【課題】分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられたウエーハを、分割予定ラインに沿って正確且つ確実に分割する。
【解決手段】複数の分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割装置であって、ウエーハの一方の面に貼着した保持テープを保持するテープ保持手段４４と、テープ保持手段４４に保持テープを介して保持されたウエーハを分割予定ラインの両側において保持テープを介して保持するための所定方向に延在する保持面を備えた保持部を有する第１の保持部材５aおよび第２の保持部材５bと、第１の保持部材５aと第２の保持部材５bを離反する方向に移動せしめる保持部材移動手段５３とからなるウエーハ破断手段とを具備し、第１の保持部材５aの保持部５１１および第２の保持部材５bの保持部５１２は静電チャックによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】
コストを抑えつつも、プロセス室内の環境を損なわない位置決め装置を提供する。
【解決手段】
差動排気シールの差圧室より大気側に配置されたＯ−リングＯＲを有するので、低コストでありながら、外部からの大気の流入を抑制することができるため、排気ポンプＰ１の性能を高める必要がなくコスト低減を図ることができる。又、排気ポンプＰ１が異常停止したときなど、外部からの大気の流入を抑制することができるので、プロセス室Ｐの気圧が上昇する前に、処理中のワークの保全などの必要な措置を講ずることができる。 （もっと読む）

【課題】センター位置に復帰可能でセンター位置から離間する方向へのスライド時の抵抗が少なく耐久性の良好でコンパクトなスライドユニットを提供する。
【解決手段】互いに直交する２軸方向に各独立に作用する付勢力によって載置台１をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットＳであって、載置台１に固定された第１のスライダー２をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の圧縮スプリング３と、第１のスライダー２をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー４をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の圧縮スプリング５と、を設けている。 （もっと読む）

【課題】 荷重を分散して支持し、ＸＹθ方向にテーブルを円滑に移動でき、さらにテーブルを長ストローク移動できる機構にする。
【解決手段】 並進自由度を持つ２つの並進自由度部と、回転自由度を持つ１つの回転自由度部と電動機１より成る駆動機構と、検出手段２と制御器３から成る電動機制御装置と、から構成される１軸駆動並進回転機構を少なくも３組備え、１軸駆動並進回転機構は、機台部側の並進自由度部に電動機を備えた第１の１軸駆動並進回転機構部６ａ,６ｂと、テーブル側の並進自由度部に電動機を備えた第２の１軸駆動並進回転機構部１６ａ,１６ｂとし、テーブルを１方向の長ストローク移動を含む並進移動もしくは旋回移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハへの汚染が少なく加熱容器のシール性を向上する。
【解決手段】 円筒状の側壁１１０、上壁１２０、底壁１３０からなる気密構造の加熱容器１００と、加熱容器１００内に収納されるウェハＷを保持するサセプタ５００と、加熱容器１００の上壁１２０を透過して加熱容器１００内に収容されるウェハＷを加熱するランプユニット２００とを備える。また、加熱容器１００の外周に設けられ、加熱容器１００の鉛直軸を中心に回転する円筒状の外部ロータ３００と、加熱容器１００の内周に設けられ、サセプタ５００を外部ロータ３００と同心に回転させる円筒状の内部ロータ４００と、外部ロータ３００と内部ロータ４００とを加熱容器１００の側壁１１０を介して磁気的に結合して、外部ロータ３００の回転運動を内部ロータ４００に伝達してサセプタ５００を回転させる磁気結合手段６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 真空成膜装置に使用され、 搬送ローラの位置の移動にステンレス・ベローズを使用しない基板の搬送機構、基板の幅の変更に対処しうる搬送機構を提供すること。
【解決手段】 真空成膜装置の移載室２において、ガラス基板ＧをキャリアＣから取出トレイＴｏへ移し換えるに際してキャリアＣを上昇、下降させるが、その時にキャリアＣを支持して搬送する搬送ローラ２３が支障とならないように、移載室２の側壁２ｓを挿通される搬送ローラ２３の回転軸３１を大気側回転軸３１ａと真空側回転軸３１ｂがそれぞれに設けたマグネットにより、大気側回転軸３１ａに属している真空隔壁３８を介して、マグネットカップリングされたものとし、真空側回転軸３１ｂに取り付けられてキャリアＣの搬送位置にある搬送ローラ２３を、カップリングを解除し真空側回転軸３１ｂを大気側へ移動させることによって退避位置とする。 （もっと読む）

ステージ（ＷＳＴ）は、第１定盤（４４）のガイド面（４４ａ）に案内され、可動子ユニットと一体で、Ｘ軸方向駆動、及びＹ軸方向及びＺ軸回りの回転方向に微小駆動される。また、ステージは、固定子ユニットと一体的に、Ｙ軸方向に駆動される。この場合において、固定子ユニットを、ステージのガイド面が形成された第１定盤とは振動的に分離された第２定盤（４６Ａ，４６Ｂ）に形成された支持面によりＺ軸方向に関して支持する。これにより、ステージのＹ軸方向駆動に起因して、Ｙ軸固定子に振動が発生した場合であっても、振動は、Ｙ軸固定子を支持する第２定盤に伝達するのみで、第１定盤に伝達されることはない。従って、振動が第１定盤を介してステージに伝達するのを回避することができるので、ステージの位置制御精度を高く維持することができる。
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【課題】
コンパクトであり、分解が容易でありながら、適切なシールを有する回転保持装置を提供する。
【解決手段】
軸受１０７，１１１の半径方向内方に、冷却水用シール１１０，真空シール１０９を配置しているため、それらを点検・交換することが容易であり、且つ回転保持装置１００の軸線方向長を小さく抑えることができる。このような構成を有するため、回転保持装置１００はＸＹテーブルのスライダ上に載置して用いることができ、回転保持装置１００自体をスライダとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】地表あるいは周辺からの振動及び外乱が粗動ステージや精密ステージに伝わることを防止し、ワークピースを精密に位置決めする。
【解決手段】ステージ装置２２０は、第１軸周りに及び第１軸に沿ってワークピース２００を移動させるもので、第１ステージ２３８と、ワークピースを保持する第２ステージ２４０と、第２移動装置２４４と、測定システムと、初期化システムとを備える。前記第２移動装置は、前記第１ステージと相対的に前記第２ステージを前記第１軸周りに移動させる。前記第２移動装置は、駆動機２５５と、前記第１ステージから前記第２ステージへの振動の伝達を低減する減衰器とを有する。ステージ装置は、前記第２ステージを位置決めしかつ前記第１ステージの振動を補償する出力を、前記駆動機に与える制御システムを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送部の被案内面に外周面を接触させて回転する搬送ローラを備えた真空搬送装置の発塵を低減し、耐久性を向上する。
【解決手段】この真空搬送装置は、基板がセットされる台車１と、台車１の下に取り付けられた搬送レール２と、搬送レール２の被案内面を外周面で案内する搬送ローラ３と、を備えている。搬送ローラ３の少なくとも外周面（搬送部２の被案内面２２ａを案内する案内面）を含む部分をセラミックス製にする。 （もっと読む）

【課題】 環境条件によらず、ガントリーの安定した移動を行うことができるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置は、所定間隔をおいてベース上に設置された一対のガイドと、ガイドに移動可能に支持されるガントリー３と、ガントリー３をガイドに沿って駆動するＹ軸リニアモータと、ガントリー３の両端部に装着された軸受ユニット４ａとを備え、軸受ユニット４ａは、ガントリー３の周囲に配置されるキャリッジ４１と、キャリッジ４１に固定されかつガントリー３の移動方向と直交する方向のガントリー３の変位を許容するすべり軸受４２を有する。 （もっと読む）

【課題】各チップの剥離を補助し得るようとりわけ大面積のかつ薄い半導体チップの剥離を補助し得るような駆動機構を提供すること。
【解決手段】接着テープ（６２）からチップ（６４）を取り外すための取外しツール（２２）を駆動するための駆動機構であって、チップの表面に垂直な第１軸線に沿って取外しツールを駆動する第１アクチュエータ（２８）と；第１軸線に垂直な第２軸線に沿って取外しツールをチップの幅方向に駆動させる第２アクチュエータ（３０）と；を具備し、第１アクチュエータが、取外しツールを第１軸線に沿ってプログラムされた態様で駆動させ、なおかつ、第２アクチュエータが、取外しツールを、チップの幅にわたって駆動させ、これにより、チップと接着テープとの間の剥離を伝搬させ得るものとされている。 （もっと読む）

【課題】被案内面を有する搬送部と、案内面を有する搬送ローラと、搬送ローラを回転自在に支持する転がり軸受とを備えた真空搬送装置の発塵を低減し、耐久性を向上する。
【解決手段】この真空搬送装置は、搬送部５０と、搬送ローラ６０と、第１の転がり軸受７０と、一対の第２の転がり軸受８０とを備えている。搬送ローラ６０の表面（搬送部５０を案内する面６０Ａ）に、塩浴処理法によりバナジウムカーバイド膜を形成する。転がり軸受８０の外輪の外周面８０Ａ（搬送部５０を案内する面）に、塩浴処理法によりバナジウムカーバイド膜を形成する。第１の転がり軸受７０と第２の転がり軸受８０の軌道面に、フッ素油からなる潤滑膜を設ける。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化しても制御性の劣化を防止し、基板を所望状態で移動することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置ＰＳＴは、基板Ｐを保持する基板ホルダＰＨをＸＹ方向に移動させる第１ステージ１００と、第１ステージ１００とは別に設けられ、第１ステージ１００の移動に伴ってＸＹ方向に移動するとともに、基板ホルダＰＨのＺ方向に作用する力を支持する第２ステージ２００と、第１ステージ１００と基板ホルダＰＨとを、Ｚ方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ガントリー部の移動に伴う揺れが少ないガントリー型ＸＹステージを提供する。
【解決手段】 架台４上に９個の除振マウント５を設け、その上に石定盤６を設ける。そして、石定盤６上に１対のガイドベース７を設け、その上に、石定盤６に対してＹ方向に移動可能にＣＦＲＰからなる１対の支柱１２を設ける。また、１対の支柱１２間には、ＣＦＲＰからなるビーム１４を張架する。更に、ビーム１４に対してＸ方向に移動可能に移動ベース１８を設け、移動ベース１８にレーザ光学ユニット２０を搭載する。 （もっと読む）

【課題】大面積基板に対応する大きさを有すると共に、陸送可能な定盤片に分割できる定盤を有することにより、容易に陸送でき、輸送コストを安価に抑えることができるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】所定の長さ、幅及び厚さを有し、平坦な上面を有する定盤１００と、前記定盤１００の上面上でアクチュエータ２００によって移動可能に構成される可動ステージ２０とを備えるＸＹステージ装置において、前記定盤１００は、幅方向に対して分割された定盤片１０１ａの接合体であると共に、前記アクチュエータ２００は、前記可動ステージ２０の移動時に前記定盤片１０１ａ同士の接合部を跨がないように配設される。 （もっと読む）

基板を持上げ支持するための、この発明に従ったピンアセンブリを提供する。当該ピンアセンブリは、垂直なピン移動の摩擦を減らすローラを備えたリフトピンのためのローラグライドと、弾性的に浮遊し１回のコーティングサイクルの後に台板を中心に置き直すためのボール軸受台板と、ピンと基板との間の摩擦を減らし、基板がピンに加える可能性のある横方向の力を最小限にするボール軸受ピン頭部とを含む。
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イオンビーム注入装置は、ビームラインに沿って移動するイオンビームを発生させるためのイオンビーム源と、イオンビームと交差するように加工物が配置されて、イオンビームによって加工物の表面にイオンを注入するための真空室、即ち、注入チャンバーとを含む。さらに、イオンビーム注入装置は、注入チャンバーに連結され、加工物24を支持する加工物支持構造体100を含む。加工物支持構造体は、加工物24を支持するための回転可能な受け台204を含む静電チャック202を有する。さらに、加工物支持構造体は、受け台に連結されて回転可能な第１リール262と、第１リールに連結された冷却ラインおよび電気導体等の設備を担持する屈曲性の中空コードとを含む。その結果、受け台が第１方向に回転すると、第１リールの回りに巻き取られる屈曲可能なコードの長さが増加し、また、受け台が第１方向と反対の方向に回転するとき、第１リールの巻き取られる屈曲可能なコードの長さが減少する。
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