【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】 複数の基板を臨時に格納するバッファシステムで先入先出を行えるバッファシステムを提供する。
【解決手段】 シャフトと、該シャフトに挿入されて固定されるローラとから形成されて基板を臨時に格納または移送する一つ以上のバッファ層と、バッファ層を上下に移動させて移送しようとする基板のあるバッファ層を駆動部に連結させる上下移動部と、移送しようとする基板のあるバッファ層のシャフトを回転させて基板を移送させる駆動部と、を備える先入先出を行うバッファシステム。 （もっと読む）

【課題】保持部材によりウエハシートを引き伸ばし、ウエハを拡張する装置において、ウエハサイズが変更に応じてウエハのθ方向回転機構構成部材を変更する必要が無く、交換部品の少数化が可能なウエハ拡張装置を提供する。
【解決手段】ウエハシートを、環状部材に当接させた状態で反対の方向へ引っ張ることでウエハシートを引き伸ばしてウエハを拡張させるウエハ拡張装置において、ベース部材３２と、ベース部材に回転自在に設けられ、上記環状部材を着脱可能に支持する支持部材３３と、ウエハシートを保持する保持部材３４，３５と、保持部材を移動させる移動手段と、保持部材を回転させる回転手段とを備えるとともに、移動手段により保持部材を移動させて、ウエハシートを環状部材３０の当接部に当接させて引っ張り、ウエハを拡張させ、該ウエハを拡張させた状態で回転手段により保持部材を回転させて、環状部材と共にウエハシートを回転させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で処理室と準備室とを相互に隔絶することができ、その上、低コストな真空装置を提供する。
【解決手段】処理室２１と準備室との間で被処理体の搬送を可能とする搬送手段６に、処理室２１と準備室とを相互に仕切る仕切手段８を一体に設ける。そして、搬送手段６を処理室２１側に移動させると、仕切手段８によって処理室２１と準備室とが相互に隔絶されるようにする。搬送手段６は被処理体を保持するホルダ６１と、ホルダ６１を移動自在とする駆動手段からなる。ホルダ６１は被処理体の外形に略一致し、所定の高さを有する枠体６１ａから構成され、板状の支持板６２上面に取付けられている。支持板６２の一端は、ねじ山付きのスピンドル６３の一端に連結され、モータに接続されたウォーム６４ｂと外接するウォームホイール６４ｃの内歯と噛み合い、駆動手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】付着式ピンセットに対して好適な新規の移載システムを提供する。
【解決手段】
微細部品を付着するための粘着材、この粘着材を先端に導くための導出パイプ、この導出パイプ先端に粘着材を送り出す手段、導出パイプ先端より突出及び後退して、付着した微細部品を離脱するスライドパイプからなる付着式ピンセット１を搭載するキャリア５と、このキャリア５を水平方向に走行案内する走行レール２，３と、キャリア５を上下方向に昇降案内する昇降レール４と、キャリア５を走行及び昇降レール２，３，４に沿って駆動する手段２０，３０，４０と、スライドパイプを前進及び後退する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】板状部材に反り等が発生している場合であっても、この反り等を抑えつつ保持面に載置することができる保持装置、保持方法等を提案する。
【解決手段】板状部材Ｗの第一面Ｗｂと対向して該板状部材Ｗを保持する保持面２を有する保持部材１と、板状部材Ｗを支持して該板状部材Ｗを保持面２と交差する方向に移動させて保持面２上に戴置する可動部材７７と、可動部材７７に支持された板状部材Ｗと保持面２との間に気体Ａを供給する気体供給部１０とを備えた保持装置ＷＨであって、板状部材Ｗが保持面２上に保持される前に、気体供給部１０から供給される気体Ａを用いて可動部材７７に支持された板状部材Ｗを平坦化する。 （もっと読む）

【課題】 処理基板をキャリアに搭載した状態で、インラインで、キャリアごと搬送しながら、該処理基板の一面側に成膜を施す成膜装置で、搬送系において磨耗カスが発生しても、磨耗カスによる品質面での悪影響を少なくすることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 ローディングチャンバーおよびまたはアンローディングチャンバーに、ローディングのための、あるいはアンローディングのための排気機構、給気機構とは別に、排気あるいは給気の際に、粉塵が巻き上がるのを防止するために、ローディングチャンバーの下部およびまたはアンローディングチャンバーの下部に、排気口を配して、該排気口から、粉塵が巻き上がるのを抑えるように真空引きを行う真空引き部を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板を安定して拘束搬送することを可能とし、かつ、装置構成を簡単でコンパクトな基板搬送装置を提供する。
【解決手段】タイミングベルト等からなる駆動機構にスライダ基体１１を固定し、スライダ基体１１を直線走行させる。このスライダ基体１１の走行動作をカム機構で回転動作に変換し、スライダ基体１１に設けられたプーリ１４を介して第１のベルト（搬送ステージ用ベルト２０）に伝達する。搬送ステージ用ベルト２０には、スライダ基体１１の走行軌道と平行に走行可能な基板搬送ステージ３が固定されている。駆動機構の駆動に伴うスライダ基体１１の走行と搬送ステージ用ベルト２０の移動との合成により、スライダ基体１１のストロークより長いストロークで基板搬送ステージ３が往復することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の処理内容に応じて基板を良好に処理することができる基板処理装置および方法を提供する。
【解決手段】第１支持ピンＦ１〜Ｆ１２が基板裏面に当接して基板を支持しながら基板表面に供給される窒素ガスによって基板Ｗを保持する第１保持モードと、第２支持ピンＳ１〜Ｓ１２が、基板Ｗが水平方向に移動した際に基板Ｗの端面に当接して基板Ｗの水平方向の移動を規制しつつ、基板裏面に当接して基板を支持しながら基板表面に供給される窒素ガスによって基板を保持する第２保持モードと、第１および第２支持ピンＦ１〜Ｆ１２、Ｓ１〜Ｓ１２が基板裏面に当接して基板を支持しながら基板表面に供給される窒素ガスによって基板を保持する第３保持モードを有し、基板の処理内容に応じて保持モードを選択的に切り換える。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する駆動ローラが設けられる駆動軸の組付けを容易に行なえるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】チャンバ１２と、チャンバに基板の搬送方向及び搬送方向と交差する上下方向に沿って設けられ上記基板の傾斜方向の下側の面を支持する回転可能な複数の支持ローラ１４と、基板の搬送方向に沿って所定間隔で設けられ所定の角度で傾斜した基板の下端を支持する複数の駆動ローラ１７と、駆動ローラを回転駆動して支持ローラに支持された基板を所定方向に搬送する駆動機構１８を具備し、
駆動機構は、チャンバに取付けられるベース部材２１と、ベース部材に所定間隔で回転可能に支持されチャンバ内に突出した先端に駆動ローラが着脱可能に設けられる複数の駆動軸２７と、駆動軸のチャンバの外部に位置する後端に設けられ駆動源５４からの動力を駆動軸に伝達して駆動軸を回転させる第１の歯車２８とによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】死点通過を円滑に行いながら、第２アームの過拘束を防ぐ。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置１０は、第１アーム１１と第２アーム２１とが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アーム２１に対して回転力を付与する死点脱出機構１５を備えている。死点脱出機構１５は、第１アーム１１を回転させる回動軸１の周りに設置された固定ギヤ１６と、この固定ギヤ１６に係合する第１回転ギヤ１７と、この第１回転ギヤ１７の回転力をリンク１９を介して伝達される第２回転ギヤ１８と、第２アーム２１が死点位置を通過する時のみ第２回転ギヤ１８と係合し第２アーム２１に軸トルクを付与する係合ギヤ２０とを備えている。この構成により、死点通過を円滑に行いながら、第２アーム２１の過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】処理基板をキャリアに搭載した状態で、インラインで、キャリアごと搬送しながら、該処理基板の一面側に成膜を施す成膜装置で、搬送系において強磁性体材料からなる磨耗カスが発生しても、磨耗カスによる品質面での悪影響を無くすことができる成膜装置を提供する。
【解決手段】搬送系における磨耗カス発生箇所近辺に、該磨耗カス発生箇所において発生した強磁性体材料からなる磨耗カスを磁気により吸着して、磨耗カスの発生箇所からの分散を防止するための、第１の磨耗カス吸着部１０を備えているもので、該第１の磨耗カス吸着部１０は、磁性体材料からなる吸着用材１１に接してマグネット１２を配して、該吸着用材１１に磁気を帯びさせたものである。 （もっと読む）

【課題】 搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るドアシェル搬送機は、ドアシェルを搬送するドアシェル搬送機において、ＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離する分離機能を有するとともに前記ドアシェルを保持する保持機能を有する分離保持機構としてのオープナー３２と、前記オープナーを回転させる回転機構とを具備する。この回転機構はオープナー３２が回転軸３８を介して接続されたロータリーアクチュエーター３７を有するものである。 （もっと読む）

【課題】板状被処理材の昇降自由度の拡大、加重に対する緩衝変形量の低減と取り扱い重量制限の大幅な緩和、載置姿勢の安定維持、各種取り扱い動作の所定姿勢・高さ・平面・位置調整精度の向上により、高効率、高稼働率、安全搬送処理を実現させる。
【解決手段】レール式搬送走行装置１００の基部に、円形レール式旋回装置２００を介して、平行昇降リフト装置３００を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置４００を装着し、その最前水平ステージ４０４に、板状被処理材の載置用の一対の固定水平アームとその間に接近離間可能にした一対の可動水平アーム５０１、５０２を装着し、これらアームの上面に板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマ５０３、５０４を複数装備した。 （もっと読む）

【課題】ウエハの端面を構造的に保護することにより、基盤に対するウエハ剥がれ等の処理不良を防止することができるウエハ端縁保護装置及びウエハ処理装置を提供する。
【解決手段】二枚のウエハＷ及びＯリング２１，２３を挟んで積層された第１の保護部材５及び第２の保護部材７と円板状部材３の外周部を第１挟持片２９と第２挟持片３１で挟持すると、第１の保護部材５と第２の保護部材７とが積層される。第１係止機構３５と第２係止機構３７で第１挟持片２９と第２挟持片３１を固定することにより、第１の保護部材５及び第２の保護部材７並びに円板状部材３を確実に挟持できる。挟持機構９により挟持するという簡単な動作でウエハ端面保護装置１を二枚のウエハＷに取り付けることができ、効率的に処理できる。 （もっと読む）

【課題】 たわみを抑制できる強度と酸またはアルカリの処理液に対する耐性を有し、かつ軽量化された搬送手段を備えた板材処理装置及びこれを用いた板材製造方法を提供する。
【解決手段】 水密構造の筐体１内に、水平姿勢のガラス板Ｇを水平方向に搬送する下側搬送ロール２、３及び上側搬送ロール４と、ガラス板Ｇの表面に処理液を供給するノズル５、６を備える。下側搬送ロール２、３は、炭素繊維強化樹脂からなる主軸を有し、該主軸に取り付けられた複数のホイール部材を備える。筐体１の少なくとも内面をポリ塩化ビニル樹脂またはポリプロピレン樹脂とする。 （もっと読む）

【課題】拡張時の摩擦力を低くするとともに均一に拡張できるようにして拡張特性を向上させた傾斜振動式フィルムシート用エキスパンダを提供する。
【解決手段】ステージ部１０２の下側拡張リング１０６は上下に傾斜しつつ傾斜振動するように構成されている。下側拡張リング１０６にフィルムシートが接触しても傾斜振動により接触箇所を低摩擦にしつつフィルムシート１１を拡張するため、フィルムシート１１の全面で拡張率を一定にしつつダイシング済みのウェハーをチップに分割するような傾斜振動式フィルムシート用エキスパンダ１０００とした。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの端面を構造的に保護することにより、ウエハ剥がれ等の処理不良を防止できる。
【解決手段】 処理部分の円Ｃを除くウエハＷの非処理面Ｓ２が保護部材５により覆われリップパッキン７を介して保護部材５を円板状部材３に積層した状態で、円板状部材３、保護部材５、ウエハＷの処理面Ｓ２、リップパッキン７で形成される空間ｓｐの気体を連通口９から排出する。保護部材５が円板状部材３に吸着されるので、ウエハＷの処理部分の円Ｃ以外は処理液に触れることがない。よって、ウエハＷの端面が処理液で処理されたり、基盤にウエハＷを接着しているワックス等が処理液に浸食されて剥がれたりする等の処理不良を防止することができる。その上、連通口９から排気するだけという簡単な動作でウエハ端面保護装置１をウエハに取り付けられ、空間ｓｐ内の負圧を解消するだけで取り外せる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造用基板（ウエハ）を挿脱自在に収納した容器（ＦＯＵＰ）のストッカー内において、前記容器（ＦＯＵＰ）をスタッカクレーンにて所定の収納棚に対して搬入し、或いは所定の収納棚から搬出するロボットにて把持しつつ高速搬送するに当って、始動時及び制動時に受ける慣性力が増しても、容器（ＦＯＵＰ）内に収容されている基板（ウエハ）に伝わる振動を抑制し、当該基板（ウエハ）を保護すること。
【解決手段】 ストッカー内の棚群に面した２次元空間に沿って移動体９が走行し、容器（ＦＯＵＰ）８を所定の棚への搬入或いは所定の棚からの搬出するスタッカクレーンにおいて、前記移動体にはロボット７が備えられ、当該ロボット７のアーム機構７ａが縮退形態になることに連動して係止部材１５が容器（ＦＯＵＰ）８の所定個所を押圧し、伸長形態になることに連動して係止部材１５と容器（ＦＯＵＰ）８とは平面視において離れるように構成した。 （もっと読む）

【課題】多段構造の基板収納カセットに対して基板を確実に搬出及び搬入することができる基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムを提供する。
【解決手段】奥側から手前側に延びる長尺支持部１５ａ、１５ｂ、１５ｃを所定間隔で多段状に配列し、各段毎の長尺支持部１５ａ、１５ｂ、１５ｃの上に基板１ａ、１ｂ、１ｃを載置して多段収納するカセットに対して、基板１ａを載せるためのハンド２２を有するロボットを用いて基板１ａを搬出搬入する基板搬出搬入方法であって、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａ、又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａを支承して、カセット内でのハンド２２の進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ａを含み、カセットからの対象基板１ａの搬出工程及びカセットへの対象基板１ａの搬入工程が、上記支承工程Ａと共に行われるように構成する。 （もっと読む）