【課題】 複数枚の基板を一括して処理する第１処理部と、基板を１枚ずつ処理する第２処理部とを備えて、基板をいずれの処理部でも処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 複数枚の基板Ｗを収納するフープＦを収容する収容部１と、複数枚の基板Ｗを一括して処理する第１処理部３と、基板Ｗを１枚ずつ処理する第２処理部５とで構成される。これにより、複数枚の基板Ｗを一括して処理する方式、または、基板Ｗを１枚ずつ処理する方式のいずれによっても、基板Ｗに処理を行うことができる。また、第１処理部３と第２処理部５との間の基板の搬送は一旦収容部１を経由して行われるので、第１処理部３、および第２処理部５の制御は相互に独立に行うことができる。また、この場合であっても、収容部１の制御によって両者の連携をとることができる。 （もっと読む）

【課題】ストッカー幅を大きくしなくても狭小な空間でのアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにした移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構を提供する。
【解決手段】所要長のアーム片５１、５２、５３を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアーム５において、カセットの旋回機構６をテレスコピックアーム５の最上段のアーム片５１に配設して構成する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造の移動機構を備えた産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 回転可能なロボットアーム３と、ロボットアーム３の先端に設けられ、ワークを保持可能なハンド部４と、ハンド部４とロボットアーム３とを駆動する駆動部９と、駆動部９を取り付ける取り付け部２Ａを備えた支持ベース２と、支持ベース２を移動させるパラレルリンク機構５とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ウェハのエッジを把持しセンタリングとノッチ等の角度合わせを行うアライナー装置において、ウェハ外径のばらつきがあっても確実にウェハを把持し、パーティクルを発生させることなくアライメントができるようにする。
【解決手段】ウェハを把持する把持機構の開閉動作は、直動機構を介してクランプ駆動用モータ１７によって駆動させ、クランプアーム１０にはばね１２によって常に把持の閉方向に助勢させておく。また、ウェハ把持時には直動機構と把持機構とに空隙を形成させ、クランプ駆動用モータ１７の力がクランプアーム１０に伝わらないよう構成し、ばね１２の力のみでウェハを把持するようにする。 （もっと読む）

【課題】接着剤を付着させることを防止して切断をスムース、且つ、精度良く行うことができる切断装置及び切断方法を提供する。
【解決手段】接着シートを半導体ウエハ毎に幅方向及び周方向に切断する切断装置であって、この切断装置は、先端にカッターが取り付けられたカッターユニットを含む。カッターユニットは、円弧状穴に沿って略鉛直面内で回転可能となる状態でブラケットに取り付けられており、前記カッター刃を傾斜姿勢にした状態で半導体ウエハの外周に沿って接着シートを切断するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄エリアにおける洗浄液、洗浄ガスが非洗浄エリアへ漏れ出すことを確実に防止可能としたワーク搬送装置を提供すること。
【解決手段】ワークの洗浄に際してワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、隔壁３と蓋によって外部から隔離された処理槽内に配設される、それぞれにローラーを備えたローラー搬送軸５と、該ローラー搬送軸５の先端部に装着された被動側マグネット１１と、前記処理槽の外側において、前記隔壁３に形成した貫通孔１４を閉鎖した薄膜１３を介して、前記被動側マグネット１１に対向する配置で配設された駆動側マグネット１５と、該駆動側マグネット１５に連結した駆動軸２０と、ウォームギヤ２１を介して駆動軸２０に連結された伝達軸と、伝達軸が連結されたモーターと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】
発塵を効果的に抑えることができる回転保持装置を提供する。
【解決手段】
小ギヤ２０３ａ側で発生した塵等の異物が、開口２２０ｅと台座２０２との間に向かうためには、リングギヤ２１５の半径方向内方に向かって移動しなければならず、このときリングギヤ２１５の表面に付着した塵等は遠心力で半径方向外方へと力を受け、半径方向内方に移動することが抑制される。従って、本実施の形態によれば、効果的に発塵を抑制でき例えば真空雰囲気で用いても、その環境を損なわない回転保持装置２００を提供できることとなる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトであり、分解が容易でありながら、適切なシールを有する回転保持装置を提供する。
【解決手段】
軸受１０７，１１１の半径方向内方に、冷却水用シール１１０，真空シール１０９を配置しているため、それらを点検・交換することが容易であり、且つ回転保持装置１００の軸線方向長を小さく抑えることができる。このような構成を有するため、回転保持装置１００はＸＹテーブルのスライダ上に載置して用いることができ、回転保持装置１００自体をスライダとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて装置の小形化を図ることができるとともに、製造コストの低減を図ることのできる真空処理装置用開閉機構及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】エアシリンダ４８によって、第１のラック４４を上昇させると、第１のガイド部材５２が上昇するとともに、ピニオン４２が回転しながら第１のラック４４の１／２の速度で上昇する。弁体支持部材３３が、ガイド機構３９によって制限された最上部まで上昇すると、第１のガイド溝５３によって回転軸４０が水平方向に移動し、弁体支持部材３３がガイド用突起３６を軸として回転し、第１の弁体３１が水平方向に移動して開口部を閉塞する。 （もっと読む）

システム規模を小さくすることのできる基板搬送システムを提供することを目的とする。移載装置９０３は、メイン搬送路９０１と、サブ搬送路９０２ａまたはサブ搬送路９０２ｂとの間で基板やレチクルを移載すると共に、基板またはレチクルまたは基板収容カセットをストックするための装置である。このように基板Ｓを１枚ずつ保管することにより、もしくは、基板収容カセットを一つずつ保管することにより、サブ搬送路とメイン搬送路で搬送される基板やレチクルまたは基板収容カセットの数を調整することが可能となり、処理負荷が大きくなった場合のバッファとして機能する。
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【課題】この発明は、ゲートで仕切られたチャンバ間で搬送対象物を停止することなくスムーズに搬送できる搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】搬送装置３０は、開閉可能なゲートＧを介して隣接した２つのチャンバ３３、３４間で搬送対象物を受け渡し搬送する搬送機構４０を有する。搬送機構４０は、チャンバ３３、３４毎に設けられ、搬送対象物に固設されたラック３８に歯合するピニオン４１をそれぞれ有する。上流側のピニオン４１が回転して搬送対象物が搬送され、下流側のピニオン４１にラック３８の先端が歯合するとき、下流側のピニオン４１がレール４３に沿って傾斜した方向に退避可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 原反を構成する接着シートと剥離シートの予備剥離と再仮着を行い、これらの仮着強度を均一化し、接着シートを板状部材に貼付したときに、皺の発生や気泡の混入等を回避する貼付装置及び貼付方法を提供すること。
【解決手段】 貼付テーブル１１と、当該貼付テーブル１１に支持された半導体ウエハＷに接着シートＳを貼付する貼付ユニット１２とにより貼付装置１０が構成されている。貼付ユニット１２は、剥離シートＰＳの一方の面に接着シートＳが仮着された原反Ｌを繰り出す途中でこれらを剥離する予備剥離装置４０と、予備剥離された接着シートＳと剥離シートＰＳとを再仮着させる再仮着装置４１と、半導体ウエハＷに対して接着シートＳを押圧して貼付するプレスロール４５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 長寿命化とともに、低コスト化を図った基板回転機構およびその基板回転機構を備えた成膜装置を提供する。
【解決手段】 自公転機構Ａは、基板Ｗを載置する基板保持部９を有し、基板Ｗを回転自在に保持する第１の処理基板保持部材１と、複数の第１の処理基板保持部材１を、回転自在に保持する第２の処理基板保持部材２と、第２の処理基板保持部材２を保持するベースプレート７とを備え、第１の処理基板保持部材１と第２の処理基板保持部材２との間、および、第２の処理基板保持部材２とベースプレート７との間に、第１の処理基板保持部材１または第２の処理基板保持部材２を回転させるための複数の球６を内部に保持した回転部材１６Ａ・１６Ｂを備え、第１の処理基板保持部材１および第２の処理基板保持部材２に、回転部材１６Ａ・１６Ｂを収容する保持溝１７ａ・１７ｂが形成されている （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、より正確な直線移動行程を実現できる直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット、さらにはハンドを２つ備えることによってワークの搬送効率を高めた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部２Ａ，２Ｂ材と、これら移動部材２Ａ，２Ｂを駆動する駆動機構３Ａ，３Ｂと、を備えた直線移動機構Ｂ１であって、駆動機構３Ａは、移動行程ＧＬを挟んで配置され、かつ同期駆動される一対の往復動機構を含んでおり、移動部材２Ａは、移動行程を挟んで離間する一対の連結部材２４ａにおいて、上記一対の往復動機構に連結されている。 （もっと読む）

【課題】オリエンテーション用のノッチなどの研磨加工中に発生するスラリの影響を最少にしたウェハ用のチャックを提供する。
【解決手段】ウェハＷの外周を保持するクッション材より成る保持部材１０、２０と、保持部材１０、２０を一斉に閉じ方向に駆動するエヤシリンダよりなる駆動機構３０とを一体に組み合わせる。ウェハの外周をＶ溝１４ａのある保持部材で保持することにより研磨加工中のスラリの影響を最少に抑える。 （もっと読む）

【課題】ロック解除装置のベース板よりカセットを無理なく容易に持ち上げることができ、作業性に優れる。
【解決手段】カセット搬送ボックスのロック手段付底板に設けられた２個のラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピン２１Ａ、２１Ｂを有して回転自在に設けられた開放治具２０と、ロック手段付底板に設けられた３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを有して回転自在に設けられた旋回テーブル８とを有し、開放治具２０と旋回テーブル８とは、開放治具２０に固定されたセンターギア５と、センターギア５と同心に配置され旋回テーブル８に固定された内歯を有する原動ギア９と、原動ギア９とセンターギア５とを同方向に回転させる中間ギア１０、１１とから連結され、原動ギア９の歯数は、センターギア５の歯数より多く設けられている。 （もっと読む）

【課題】 装置コストの高騰を抑えた上で、基板の冷却処理の効率化を達成することができるようにする。
【解決手段】 焼成処理が施された直後の基板Ｂに対して冷却処理を施すものであり、基板Ｂを連続的に搬送する基板搬送路１４の途中で基板Ｂの片面と対向配置された冷却プレート３０と、この冷却プレート３０と基板Ｂとの間が離間した下方位置Ｌ１と冷却プレート３０と基板Ｂとが当接した上方位置Ｌ２との間で位置変化させる離接機構部としての昇降機構６０とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】
処理済の基板が外気に曝されることなく、次工程の基板処理装置に搬送可能とし、処理表面への酸化膜の生成、或はパーティクルの付着を防止する基板処理装置を提供する。
【解決手段】
基板処理装置１９が、基板３９を基板保持具３５に保持して処理する処理室と、該処理室の下方に連設された待機室２４と、前記処理室と前記待機室との間で前記基板保持具を昇降する昇降手段３４と、前記基板を収納する基板収納容器２１と、前記待機室内に配置され、前記基板収納容器と前記基板保持具との間で前記基板を搬送する基板移載機３７とを備え、前記基板処理装置が複数台並設され、一方の基板処理装置の待機室と他方の基板処理装置の待機室とはゲート弁１２５を介して連通され、一方の基板処理装置の基板移載機は一方の基板処理装置の基板保持具から他方の基板処理装置の基板保持具に基板を移載可能である基板処理装置。
（もっと読む）

【課題】 装置全体としての大型化・重量化を避けつつハンド部の長い上下ストロークを確保し、尚かつハンド部の移動速度の高速化を図ることもできるようにしたロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】 ハンド部２を上下動可能に支持する第１のフレーム３と、該第１のフレーム３を上下動可能に支持する第２のフレーム４とを備え、第１のフレーム３内には、ハンド部２を上下動させる第１のボールねじ５と、第２のフレーム４に対し第１のフレーム３を上下動させる第２のボールねじ６とを上下方向にかつ並列させて配列し、さらに、第１のボールねじ５と一体となって回転する第１の歯車および第２のボールねじ６と一体となって回転する第２の歯車と直接または間接的に連結されているモータ９を収納する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープに剥離テープを貼り付けて剥離することで、粘着テープと一体にして保護テープを半導体ウエハから精度よく剥離することのできる保護テープ剥離方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 リングフレームｆの裏面からダイシングテープＤＴで保持されたウエハ表面の保護テープＰＴに剥離テープＴｓをエッジ部材３３を押圧して貼り付ける前に、剥離テープＴｓの貼付開始端の前方にあるダイシングテープＤＴの裏面にピストンノズル４８から純水を滴下する。 （もっと読む）