【課題】基板側の透明電極層、中間層、及び裏面側の電極層の構造が最適化されることにより、取り出し電流が増大した光電変換装置を提供する。
【解決手段】基板１上に、少なくとも、透明電極層２と、光電変換層３と、裏面電極層４とを備え、前記透明電極層２の前記光電変換層３が設けられている側の表面が、山部２ａと、該山部２ａの表面に設けられた微小凹凸部２ｂとを備え、凹凸構造のピッチが１．２μｍ以上１．６μｍ以下とされ、前記山部２ａの高さが０．２μｍ以上０．８μｍ以下とされ、前記微小凹凸部２ｂにおける凸部のピッチが０．０５μｍ以上０．１４μｍ以下とされ、前記凸部の高さが０．０２μｍ以上０．１μｍ以下とされることを特徴とする光電変換装置１００。 （もっと読む）

【課題】凹凸表面を有する支持体上に形成された半導体層の膜厚を高精度に測定することができる積層体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】凹凸表面ｃ１を有する支持体Ｂ１と、支持体表面に積層された半導体層Ｔとを備え、半導体層Ｔを有する支持体Ｂ１はその一部に、半導体層Ｔの層厚ｔが光学的に測定されるように構成された層厚被測定部位Ｇ１を有する積層体。 （もっと読む）

【課題】裏面側透明電極層または裏面電極層の製膜条件の経時的変化に伴う発電出力のばらつきを抑制することができる光電変換装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に、光電変換層と、裏面側透明電極層と、裏面電極層とを順次形成する光電変換装置の製造方法であって、前記裏面側透明電極層及び前記裏面電極層の少なくとも一方が、直流スパッタリング法を用いて、前記裏面側透明電極層または前記裏面電極層の製膜中における印加電圧が一定に制御される条件で形成され、前記印加電圧が、前記裏面側透明電極層または前記裏面電極層の製膜中における印加電力が一定に制御される条件で形成されるときの最終電圧値であることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光閉じ込め効果および反射率が高く、かつ表面形状がその上に形成される発電層に悪影響を与えない程度に平坦な薄膜太陽電池用基板提供する。
【解決手段】本発明に係る太陽電池用基板１上には、発電層２と上部電極となる透明導電膜９および銀電極１０が形成される。太陽電池用基板１は、表面に高反射率の反射面を有する高反射率基板３と、その上に形成された、透明かつ導電性の透明複合膜とを有する。透明複合膜は、可視〜近赤外域の光に対して透明かつ屈折率の異なる二種類以上の材料、例えば高屈折率材料４と低屈折率材料５とが、基板面内方向に分散配置されたものである。高屈折率材料４と低屈折率材料５の少なくとも一方は導電性を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工時の照射ドットの配列をオーバーラップさせて千鳥配列状となるように形成して、絶縁帯形成効率を向上させること。
【解決手段】レーザ光を除去加工部Ｚの幅方向に往復スキャンさせ、照射ドットＤをオーバーラップさせながらｎ列の照射ドット列を形成する際に、第（ｍ＋１）照射ドット列の照射ドットの中心位置を、その前に形成された照射ドット列である第ｍ照射ドット列の照射ドットの中心位置と、照射ドット列方向に、ドットピッチ（Ｐ）の半分ずらし、第ｍ照射ドット列の照射ドットの中心位置を結んだ直線と、第（ｍ＋１）照射ドット列の照射ドットの中心位置を結んだ直線との間隔を、ドットピッチの√３／２倍とし、かつ、第ｍ照射ドット列と第（ｍ＋１）照射ドット列とをオーバーラップさせ、上記の照射ドット列の形成を除去加工部の幅方向と直角方向に順次繰り返すことによって、太陽電池パネルの端部に絶縁帯を形成する。 （もっと読む）

【課題】集電効率が高く、かつ特性のばらつきが少ない太陽電池用基板、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板層（１２）と、基板層（１２）の上に積層された金属層（１４）と、を備え、基板層（１２）は、金属層（１４）との積層面に、平面視で、略円形状又は略多角形状である凹部（１２ａ）を有し、金属層（１４）は、基板層（１２）における凹部（１２ａ）以外の表面を被覆する、太陽電池用基板（１０）とすること。 （もっと読む）

【課題】均一の成膜を行い品質管理を図ることができる薄膜製造方法および薄膜製造装置を提供する。
【解決手段】帯状の基板を収納する第１の基板収納手段１と第２の基板収納手段２との間に、前記第１の基板収納手段１と第２の基板収納手段２の一方から他方に向けて前記基板Ｓを送り出しながら前記基板Ｓの主面に複数種類の薄膜を選択的に形成する薄膜形成手段を配設し、前記薄膜の一層を形成する度に前記基板Ｓの送り出し方向を反転させると共に薄膜種類を変えて、前記複数種類の薄膜を前記主面に順次積層する薄膜製造方法において、前記帯状の基板Ｓに形成された薄膜を検出する検出部７Ａ，７Ｂを前記基板収納手段１，２に設け、該検出部７Ａ，７Ｂによって検出された薄膜の膜質を評価し、適切な電極間隔を演算する膜質評価演算部８を設け、この膜質評価演算部８の演算結果から電極間隔を電極間隔指令制御部９によって制御する。 （もっと読む）

【課題】誘導結合プラズマ化学気相蒸着法を利用した太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極、第１型層、真性層、第２型層及び第２電極を含む太陽電池を製造するにおいて、水素（Ｈ_２）ガス及びシラン（ＳｉＨ_４）ガスを含む混合ガスを使用する誘導結合プラズマ化学気相蒸着装置を利用して、水素化非晶質シリコン薄膜からなる前記真性層を形成する真性層の形成ステップを含むものの、前記混合ガスは、前記水素ガス及びシランガスの水素ガスに対するシランガスの割合（Ｈ_２／ＳｉＨ_４ ｒａｔｉｏ）が８乃至１０である。 （もっと読む）

【解決手段】受光面及び非受光面を有する半導体基板と、これら受光面及び非受光面上にそれぞれ形成され、互いに異なる極性を有する電極を具備する太陽電池セルであって、上記受光面及び非受光面上のバスバー電極が長手方向に互いに直交するように形成されてなる太陽電池セル。
【効果】本発明による太陽電池セル及び太陽電池セルの配線方法を用いることで、太陽電池モジュールの面積に対する太陽電池セルの充填率を改善することが可能で、モジュール変換効率を改善できる。 （もっと読む）

【課題】成膜処理のコストが上昇することを抑制し、かつクリーニングの前後に成膜装置の成膜室を大気開放する必要がない成膜装置のクリーニング方法を提供する
【解決手段】先に処理されたフレキシブル基板５０の終端部である先基板終端部、次に処理されるフレキシブル基板５０の先端部である次基板先端部、又は先基板終端部と次基板先端部を接続する接続用基板の少なくとも一つが第１連結部４０２、成膜室２０２，２０４，２０６、及び第２連結部４０８を介して基板送出部１００から基板巻取部３００まで繋がった状態で、第１遮断部（ゲートバルブ：図示せず）及び第２遮断部（ゲートバルブ：図示せず）を用いて第１連結部４０２及び第２連結部４０８を遮断し、その後成膜室２０２，２０４，２０６のクリーニング処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ナトリウムイオンの拡散が抑制されて優れた耐久性を有する光電変換装置の製造方法及び光電変換装置を提供する。
【解決手段】フロートガラス基板１上に、アルカリバリア層７と、透明電極層２と、光電変換層３と、裏面電極層４を備える光電変換装置１００の製造方法であって、前記基板１の溶融スズと接触した面上に、酸素原子を含む分子を吸着させる工程と、該酸素原子を含む分子が吸着した基板１を、４５０℃以上５５０℃以下で加熱処理する工程と、該加熱処理された基板１の前記溶融スズと接触した面上に、アルカリバリア層７を形成する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バスバーの形状を工夫することで太陽電池モジュールのエネルギー変換効率を向上させるとともに、バスバーの接着強度の向上を図る。
【解決手段】透光性絶縁基板１１上に形成された透明導電膜１２、光電変換層１３及び裏面電極層１４からなる太陽電池素子１０の前記裏面電極層１４上に、導電性接着剤１８によりバスバー２１が接着された構成の太陽電池モジュールにおいて、前記バスバー２１は、透明導電膜１２または裏面電極層１４の長手方向と直交する方向に複数の導電性線材２１ａ，２１ａ，・・・が並べて配置された部分を有する構成としている。また、これら導電性線材２１ａ，２１ａ，・・・は、透明導電膜１２または裏面電極層１４の長手方向と直交する方向に隙間を存して配置されている。 （もっと読む）

【課題】シール材を用いることなく、簡単な構成と製造工程で、太陽電池パネルの裏面保護層と枠部材間を広い範囲で絶縁して、放電の発生を防止する。
【解決手段】太陽電池パネル２の辺縁部と枠部材２１の溝部２２間がホットメルト接着剤３１で満たされ、両者の間にホットメルト接着剤３１からなる絶縁層が形成されている。この絶縁層は、太陽電池パネル２の辺縁部と枠部材２１の溝部２２間を充分に絶縁することができる。また、ホットメルト接着剤３１は、太陽電池パネル２の辺縁部と枠部材２１の溝部２２間に介在するだけではなく、溝２２の内壁２１ｂの縁辺を越えて側壁面２１ｉへと溢れて塗布されている。このため、裏面保護層１７のＡｌ層と枠部材２１の側壁面２１ｉ間にも絶縁層が介在し、その間の絶縁性が向上し、Ａｌ層と側壁面２１ｉ間でも放電が生じ難くなっている。 （もっと読む）

【課題】処理枚数が増えた場合であっても特性を劣化させずに、良好な性能を有する光電変換装置を安定して製造でき、生産コスト及び効率を改善可能な光電変換装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、ｐ層、ｉ層、ｎ層を積層したｐｉｎ型の第一光電変換ユニットと第二光電変換ユニットとを、透明導電膜に順に重ねて設けてなる光電変換装置の製造方法であり、第一光電変換ユニットのｐ層、ｉ層、ｎ層と第二光電変換ユニットのｐ層とを各々別々のプラズマＣＶＤ反応室内で形成し（第一ステップ）、第二光電変換ユニットのｐ層を大気中に露呈させ（第二ステップ）、大気中に露呈された第二光電変換ユニットのｐ層上に、第二光電変換ユニットを構成するｉ層、ｎ層を同一のプラズマＣＶＤ反応室内で形成し（第三ステップ）、第二光電変換ユニットのｎ層上に、ｉ層を第三ステップと同一のプラズマＣＶＤ反応室内で形成する（第四ステップ）ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】隣接する太陽電池セル間に形成される分離溝で、隣接する太陽電池セルとの接続抵抗が大きくなったり、接続を確保できなくなったりすることを抑えることが可能な薄膜太陽電池を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板２上に、表面電極層１１と、バンドギャップの異なる半導体層を基板面に垂直な方向に複数含む光電変換層１２と、裏面電極層１３と、を含むユニットセル１０が複数配列して形成され、ユニットセル１０の光電変換層１２を隣接する一方のユニットセルの光電変換層と分離する分離溝２１で、ユニットセル１０の裏面電極層１３が隣接するユニットセルの表面電極層１１と接続され、ユニットセル１０が直列に接続されてなる薄膜太陽電池において、分離溝２１を構成する光電変換層１２の側面は、基板面に対して０°よりも大きく４５°以下の角度を有する。 （もっと読む）

【課題】電極に反りが生じることを抑制できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】このプラズマ処理装置は、真空容器１００、カソード電極２００、アノード電極３００、及び電極板２２０を備える。カソード電極２００は真空容器１００内に配置されており、交流電力が入力される。アノード電極３００は、真空容器１００内に、カソード電極２００に対向して配置されており、基板５０が配置される。電極板２２０は、カソード電極２００及びアノード電極３００の少なくとも一方の表面に配置されている。電極板２２０は、平面視において基板５０と重なる領域に、第１溝及び第２溝を備える。第１溝は、電極板２２０のうち基板５０に対向する第１面に形成されている。第２溝は、第１面とは逆の面である第２面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来に比して薄膜太陽電池の製造コストを抑えるとともに、中間層の下に形成される光電変換層の光電変換効率の低下を引き起こさない薄膜太陽電池の製造方法を得ること。
【解決手段】絶縁透光性基板２上に、表面電極層１１と、シリコンを含む半導体材料からなるｐ型半導体層１３１、ｉ型半導体層１３２およびｎ型半導体層１３３を順に積層した第１の光電変換層１３と、ｎ型の微結晶シリコンとアモルファスシリコンとが混在する複合層１４Ａと、を順に形成し、酸素ガスを含むプラズマを複合層１４Ａに照射して、微結晶シリコンとアモルファス酸化シリコンとが混在する中間層１４を形成した後、中間層１４上に、第１の光電変換層１３よりもバンドギャップの小さいシリコンを含む半導体材料からなるｐ型半導体層１５１、ｉ型半導体層１５２およびｎ型半導体層１５３を順に積層した第２の光電変換層１５と、裏面電極層１６と、を形成する。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招くことなく、Ａｇ裏側導通層と取り出し線及び引き出し線の接続部との電気的接触を防止する。
【解決手段】太陽電池セル５５が表面基板、受光側導通層、半導体層、及び裏側導通層で構成され、電流を取り出すための取り出し線６０，６１が裏側導通層にそれぞれ接続され、その取り出し線６０，６１に外部へ電流を出力するための引き出し線６２，６３がそれぞれ接続された配線引き回し構造の太陽電池モジュールにおいて、前記取り出し線６０，６１と引き出し線６２，３とを接続する部分と裏側導通層との間にそれぞれ隔離部材５９が配置されており、この隔離部材５９は、取り出し線６０，６１と引き出し線６２，３とを接続する部分におけるはんだ濡れ領域より広い面積の多角形、円形または楕円形に形成されている。 （もっと読む）

【課題】太陽電池セルの損傷が抑制される薄膜太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の薄膜太陽電池モジュールは、基板と、それぞれが一定の幅を有する３つ以上のセルストリングを含むセルモジュールとを備え、各セルストリングは、直列接続された複数の太陽電池セルを備え、前記セルストリングは、前記基板上に、前記太陽電池セルが直列接続された方向に対して垂直な方向に並べて設けられかつ双方的に互いに並列接続され、前記太陽電池セルは、それぞれ表面電極、光電変換層及び裏面電極をこの順で重ねて備え、各セルストリングは、該セルストリングに含まれかつ隣接する前記太陽電池セルの一方の表面電極と他方の裏面電極とを電気的に接続しかつ該セルストリングの幅と同じ幅を有するコンタクトラインを備え、前記３つ以上のセルストリングのうち両端の前記セルストリングの少なくとも一方は、他の前記セルストリングより広い幅を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リーク電流による薄膜太陽電池モジュールの出力の低下を小さくすることができる薄膜太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の薄膜太陽電池モジュールは、基板と、それぞれが一定の幅を有する３つ以上のセルストリングを含むセルモジュールとを備え、各セルストリングは、該セルストリングの幅と同じ幅を有しかつ直列接続された複数の太陽電池セルを備え、前記セルストリングは、前記太陽電池セルが直列接続された方向の長さが同じであり、かつ前記基板上に、並べて設けられかつ並列接続され、前記太陽電池セルは、それぞれ表面電極、光電変換層及び裏面電極をこの順で重ねて備え、各セルストリングは、前記太陽電池セルの一方の表面電極と他方の裏面電極とを電気的に接続しかつコンタクトラインを備え、前記３つ以上のセルストリングのうち両端の前記セルストリングは、他の前記セルストリングより狭い幅を有することを特徴とする。 （もっと読む）