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Fターム[5F110PP35]の内容

薄膜トランジスタ (412,022) | 再結晶化 (11,370) | 前処理 (1,993) | 脱水素 (820)

Fターム[5F110PP35]に分類される特許

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【課題】作製工程を複雑化させることなく、高集積化を実現することが可能な、DRAM混載の集積回路の提供。
【解決手段】DRAMを有する集積回路であって、DRAMには、薄膜トランジスタを備えたメモリセルが複数設けられており、薄膜トランジスタは、活性層と、活性層が有するチャネル形成領域を間に挟んで重なり合っている第1の電極及び第2の電極とを有しており、データに従って薄膜トランジスタのドレイン電圧を制御することで、チャネル形成領域における正孔の蓄積の有無を選択し、正孔の蓄積の有無を把握することでデータを読み出すことを特徴とする集積回路。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】酸化物半導体を用いた書き込み用トランジスタ、該トランジスタと異なる半導体材料を用いた読み出し用トランジスタ及び容量素子を含む不揮発性のメモリセルを有する半導体装置を提供する。メモリセルへの情報の書き込みは、書き込み用トランジスタをオン状態とすることにより、書き込み用トランジスタのソース電極(またはドレイン電極)と、容量素子の電極の一方と、読み出し用トランジスタのゲート電極とが電気的に接続されたノードに電位を供給した後、書き込み用トランジスタをオフ状態とすることにより、ノードに所定量の電荷を保持させることで行う。また、読み出し用トランジスタとして、しきい値電圧を正に制御したトランジスタを用いることで、読み出し電位を正の電位とする。 (もっと読む)


【課題】プラスチックフィルム基板などの柔軟性を有するフレキシブル基板に転写後のデバイスに対してFPCを圧着する際、クラック等の不良発生を防止する。
【解決手段】転写する被剥離層として、素子を有する回路を含む層405aと、端子電極405bとを形成し、その上にクラックを防止するための樹脂からなる保護層405cを形成す。FPCの接続を行う部分において、端子電極の電極面が露出している。FPC407を圧着して異方性導電フィルム406により接続を行う。この圧着工程において、保護層405cによって配線が保護されているため、加圧変形によるクラックの発生を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】信頼性の高い半導体装置を提供することを課題の一とする。また、信頼性の高い半導体装置の作製方法を提供することを課題の一とする。また、消費電力が低い半導体装置を提供することを課題の一とする。また、消費電力が低い半導体装置の作製方法を提供することを課題の一とする。また、量産性の高い半導体装置を提供することを課題の一とする。また、量産性の高い半導体装置の作製方法を提供することを課題の一とする。
【解決手段】酸素欠損を生じることなく酸化物半導体層に残留する不純物を除去し、酸化物半導体層を極めて高い純度にまで精製して使用すればよい。具体的には、酸化物半導体層に酸素を添加した後に加熱処理を施し、不純物を除去して使用すればよい。特に酸素の添加方法としては、高エネルギーの酸素をイオン注入法またはイオンドーピング法などを用いて添加する方法が好ましい。 (もっと読む)


【課題】複数のトランジスタが高集積化された素子の少なくとも一のトランジスタに、作製工程数を増加させることなくバックゲートを設ける。
【解決手段】複数のトランジスタが上下に積層されて設けられた素子において、少なくとも上部のトランジスタは、半導体特性を示す金属酸化物により設けられ、下部のトランジスタが有するゲート電極層を上部のトランジスタのチャネル形成領域と重畳するように配して、該ゲート電極層と同一の層の一部を上部のトランジスタのバックゲートとして機能させる。下部のトランジスタは、絶縁層で覆われた状態で平坦化処理が施され、ゲート電極が露出され、上部のトランジスタのソース電極及びドレイン電極となる層に接続されている。 (もっと読む)


【課題】スイッチング特性が良好で、且つ信頼性が高いトランジスタを提供する。
【解決手段】例えば、ボトムゲートトップコンタクト構造のトランジスタを作製するに際して、第1の配線層を形成し、該第1の配線層を覆って第1の絶縁膜を形成し、該第1の絶縁膜上に半導体層を形成し、該半導体層上に導電膜を形成し、該導電膜に少なくとも2段階のエッチングを行って第2の配線層を離間させて形成し、前記2段階のエッチングが、少なくとも前記導電膜に対するエッチングレートが前記半導体層に対するエッチングレートより高い条件により行う第1のエッチング工程と、前記導電膜及び前記半導体層に対するエッチングレートが、前記第1のエッチング工程よりも高い条件により行う第2のエッチング工程と、を有する方法によりトランジスタを作製する。 (もっと読む)


【課題】導体半導体接合を用いて、優れた特性を示す、あるいは、作製の簡単な、あるいは、より集積度の高い電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】半導体層の電子親和力よりも仕事関数の小さな導体との接合においては、導体より半導体層にキャリアが注入された領域が生じる。そのような領域を電界効果トランジスタ(FET)のオフセット領域、あるいは、インバータ等の半導体回路の抵抗として用いる。また、ひとつの半導体層中にこれらを設けることにより集積化した半導体装置を作製できる。 (もっと読む)


【課題】リーク電流が低く、電界効果移動度が高いなどの優れた特性を有するTFTを備え、駆動回路を内蔵して部材点数を減らすことが可能な半導体装置において、駆動回路内部における腐食などの発生を防止する。
【解決手段】本発明の半導体装置においては、駆動回路を内蔵したTFTアレイ基板100に、ゲート電極2と、ゲート絶縁膜3と、結晶性半導体部分を含んでチャネル領域4cが形成される半導体層4と、チャネル領域4cを保護するチャネル保護膜5と、半導体層4に接続されたソース電極6及びドレイン電極7を備えたTFT、並びに、ゲート電極2と同層に形成された配線層2aとソース電極6と同層に形成された配線層6aを駆動回路内部においてコンタクトホール13を介し直接接触させて接続させる配線変換部12を備えるものである。 (もっと読む)


【課題】効果的に不純物がドーピングされた多結晶シリコン膜をキャパシタの電極として使用した有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態に係る有機発光表示装置は、基板本体と、前記基板本体上の同一層に形成され、それぞれ不純物がドーピングされた多結晶シリコン膜を含む半導体層及び第1キャパシタ電極と、前記半導体層及び前記第1キャパシタ電極上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を介在して前記半導体層上に形成されたゲート電極と、前記ゲート絶縁膜を介在して前記第1キャパシタ電極上に形成され、前記ゲート電極と同一層に形成された第2キャパシタ電極とを含む。前記第2キャパシタ電極は、相対的に厚い厚さを有する電極凸部と、相対的に薄い厚さを有する電極凹部とを含む。前記第2キャパシタ電極の電極凹部は前記ゲート電極より相対的に薄い厚さを有する。 (もっと読む)


【課題】各種回路に配置される薄膜トランジスタの構造を、回路の機能に応じて適切なものとすることにより、半導体装置の動作特性および信頼性を向上させ、かつ、低消費電力化を図ると共に、工程数を削減して製造コストの低減および歩留まりの向上を実現する。
【解決手段】薄膜トランジスタのLDD領域を、テーパー部を有するゲート電極及びテーパー部を有するゲート絶縁膜に対応させて設ける。具体的には、第1のLDD領域はゲート電極のテーパー部の下に設けられ、第2のLDD領域はゲート絶縁膜のテーパー部の下に設けられる。 (もっと読む)


【課題】複雑な作製工程を必要とせず、消費電力を抑えることができる記憶装置、当該記憶装置を用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。
【解決手段】インバータまたはクロックドインバータなどの、入力された信号の位相を反転させて出力する位相反転素子を用いた記憶素子内に、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積及び放出を制御するスイッチング素子とを設ける。上記スイッチング素子には、酸化物半導体をチャネル形成領域に含むトランジスタを用いる。そして、上記記憶素子を、信号処理回路が有する、レジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置に用いる。 (もっと読む)


【課題】チャネルエッチストッパ構造を有する薄膜トランジスタのオフ電流を低減させ、薄膜トランジスタのスイッチング特性を向上させた表示装置を提供することである。
【解決手段】
基板上に形成されるゲート電極と、ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極の上層に積層される第1の半導体層と、前記第1の半導体層の一部の領域の上層に、前記第1の半導体層に接して積層される酸化シリコン膜と、前記第1の半導体層の上層に前記一部の領域以外に接して積層される不純物が添加された2つの第2の半導体層と、保護膜とを有する薄膜トランジスタを備える表示装置であって、前記2つの第2の半導体層は、前記酸化シリコン膜の側面と上面の一部と接し、且つ所定の離間距離を有して前記上面で互いに対向し、前記保護膜は少なくとも前記酸化シリコン膜の前記上面のうち、前記第2の半導体層と接していない領域と接して形成され、前記酸化シリコン膜の膜厚は200nm以上である表示装置。 (もっと読む)


【課題】使用者が、場所を選ばず情報を閲覧、さらには画面に表示されたキーボードに直接またはスタイラスペンなどを用いて間接的に触れることにより情報を入力でき、その入力情報を利用することができる新規の電子機器を提供することを課題の一とする。
【解決手段】同一基板上に反射電極と電気的に接続する第1のトランジスタと、フォトセンサとを有し、表示部の第1画面領域に表示するタッチ入力ボタンを静止画として表示し、表示部の第2画面領域に動画として出力表示する。表示部に表示される画像が静止画である場合と、動画である場合とで異なる信号供給を表示部の表示素子に行う映像信号処理部を有し、静止画を書き込んだ後に表示素子制御回路を非動作とすることで、消費電力の節約ができる。 (もっと読む)


【課題】消費電力の増加を招くことなくオフの状態を実現することのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】ゲートに電圧が印加されていない状態でオン状態であるパワー素子と、パワー素子のゲートに第1の電圧を印加するためのスイッチング用の電界効果トランジスタと、パワー素子のゲートに第1の電圧より低い電圧を印加するためのスイッチング用の電界効果トランジスタと、を有し、上記スイッチング用の電界効果トランジスタはオフ電流が小さい半導体装置である。 (もっと読む)


【課題】液滴吐出法により吐出する液滴の着弾精度を飛躍的に向上させ、微細でかつ精度の高いパターンを基板上に直接形成することを可能にする。もって、基板の大型化に対応できる配線、導電層及び表示装置の作製方法を提供することを課題とする。また、スループットや材料の利用効率を向上させた配線、導電層及び表示装置の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】液滴吐出法による液滴の吐出直前に、所望のパターンに従い基板表面上の液滴着弾位置に荷電ビームを走査し、そのすぐ後に該荷電ビームと逆符号の電荷を液滴に帯電させて吐出することによって、液滴の着弾位置の制御性を格段に向上させる。 (もっと読む)


【課題】トランジスタにおけるオフ電流を低減し、電圧調整回路における出力電圧の変換効率を向上させる。
【解決手段】ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲートがソース又はドレインに電気的に接続され、ソース及びドレインの一方に第1の信号が入力され、チャネル形成層としてキャリア濃度が5×1014/cm以下である酸化物半導体層を有するトランジスタと、第1の電極及び第2の電極を有し、第1の電極がトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、第2の電極にクロック信号である第2の信号が入力される容量素子と、を有し、第1の信号の電圧を昇圧又は降圧し、昇圧又は降圧した電圧である第3の信号を出力信号としてトランジスタのソース及びドレインの他方を介して出力する構成である。 (もっと読む)


【課題】本発明の一態様は、表示装置の高画質化を図りつつ、消費電力を低減すること及び表示の劣化(表示品質の低下)を抑制することを課題の一とする。
【解決手段】酸化物半導体層がゲート絶縁層を介してゲート電極と重畳するように設けられたトランジスタと、トランジスタのソース側又はドレイン側に接続された液晶を駆動する画素電極と、画素電極と対向するように設けられた対向電極と、画素電極と対向電極との間に設けられた液晶層とを有するサブユニットを複数有するユニットが、一又は複数設けられたピクセルがマトリクス状に配置されて画像を表示する表示パネルにおいて、オフ電流が、室温にてチャネル幅1μm当たり10zA/μm未満、85℃にて100zA/μm未満であるトランジスタを用いる。 (もっと読む)


【課題】結晶粒の位置とその大きさを制御した結晶質半導体膜を作製し、さらにその結晶質半導体膜をTFTのチャネル形成領域に用いることにより高速動作を可能にする。
【解決手段】基板1上に、島状で且つ端部にテーパーを有する膜2を設け、無機絶縁膜3、非晶質半導体膜を形成する。そして、レーザーアニールにより非晶質半導体膜を結晶化させる。島状で且つ端部にテーパーを有する膜2または無機絶縁膜3の材料及び膜厚を適宜調節することによって半導体膜の冷却速度を遅くして結晶粒径の大きな第1領域4aを形成する。 (もっと読む)


【課題】異なる特性の半導体素子を一体に有しつつ、高集積化が実現可能な、新たな構成の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】第1の半導体材料が用いられた第1のチャネル形成領域と、第1のゲート電極と、を含む第1のトランジスタと、第1のゲート電極と一体に設けられた第2のソース電極および第2のドレイン電極の一方と、第2の半導体材料が用いられ、第2のソース電極および第2のドレイン電極と電気的に接続された第2のチャネル形成領域と、を含む第2のトランジスタと、を備えた半導体装置である。 (もっと読む)


【課題】特性の優れた半導体膜を簡便に得ることができる微結晶半導体膜の結晶化方法と、これを応用した薄膜トランジスタ、半導体装置、及び薄膜トランジスタの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる薄膜トランジスタは、基板1上に形成されたゲート電極2と、ゲート電極2を覆うゲート絶縁膜3と、ゲート絶縁膜3を介してゲート電極2の対面に形成され、ソース領域となる第1非晶質領域41、ドレイン領域となる第2非晶質領域42、及び第1非晶質領域41と第2非晶質領域42との間に配置されたチャネル領域となる結晶性領域43を有する半導体膜4と、半導体膜4上に結晶性領域43と直接接触することなく形成され、ソース領域及びドレイン領域とそれぞれ電気的に接続されたソース電極81及びドレイン電極82と、を備えるものである。 (もっと読む)


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