２フープ群（積層型フープ群）も取り扱うことができるフープオープナを提供する。
【解決手段】第１フープＦ１が載置される水平面２２を有する載置台２０と、載置台２０に着脱可能に設けられ第２フープＦ２が載置される台座部３２と、上下方向に移動可能に設けられ水平面２２の一部を形成するとともに積層された第２フープＦ２同士のロックを解除するロック解除機構３４と、を備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】厚さが比較的薄い半導体ウエーハと通常厚さの半導体ウエーハなどといった、相反する性質を持つ２種類の半導体ウエーハを、ハンドの構成部品をその都度交換することなく搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ハンド１４の一方側面３８Ａに設けられた第１非接触保持部４０により半導体ウエーハＷが非接触の状態で保持される。また、同時に、ハンド１４の他方側面３８Ｂに設けられた第２非接触保持部６０により半導体ウエーハＷが非接触の状態で保持される。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクなどの被収納物の収納ケースの上蓋を開成した際に、ケース内部が負圧になって流れ込む外気流に起因して生じるパーティクルの汚染を防止する。
【解決手段】 下皿部１と該下皿部１に開閉自在に冠着する上蓋２とからなり、板状の被収納物３を該下皿部１に保持して収納する収納ケース１０において、該被収納物３の周縁部を囲むように、該下皿部１に植立した下障壁１１と該上蓋１１に垂下した上障壁２１とを有し、該上蓋２が閉成した際には、該上障壁２１が該下障壁１１の内側に位置し、該上障壁１１と該下障壁２１とが上下方向に重なっているように構成する。 （もっと読む）

基板の表面上のヘイズ成長を防止する装置および方法が開示される。この装置は、基板を保存する働きをする容器と、その容器に結合された気体源とを含む。気体源は、基板の表面上にヘイズが成長するのを防止するために、容器内に気体を分与する働きをする。
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通常基板容器はカバーと、基部と、ラッチ機構と、基板保持システムとを含む。基板容器は角部に設けられたフランジを備える角部を有する。各フランジは貫通する孔を有し、容器による衝撃吸収性能を高め、これにより基板を堅固に保護する。
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本発明は、基板キャリヤを開放するための方法、システム及び装置を提供する。本発明は、基板キャリヤ搬送システムから基板キャリヤを受け取るための新規なロードポートを提供する。このロードポートは、ドア開放機構に対して基板キャリヤドアを保持するために真空圧を使用するように適応されたドア開放機構を含む。このロードポートは、更に、潜在的汚染物質が基板キャリヤに入らないようにするために基板キャリヤの周辺へガス流を加えるように適応される。他の種々な特徴部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】従来の局所クリーン化技術の成果を取り入れながら、耐衝撃性に優れたクリーン容器を提供する
【解決手段】耐衝撃性クリーン容器１は容器３を有し、容器３にはガスケット１８を介して扉１７が設けられている。
扉１７上には緩衝材２１ｃ、２１ｄが設けられており、容器３の上部１３の内壁には緩衝材２１ａ、２１ｂが設けられている。
また、緩衝材２１ｃ、２１ｄの上面には下部保持部２４ａ、２４ｂが設けられており、緩衝材２１ａ、２１ｂの下面には上部保持部２３ａ、２３ｂが設けられている。
扉１７が閉じた状態では、試料２５は、上部保持部２３ａ、２３ｂと下部保持部２４ａ、２４ｂに挟み込まれており、上部保持部と下部保持部に設けられた緩衝材が試料２５に外部からの衝撃が伝わるのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 真空露光装置においてレチクルを保管または搬送している間にレチクへ塵埃が付着することを防ぎ生産性の向上を目的とする。
【解決手段】 ロードロック室２４を介して、真空排気手段２９、３０が接続されたチャンバ３と装置外部との間でレチクル収納容器２７の搬送を行う露光装置であって、前記レチクル収納容器を開閉するための開閉手段１３が前記チャンバ３内に配置されかつ前記レチクル収納容器を保管するレチクル保管部１２を前記チャンバー内に備えることを特徴とする露光装置。 （もっと読む）

【課題】薄板を安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】少なくとも１枚の薄板を支持する載置トレイ１３である。一側面に設けられ少なくとも１枚の薄板が載置される第１載置部１８と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３の上記第１載置部１８と嵌合して外部環境と隔離した収納空間を形成すると共に当該収納空間内で上記薄板を挟み持って上下を逆にした際に当該薄板が載置される第２載置部１９と、一側面に設けられ他の載置トレイ１３と結合するフック３０と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３のフック３０と結合するフック係止機構３１とを備えた。この載置トレイ１３を、上記薄板の枚数に合わせた枚数だけ重ね合わせて薄板保持容器１１を構成する。この薄板保持容器１１は薄板を上下いずれからでも支持することができる。 （もっと読む）

【課題】薄板の受け渡し等の際に載置トレイを正確に位置決めする。
【解決手段】外部機械装置側に嵌合するための一対のベーストレイ１２と、当該各ベーストレイ１２の間に挿入されて薄板を収納するための１又は複数の載置トレイ１３と、当該各載置トレイ１３の間や上記ベーストレイ１２と載置トレイ１３との間を任意の位置で互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段１４とを備えた。上記載置トレイ１３の側面の対向する２箇所の位置には、外部機械装置側の処理アームが嵌合して把持する把持部２１が形成された。当該把持部２１は、上下方向の位置決めをする、互いに傾斜した２つの傾斜面を備えた、縦断面形状を楔状に形成された。把持部２１には、載置トレイ１３の左右方向の位置決めをする、互いに傾斜した２つの傾斜面を備えた装置位置決め溝５２が設けられた。 （もっと読む）

【課題】この発明は複数のトレイに収容された半導体チップを基板に実装する際、半導体チップがなくなったトレイの交換を容易に行なえる実装装置を提供することにある。
【解決手段】基板を搬送位置決めする基板搬送手段と、半導体チップを収納したトレイ１０６を供給ステージ２に供給する部品供給手段１と、部品供給手段によって供給ステージに供給されたトレイから半導体チップを取り出して基板に実装する実装ツールを具備し、部品供給手段は、それぞれ異なる種類の半導体チップが収納載置されたトレイが出し入れ可能に設けられた複数のトレイスタッカ１０５と、供給ステージと一体的に設けられ異なる半導体チップが収納載置された各トレイスタッカのトレイを供給ステージに選択的に供給搬送するとともに、空になった上記トレイをそれぞれの上記トレイスタッカに回収搬送する複数のトレイ搬送用のコンベアユニット１０１を有する。 （もっと読む）