【課題】 極めて薄いシンウエハーを安全にかつ確実に支持することができると共に容易に出し入れできるようにする。
【解決手段】 内部に１枚のシンウエハー４Ａを収納する容器本体２と、当該容器本体２に取り付けられる蓋体３とを備えた枚葉収納容器１である。容器本体２側に位置して蓋体３を底面側から支持する底面支持部材３５と、蓋体３側に位置して上側表面側から支持する表面支持部材３６とを備えた。底面支持部材３５は、シンウエハー４Ａの中央部分を支持する中央支持部３７と、外周部分を支持する外周支持部３８と、径方向外方から支持する周縁支持部３９と、上記中央支持部３７と外周支持部３８とを一体的に結合する環状板部４０を備えた。表面支持部材３６は、シンウエハー４Ａを上側から覆う円盤部４３と、上記底面支持部材３５と共に上記シンウエハー４Ａを挟むようにして支持する当接部４４，４５とを備えた。 （もっと読む）

半導体ウェファ収納装置又はウェファボックスは、平面の床と、そこから立ち上がる二重の同心円の円筒形壁構造とを備えた下部構造含む。二重の同心円の円筒形壁構造は、スロットを含んでいて、スロットを介して掛け金要素は、半径方向に軸回転する。掛け金要素は、内部パッド付きスペーサ要素を含む。掛け金要素は、パッド付きスペーサ要素がウェファ収納スペースから相対的に離れる外側の位置と、パッド付きスペーサ要素がウェファ収納スペースに突き当たる内側の垂直な位置との間で軸回転し、そこで半導体ウェファを押し付ける。蓋の傾斜部は、外側の位置にある掛け金要素を捕捉し、内側の垂直な位置へ軸回転するよう掛け金要素を押込めて、蓋に形成されたスロットによってこの位置で移動止めの係合をする。
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【課題】板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルター基板を傷、破損から守り、保管、輸送に便利な基板収納体を提供する。
【解決手段】基板３と離間体５とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、基板収納容器は、積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、積重体を支持台に押し付け固定する押圧手段１５とを有し、離間体はクッション性を有する材質であり、離間体の基板との接触部は、押圧手段により押圧されて圧縮され、離間体の基板との非接触部が基板の側部クッション材として具備される。 （もっと読む）

【課題】 液晶用マスクブランクスなどで代表される大型基板を損傷しないように搬送できる基板ケースを提供すること。
【解決手段】 第１のケース本体１と第２のケース本体２を接合して内部に基板１００が収容できる空間を形成する。基板１００は基板押え具（１０）及び基板固定具２０に挟持し、第１及び第２のケース本体１，２の錠金具３を施錠して固定する。基板固定具２０の第１ボックス２１には、ケース内に向って出没自在に突出させた推進ネジ軸２３、推進ネジ軸２３にねじ結合した正面視Ｘ字状の締付けレバー２５、推進ネジ軸２３をケース内に向って前進させる付勢手段２６、推進ネジ軸２３の先端に設け基板の側面を固定する基板押え２７を設ける。基板押え具（１０）並びに基板固定具２０は第１及び第２のケース本体１，２に複数個設けられる。 （もっと読む）

【課題】 収納された半導体ウエハー４を容易に出し入れできる枚葉収納容器を提供する。
【解決手段】 内部に１枚の半導体ウエハー４を収納する容器本体２と、この容器本体２に取り付けられる蓋体３とを備えた枚葉収納容器１である。容器本体２が、半導体ウエハー４を載置する底板部５と、この底板部５の周囲に形成された周壁部６とを備え、底板部５が周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成した。容器本体２の底板部５には、半導体ウエハー４を底板部５との間に隙間を空けた状態で支持するための複数の薄板支持凸条８を備えた。蓋体３天板部２１の内側面には、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部を支持する複数のリテーナー２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハを出し入れする際の作業性を向上させたウエーハ収納ケースを提供する。
【解決手段】 下ケース１０と上ケース２０とを有し、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納するウエーハ収納ケース１００であって、下ケース１０の外周の一部分から当該下ケース１０の収納空間下の部分にかけて、ピンセットＰの先端部を挿入可能な切欠き１が設けられている。このような構成であれば、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納する際に、ウエーハＷを保持したピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。また、上記収納空間からウエーハＷを取り出す際も、ピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。 （もっと読む）

本発明は標準化された機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）レチクルポッドを提供し、それはレチクルを支持するための制御環境を提供するように形成されており、制御環境は混入物を原因とする結晶生成がほぼ起こらないように維持されている。従って、粒状物を除去し気体の混入物を吸着できるフィルタ部材を有する層状フィルタが提供される。フィルタは表面領域を備えたほぼ平らな形状の内向面を有しており、表面領域はレチクル面のほぼ半分以上の面積である。内向面はレチクルのパターン化表面に隣接して配置されており、レチクルのパターン化表面の面積の大部分に相当する面積を有する。また、ＳＭＥＦポッドは制御環境内に非常に乾燥した気体を注入することによってフィルタを再生すると共に制御環境の混入物を吹き流すように形成されたパージシステムを備える。
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【課題】 シリコン酸化膜が形成されたシリコン基板の保管において、シリコン酸化膜の膜厚の変化を防止する手段を提供する。
【解決手段】 シリコン酸化膜が形成されたシリコン基板を、容器内で水性媒体中に浸漬することにより保管する方法。 （もっと読む）

本発明は、粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するためのポッドであって、外部とポッドの内部環境との間において均圧化を行い、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板近傍において内部の気体の流れを最小限にするポッドに関する。ポッドは、第１ポッドと、カバー内に配置されるダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムは、通常は非撓み位置にあり、その非撓み位置から撓むことができる。好ましくは、ポッドは、第１ポッド内に配置され、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するための第２エンクロージャを形成する第２ポッドを備える。ポッドは、同ポッドに連結され、かつポッド外部とポッド内部との間で気体の流通を可能にするフィルタを備えることができる。ダイヤフラムは、急激な圧力変化に応答することができる。フィルタは、より緩やかな圧力変化に応答することができ、ダイヤフラムがその通常の非撓み位置に戻ることを許容する。
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【課題】 基板搬送容器内空間の汚染状態を簡便に評価する方法を提供すること。
【解決手段】 容器本体と蓋体とを有し、該容器本体は一側面に開口部が形成され、また、該蓋体は該開口部を閉塞可能に、かつ該容器本体に開閉自在に取り付けられてなる基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法であって、該基板搬送容器に袋体を該開口部が該袋体で外気と遮断されるように装着した後、前記蓋体による該開口部の閉塞状態を解除して該容器本体内部空間と該袋体内部とを連通させ、該袋体に設けられたガス導入孔から不活性ガスを前記容器本体内に導入しながら、該袋体に設けられたガス排出口から排出される排出ガスを捕集し、該排出ガス中の汚染物質を分析することを特徴とする基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法 （もっと読む）

【課題】 基板周囲の雰囲気を清浄に保ったまま搬送するに際しての空調エネルギーの削減を図ることが可能な技術を提供する。
【解決手段】 基板Ｗに対して所定の処理を行う複数の処理装置１０の配置位置に沿うように搬送経路が構成され、基板Ｗを、各処理装置１０それぞれに対応した受け渡し準備位置Ｐ１に間欠搬送するコンベア３０を備え、コンベア３０には、基板Ｗを気密に収納する基板収納容器５０が着脱自在に装着され、基板Ｗを基板収納容器５０に収納した状態で受け渡し準備位置Ｐ２に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 トレイからの削り屑がトレイ内にて発生することが無く、ウェハ表面上にトレイ屑が付着しない半導体ウェハ用トレイを提供する。
【解決手段】 ウェハ１１を収容するトレイ１０と、蓋１３とからなる半導体ウェハ用トレイであり、蓋１３の外周に固定用の爪１５設け、トレイ１０の外周に固定用の爪受け２０を設け、トレイ１０に蓋１３を重ね、固定用の爪１５を固定用の爪受け２０に係合させてトレイ１０に蓋１３を閉じる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスクの搬送、保管に使用するフォトマスクケースであって、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機硫黄系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機リン系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる揮発性有機物質の総量が１００ｎｇ以下になっていることを特徴とするフォトマスクケース。 （もっと読む）

【課題】 大型化、重量化する大型フォトマスクを高清浄度で把持し、保管時および運搬時に、マスクが損傷したり、汚染したりすることを防止し、マスクの出し入れが容易なマスク用ケース、及びケース交換装置を提供する。
【解決手段】 大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レチクル搬送容器の方向を間違えてもレチクルストッカーに装着できるようにする。
【解決手段】 一端に開口を有しレチクル１２を収納する内部を有し、開口を覆って塞ぐ扉１４と、扉１４でポッド１３を塞いだときに内部を気密にシールするシール材１５とを備えたレチクル搬送容器１１である。扉１４の外側表面に形成されて、装置側に位置決めして取り付けるためのキネマティックピングルーブを、１８０°方向を変えて二組設けた。ポッド１３の外側表面のうち、キネマティックピングルーブに対応した位置には、キネマティックピングルーブを受けて保持するための受け部２２を、二組のキネマティックピングルーブをいずれの方向からでも嵌合できるように配設した。 （もっと読む）

【課題】 方向を間違えて装着されたレチクル搬送容器１１を自動的に修正する。
【解決手段】 レチクル搬送容器１１と、レチクル搬送容器１１を搬送する搬送手段（４、５）と、回路パターンを焼き付ける露光機と、複数のレチクル１２を保管するレチクルストッカー２とを有するレチクル処理システムである。レチクルストッカー２から露光機１の焼き付け位置までの経路に、レチクル搬送容器１１の向きを検出してレチクル搬送容器１１を適切な向きに変更する向き変更手段８１を備えた。向き変更手段８１は、レチクル搬送容器１１を回転させる回転駆動部８２と、レチクルストッカー２から露光機１の焼き付け位置までの経路のいずれかに設けられレチクル搬送容器１１の方向を検出する方向検出手段８３と、方向検出手段８３で検出した方向が１８０°ずれている場合に回転駆動部８２を制御して正規の方向に修正する制御部８４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 レチクル１２を、安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】 レクチル１２を収納するポッド１３と、このポッド１３を塞いで気密にシールする扉１４およびシール１５とを備えたレチクル搬送容器１１である。ポッド１３及び扉１４の各内側面に一対のレチクルリテーナー２５，４５を有し、各レチクルリテーナー２５，４５が、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂに当接して弾性的に支持する傾斜面部２８を備えた。傾斜面部２８の内側には、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂが当接したときに上記傾斜面部２８の撓みを許容して弾性的に支持する緩衝機能を持たせる凹部３１，５２を備えた。 （もっと読む）

本発明の態様は、システム処理能力を高めるために１以上のバッチ基板処理チャンバ及び/又は単一基板処理チャンバ内で基板を処理するように適合されたマルチチャンバ処理システム（例えば、クラスタツール）を用いて基板を処理するための方法及び装置を含んでいる。一実施態様においては、システムは、処理能力を最適化するとともに処理欠陥を最少にするために、バッチ処理チャンバのみ、又はバッチ基板処理チャンバと単一基板処理チャンバを含む基板処理シーケンスを行うように構成されている。一実施態様においては、バッチ処理チャンバは、基板処理シーケンスにおいて他のプロセスレシピステップと比べて不釣合いに長いプロセスレシピステップを行うことによりシステム処理能力を高めるために用いられる。本発明の態様は、また、繰り返し可能なＡＬＤ堆積プロセス又はＣＶＤ堆積プロセスを行うことができるように処理チャンバに前駆物質を分配するための装置及び方法を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材を使用すべきマスクに応じて変更可能にする。
【解決手段】露光装置ＥＸは、マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材１とともにマスクＭを移動させるマスクステージＭＳＴと、前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、複数の空間定義部材１のうち露光処理に使用すべきマスクＭに適合した空間定義部材を当該マスクＭに組み合わせるための操作機構ＭＬとを備える。 （もっと読む）

【課題】第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスをより迅速且つ確実にできるようにすることにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵に使用される貯蔵キャビネット装置に関し、貯蔵キャビネット本体２２と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該ウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵する第１のモジュール２３と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該第１のモジュール２３を制御して該ウェーハわく貯蔵ボックス２１の使用情報を表示する制御キャビネット２４と、を備える貯蔵キャビネット装置２０である。 （もっと読む）