【課題】炭酸ガスレーザ発振器と透過光学素子とを含む加工光路系を有する炭酸ガスレーザ加工機において、屈折率の温度変化率が正の材料にて作製された透過光学素子を含む加工光路系を有するものである場合に、加工光路途中に屈折率の温度変化率が負の透過光学素子を配置することにより、屈折率の温度変化率が正の透過光学素子で発生する収束系の熱レンズ特性を打ち消し、加工品質を良好に保つことができる炭酸ガスレーザ加工機を得る。
【解決手段】炭酸ガスレーザ発振器１１と屈折率（ｎ）の温度変化率（ｄｎ／ｄｔ）が正の透過光学素子１３ａ，１３ｂとを含む加工光路系を有するレーザ加工機において、加工光路途中に屈折率の温度変化率が負の透過光学素子（熱レンズ補正素子）を配置した。 （もっと読む）

【課題】
毎パルスエネルギ安定性を悪化させることなく、レーザ出力のダイナミックレンジを大きくできるレーザシステムまたはレーザ露光システムを提供すること。
【解決手段】
レーザ装置１のメインコントローラ７０は、出力減衰機構５０に入力される前のパルスエネルギＰinをパルスばらつきが小さくなる値（目標パルスエネルギＰL）にすべく、充電電圧制御及びガス制御を行う。また、レーザ装置１の出力エネルギを、露光装置２００で要求される目標パルスエネルギＰt（＜目標パルスエネルギＰL）に一致させるべく、露光装置２００から送信された目標パルスエネルギＰtを示す信号に基づき、出力減衰機構５０の透過率Ｔを制御する。
（もっと読む）

【目的】 高精度の安定化レーザ装置には制御回路にコンパレータと積分器から構成される補正装置がついていた。この補正装置は積分器による大きな遅れ要素のため必ず発振を起こすので信号のラインに交流やランダムノイズを重ね発振を抑えていたが重ね方が難しく、発振を止めるための素子の選定などに多大の時間を要していた。さらに重ね方に不合理性がありそのため、制御の目的値の誤差および誤差の分散（ばらつき）が大きかった。発振を止めるに要する時間を短縮すると共に、上記制御の目的値の誤差および誤差の分散を小さくする。
【構成】 上記補正装置を振幅が可変である正弦波発振器とオフセットが小さい演算増幅器と正確な限界電圧を持つ電圧リミッターとを組み合わせて合成増幅器を作りこの合成増幅器の出力を積分する構成とした。高精度の安定化レーザ装置が耐えられる環境温度の範囲を拡げるため、同じような補正装置を二個用いた。 （もっと読む）

【課題】 分布特性が良好な領域のみ増幅段ゲイン領域に入射させることにより、２ステージ狭帯域化レーザ装置のスペクトル性能を大幅に向上させること。
【解決手段】 発振段レーザ１からのレーザビームは、伝播ミラー４ａ、ビーム整形ユニット５、伝播ミラー４ｂを介して増幅段レーザ２へ導かれ注入される。ビーム整形ユニット５は、増幅段レーザ２のゲイン領域に入射する発振段レーザ１から出射するビームのスペクトル特性が良好となるように、発振段レーザ１から増幅段レーザ２に注入されるレーザビームを整形する。ビーム整形ユニット５としては、例えばビーム切り出しやビーム拡大手段あるいはビーム光軸調整手段などを用いることができる。必要に応じて増幅後のスペクトル性能、スペクトル幅の分布情報を適宜診断してそれに応じてビーム整形の状態を調整してもいい。 （もっと読む）

【課題】
スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させる。
【解決手段】
光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように凹凸レンズ３３、３４間の距離が調整される。すると、光が波面調整器３２を通過すると所望の波面に調整される。
（もっと読む）

【課題】
レーザ発振効率を向上させると共に、ビームダイバージェンスの拡大を抑制する。
【解決手段】
出力カプラ８０は、レーザチャンバ２０のフロントウィンドウ２２側の方向と反対の方向に凹状に湾曲しており、フロントウィンドウ２２と対向してレーザ光が入射、反射される入射・反射面８０ａと、レーザ光が出射される出射面８０ｂとを有する。入射・反射面８０ａの曲率と出射面８０ｂの曲率は異なる。入射・反射面８０ａの曲率は、出力カプラ８０とグレーティング３０とで安定共振器を構成するために適切な曲率である。出射面８０ｂの曲率は入射・反射面８０ａの曲率よりも大きい。両者の曲率の差が大きいほど、出射面８０ｂから出射されるレーザ光は光軸中心方向に狭まる。 （もっと読む）

単指向性リングレーザ発振器は、大容量の非対称断面レーザゲイン媒体に結合するために、一つの横寸法において進行波不安定モードを有し、直交横寸法において導波管又は自由空間ガウスモードを有する。この装置のコンセプトは、凹面の光学機器を使用することなく、キャビティ内放射形態における左右の転換のような新規で革新的な特徴を有する。キャビティ内リング光学機器の一つの調整不良に対する高い鈍感性が、通常キャビティ内焦点面で出会う高い強度の放射と関連する有害ない効果を被ることなく、レーザの単指向性操作はキャビティ内及びキャビティ外光学技術の両方を使用して達成される。
（もっと読む）

【課題】 導光路内のビーム雰囲気を低コストでもって良好に維持する。
【解決手段】 レーザ発振器（２）と、該レーザ発振器から出力されるレーザを集光する集光光学系（１３）と、レーザ発振器からのレーザを集光光学系まで導く導光路（３０）と、空気を除湿する除湿手段（４０）と、除湿手段によって除湿された除湿空気を導光路まで供給する供給手段（３１、３２）とを具備するレーザ装置（１００）が提供される。除湿手段（４０）により除湿された除湿空気の大気圧露点は０℃以下である。レーザ発振器（２）と集光光学系（１３）との間の距離（Ｌ）が所定の値よりも大きい場合には、複数の除湿手段（４０ａ、４０ｂ）を含むようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 １つのピーク発振、２ピーク発振が可能なレーザ装置において、簡便な構成にてレーザ光の中心波長を正確に計測し制御すること。
【解決手段】 波長モニター２２のラインセンサによりフリンジのピーク数、ピーク強度を検出する。コントローラ１５はフリンジのピーク強度を調整しピーク数を判定する。ピーク数がｎの場合（１ピーク発振の場合）は、ラインセンサ上のフリンジの内径（Ｄｉ）と外径（Ｄｏ）より中心波長を決定し、中心波長制御機構１３ｂにより中央波長を制御する。ピーク数が２ｎの場合（２ピーク発振の場合）は、２つピークの内の内側のピークの内側部分の内径（Ｄｉ１）、外側のピークの外側部分の外径（Ｄｏ２）より２つのピーク間の中心の波長（ピーク間中心波長）を求め、中心波長制御機構１３ｂにより上記ピーク間中心波形を制御する。またピーク間隔制御機構１３ｃによりピーク間隔を制御する。 （もっと読む）

【課題】 パルスレーザ光のパルスエネルギ及びプロファイルを短期間で安定化させることができるレーザ発振器のならし運転方法を提供する。
【解決手段】 まず、複数の繰り返し周波数の各々について、レーザ発振器から出射されるパルスレーザ光のパルスエネルギの、パルス間でのばらつきの度合いの目安となるばらつき度を計測する。次に、計測結果に基づいて、ばらつき度が最小になる最適繰り返し周波数を求め、求めた最適繰り返し周波数でレーザ発振器をならし運転する。最適繰り返し周波数は、ある期間が経過する毎に計測し直し、更新することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】コンデンサＣ２から可飽和リアクトルＳＩ２の飽和動作でピーキングコンデンサＣＰにパルス電流を供給し、その充電電圧でインダクタンスＬＰを通して放電電極ＬＨを放電させてレーザ発光を得るのでは、放電に十分高い電圧を得るのが難しく、発光時間を長くして狭帯域化されたレーザ発光を得るのが難しい。
【解決手段】放電電極に直列接続でＬＣ並列共振の高周波タンク回路を設けることにより、放電電流を方形波状にして振動電流の幅を大きくする。 （もっと読む）

【課題】 空間コヒーレンスが低くエネルギー安定性の高い半導体露光装置用に適したＭＯＰＯ方式の２ステージレーザシステム。
【解決手段】 発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザ３００とからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ３００共にレーザガスが充填されたチャンバ３０を備えており、増幅段レーザ３０が、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極３０ａ、３０ｂとを備えている２ステージレーザシステムにおいて、増幅段レーザ３００のファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラー３６とフロントミラー３７の少なくとも一方が、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する。 （もっと読む）

本発明は、ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置に関するものであり、発振段レーザ（５０）と増幅段レーザ（６０）とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ（５０）として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ（６０）は入力側ミラー（１）と出力側ミラー（２）とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成している。
（もっと読む）

【課題】 高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】 ＭＯＰＡ（master oscillator power amplifier）方式に従って構成されたレーザシステム３であって、レーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数のレーザ増幅系３０４（１）及び３０４（２）並びに３０５（１）及び３０５（２）において該レーザ光を増幅するレーザシステムと、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステムの動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置４とを含む。 （もっと読む）

【課題】
ＰＯレーザのリアミラーでＭＯレーザ側に反射することなく増幅段光共振器内に入射するメイン光のみを主に増幅して、ＰＯレーザから出射されるレーザ光のスペクトル線幅を狭くする。
【解決手段】
ＰＯリアミラー３６の部分反射面と入射光の光軸とが直交しないように注入同期式レーザ装置の各構成要素が配置される。すると、ＰＯリアミラーで反射することなくＰＯ光共振器内に入射するメイン光の光軸と、ＰＯリアミラー及びＭＯフロントミラーで反射してからＰＯ光共振器内に入射するサブ光の光軸と、は一致しない。さらに、このメイン光の光軸のみがＰＯ光共振器３８内の増幅空間、具体的には互いに対向する電極３０ａ、３０ｂ間、に位置するように注入同期式レーザ装置の各構成要素が配置される。
（もっと読む）

【課題】少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバから成り、発振チャンバの出力が増幅チャンバ、例えば、主発振器電力増幅器（ＭＯＰＡ）構成フッ素注入コントローラ及び方法において増幅されるマルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するマルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステム及びその作動方法。本発明は、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量とを表す出力を生成するハロゲンガス消費推定器と、フッ素消費推定器からの推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振器から射出されたレーザ光のパワーをロスさせることなく、レーザ光の発振に異常が生じたことを検出する。
【解決手段】 第１のマイクロホン２０ａが、電源ケーブル１１ｃから音響を検出し、検出結果としてケーブル音響データＳＤａを判別部２２に送出する。第２のマイクロホン２０ｂが、チャンバ１３内から放電電極１４ａ及び１４ｂ間に生じる放電の音響を検出し、検出結果として放電音響データＳＤｂを判別部２２に送出する。判別部２２は、ケーブル音響データＳＤａ及び放電音響データＳＤｂに基づいて、高電源ケーブル１１ａ及び放電電極１４ａ及び１４ｂ間の放電にそれぞれ異常が生じたか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】
中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】
増幅用レーザ装置３００から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置１００で放電を開始してから増幅用レーザ装置３００で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。
（もっと読む）

【課題】
狭帯域化モジュールに内包される狭帯域化素子またはラインセレクト素子の耐用期間を延ばし、狭帯域化モジュールの交換周期を長くする。
【解決手段】
１以上のプリズムとグレーティングとこれら狭帯域化素子を内包し電極対向方向に変位と固定が自在である筐体とで狭帯域化モジュールが構成される。筐体には光が出入りする開口部が設けられており、この開口部とプリズムとグレーティングの電極対向方向の長さは、ビームプロファイルの電極対向方向の長さよりも二倍以上長い。するとプリズムとグレーティングの回折面には光入射領域が電極対向方向に二以上形成される。グレーティングの回折面の各光入射領域は、対応するプリズムの光入射領域との組み合わせでスペクトルチェックが行われ、それぞれ最適なスペクトル特性が得られるように予め曲率調整される。
（もっと読む）