【課題】電子部品の破損や生産効率の低下を招くことのないパレット自動交換装置を提供する。
【解決手段】基部５１に対して回転変位可能な回転部を有し、回転部にウェハシートが装着されたパレットと、回転部と基部５１とを係合部材６２によって係合させることで回転部を回転不可能に基部５１に固定する手段と、回転部に設けられた従動ギヤ８０に駆動ギヤ８１を係合させることで回転部に回転駆動力を付与する手段と、を備え、駆動ギヤ８１が従動ギヤ８０に係合したときに回転部と基部５１との係合が解かれ、駆動ギヤ８１の回転駆動力が回転部に伝達される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハをキャリアと共に洗浄する際に、半導体ウエハを破損させることなく、半導体ウエハがキャリアから離脱すること防止する。
【解決手段】 半導体ウエハを洗浄する洗浄装置であって、半導体ウエハを収容するキャリアと、キャリアを収容する洗浄槽と、洗浄槽内でキャリアを支持し、キャリアと共に回転する回転部材を備えている。キャリアには、半導体ウエハを出し入れするための開口部が形成されている。回転部材には、回転部材に支持されたキャリアの開口部に配置される保持部材が形成されている。保持部材は、キャリアの開口部において、キャリアに収容された半導体ウエハの外周縁に対向する。その保持部材では、半導体ウエハの外周縁に当接し得る当接面が、半導体ウエハの外周縁に沿って湾曲していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハが撓むことなく支持できるとともに、当該半導体ウエハを外部から遮蔽した状態で収納することのできる半導体ウエハ収納キャリアを提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する支持体１２と、この支持体１２を介して半導体ウエハＷを収納するキャリア本体１１とにより半導体ウエハ収納キャリア１０が構成されている。キャリア本体１１は、開口部１８が形成されているとともに、側壁１４の内面に左右一対の受け部２０が形成されている。支持体１２は、半導体ウエハＷを支持する支持部２５と、この支持部２５の一端側に連なる遮蔽部２６とを備え、支持部２５が受け部２０上を摺動することでキャリア本体１１に対して出し入れされる。 （もっと読む）

【課題】導光板の保管・輸送時における導光板の端面の傷付きを防止し、導光板の変形を防止することができる導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の導光板２６を輸送、保管する導光板保管用架台１０であって、底部材２０と、底部材２０にほぼ垂直に立設固定された背面部材２２と、背面部材２２に相対向して設けられ、底部材２０に着脱可能な正面部材２４と、正面部材２４と背面部材２２とに取り付け可能な囲い部材２８とを有し、底部材２０と導光板２６との間にクッション材３０が敷かれており、底部材２０が水平方向に対して２０°以下の角度で、傾きを有することを特徴とする導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいて基板のポッドからの飛び出しを精度よく検出可能な構成を提供する。
【解決手段】FIMSシステムにおける基板飛び出し検出用センサとして光反射型センサを用いる。当該センサにおいて、センサ光の集光時の焦点よりずれてセンサ光の照射領域がセンサ光伝達用の光ファイバの口径まで広がった状態でセンサ光を当該光ファイバに導入させ、検出領域に当該センサ光を射出させる際に、基板から反射された検出光の到達範囲を拡大させる。 （もっと読む）

【課題】平積みされ湾曲した板状体の輸送時の振動に起因する板状体の擦り疵の発生を防止することができる梱包容器、及び積込装置、並びに輸送方法を提供する。
【解決手段】梱包容器１０は、シート材１４に複数枚のガラス基板Ｇを平積みし、シート材１４をガラス基板Ｇとともに湾曲させた状態で容器本体１２に宙吊り状態に取り付けて梱包する。梱包容器１０を輸送車両の荷台に搭載し、ガラス基板製造工場から液晶ディスプレイ製造工場まで輸送する。その際、梱包容器１０は、シート材１４及びガラス基板Ｇの湾曲方向が輸送車両の進行方向に対して直交する方向に向くように搭載しガラス基板Ｇの輸送時において、車両からの振動は、宙吊りされたシート材１４によって吸収されるため、ガラス基板Ｇに伝達し難い。 （もっと読む）

【課題】枠部材５が矩形基板Ｗに干渉することなく、収納箱３から矩形基板Ｗを取り出した後直ちに矩形基板Ｗを所定位置まで搬送すること。
【解決手段】枠部材５の一縁に、収納箱３から矩形基板Ｗを取り出す際に矩形基板Ｗの一部が入り込む開放部７が形成され、パッド取付プレート９に、矩形基板Ｗの裏面を吸着可能な複数の吸着パッド１１が収容空間Ｓに位置するように設けられていること。 （もっと読む）

【課題】半導体処理工程における移載容器中の部品支持構造の改良。
【解決手段】
移載容器は、基台５０及び蓋６０からなり、
該基台上の２つの抵触台５２と抵触部品５８で”コ“の字状にレチクル７０の支持部を構成する。抵触台の内側両端に相対してそれぞれ硬質の支持部品５５を設け、各支持部品はそれぞれ高低差のある高い第一突出片及低い第二突出片を具え、これらの頂上をアーチ状として支持接触面を点接触とし、同一抵触台上の二つの支持部品は、低い第二突出片を相対的に内側に配置して、レチクルが変位して第一突出片から滑り落ちても、第二突出片が受ける。 （もっと読む）

【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置や基板処理装置の設計の精度に関わらず、薄膜を均一に成膜することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理面が露出するように基板Ｐを基板保持部５に保持して基板Ｐを基板処理装置５２まで搬送する基板搬送装置１において、基板保持部５を前記被処理面の略法線方向に進退可能であると共に、基板Ｐを基板処理装置５２に対して位置決め可能な基板進退機構２０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易に半導体パッケージを積層した半導体装置を製造することができる技術を提供する。
【解決手段】第１の半導体パッケージを、粘着性を有するパレットに粘着保持させ、パレットに粘着保持された第１の半導体パッケージ上に第２の半導体パッケージを装着、パレットは、第１の半導体パッケージを支持する載置台と、載置台上に設けられ第１の半導体パッケージを粘着保持する粘着部材とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップがトレイに張り付くのを防止する。
【解決手段】半導体チップ２を収容するための断面凹状の複数の収容部１ｃ，１ｅが主面および裏面に形成されたトレイ１を複数段積み重ねた時に、下段のトレイ１の主面の収容部１ｃと、上段のトレイ１の裏面の収容部１ｅとが重なったところに形成される空間に半導体チップ２を収容した状態で搬送する搬送方法において、上段のトレイ１の裏面の収容部１ｅの底面に、半導体チップ２に接しないような高さの孤立状の突起１ｆを分散させて配置した。これにより、半導体チップ２が上段のトレイ１の裏面に張り付いてしまう現象を防止できる。 （もっと読む）

【課題】
トレーの収納用ポケットに収納しようとする半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じている場合や、既に収納用ポケットに収納している半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じた場合でも、この回転ずれを許容範囲内に補正できる半導体集積回路用トレーを提供できるようにした。
【解決手段】
トレー１における仕切り枠２の各ポケット３内に面した少なくとも一つの枠面に、同仕切り枠２に設けている呼込みガイド７の支持段部４上面に対する傾斜角度よりも小なる傾斜角度を備える補正ガイド８を、仕切り枠２の中央部乃至中央部近傍に、かつ仕切り枠２の基部から上方に向けて形成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を立てて収納できる基板積載用カセットを提供する。
【解決手段】下面に設置される支持部材と、上面に設置されるガイド部材と、後面に設置される固定部材とを備えて、ガラス基板を立てて収納する構成とした。これによれば、ガラス基板の変形を防止でき、且つ、ガラス基板にホコリが積もるのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】薄板状素子をモジュールとする加工段階から薄板状素子の破損を防止することのできるトレーおよびその製造方法を提供するを提供する。
【解決手段】トレー１は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４を嵌合することのできる収納凹部３を設ける。トレーの製造方法は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４が嵌合される収納凹部３の形成予定領域を囲うようにハーフカットを施す工程と、ハーフカットにより囲まれた部位を圧縮することにより、薄板状素子４が嵌合される収納凹部３を形成する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】搬送時の半導体チップの損傷を防止し、チップサイズの異なる半導体チップにも対応できる半導体チップトレイを提供する。
【解決手段】トレイ本体４ａとチップを固定する粘着性シート５を有したトレイで、トレイ本体４ａは、粘着性シート５を交換可能に保持するものであり、更にトレイ本体４ａは突起部４ｂを有しており、粘着性シート５を保持するとともに、トレイ本体４ａの積み重ねを容易にする。トレイ本体４ａは突起部４ｂより内側の平面部に紫外線照射用または、チップピックアップ時の突き上げ治具挿入用の穴があいた構造であり、粘着シート５の粘着力は紫外線照射または加熱により変更することが可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハが搬送中等に破損することがなく、しかも必要に応じてクッションシートをトレイに対し簡便に脱着して容易に洗浄したり交換したりすることができるクッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置トレイ１上面の半導体ウエハＷ載置位置には弾力性のあるウエハ載置クッションシート５が配置され、そのウエハ載置クッションシート５にはウエハ載置トレイ１に対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面（５Ｂ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】積層体を開包して基板を分離する際に基板を傷、破損から守るような開包システムおよび開包方法を提供する。
【解決手段】開包システム１は、パレット１０上に積層体７を有し、積層体７の上方には、積層体７から基板３を分離する基板移載装置９、積層体７から合紙５を分離する合紙剥離装置１１が設けられている。
基板移載装置９、合紙剥離装置１１には、各装置の直下の反射率を測定するセンサ１２ａ、１２ｂ、１４が設けられている。
積層体７から基板３と合紙５を分離する際は、基板移載装置９と合紙剥離装置１１を交互に積層体７上に移動させ、基板３および合紙５を分離する。
この際、センサ１２ａ、１２ｂ、１４は測定した反射率からパレット１０上に積層体があるか否かを判断し、ない場合は作業を中止する。 （もっと読む）