【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）

フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源としてのような線狭化用途におけるような使用されるエキシマ又は分子フッ素レーザシステムのようなＤＵＶガス放電レーザシステムにおけるような帯域幅の能動制御の技術を提供する。開示の主題の実施形態の態様により、誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又はいかなるビーム倍率制御を利用することなく帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階、又は誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又は帯域幅制御以外に対してビーム倍率制御を利用しながら帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階、及び誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又は誤差信号に基づく帯域幅制御に向けたビーム倍率制御を利用しながら帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階を含むことができる方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】炭酸ガスレーザー励起の遠赤外ガスレーザーにおいて、波長選択可能であり、かつ、同一光軸で多波長発振させる。
【解決手段】複数の励起用炭酸ガスレーザー装置１、２から出力される複数の異なる励起レーザーを１つの遠赤外レーザー装置３に入力し、１つの遠赤外レーザー装置３から２つの異なる波長で、かつ、同じ光軸を取るレーザー光を出力させる。これにより、多波長の遠赤外レーザー発振を可能にできる。 （もっと読む）

【課題】ディザースプリングとブロックの接合構造にディザ角振動伝達に十分な接合強度を備えるリングレーザージャイロを供給する。
【解決手段】回転運動を検出するブロック６１と、リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、ブロック６１の中央部の円形貫通穴６２に装着されて、円筒形の外周壁６４と、中心から外周壁６４に向かって、放射方向に伸長する複数の腕６８を有するディザースプリング６３と、を備える前記ジャイロにおいて、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上には、ディザースプリング６３の軸線と平行な直線状の凸部６６、あるいは溝７２が複数の腕６８の隣接間にそれぞれ備えられ、ブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上には、凸部６６あるいは溝７２にそれぞれ嵌合された直線状溝７２あるいは凸部８２が備えられていることを特徴とするリングレーザージャイロ。 （もっと読む）

【課題】予期せぬ箇所にレーザが照射されることを防止する。
【解決手段】レーザ発振装置は、発振器２０と、シャッタ２２と、制御装置３０とを含む。発振器２０は、レーザ光６０を発振する。シャッタ２２は、発振器２０が発振したレーザ光６０を遮断する。制御装置３０は、レーザ光６０を遮断する状態とレーザ光６０を放出させる状態との間の状態にシャッタ２２がある期間を含む移行期間はレーザ光６０の発振を停止するよう制御すると共に、移行期間以外の期間は発振器２０によるレーザ光６０の発振と停止とを制御する。 （もっと読む）

【課題】狭帯域発振段レーザからのシード光を増幅段レーザの放電領域へ複数個所から注入することにより、効率よく増幅段レーザへシード光を注入できるようにすること。
【解決手段】ＭＯビームが増幅段レーザ（ＰＯ）２０のリアミラー２６の反射防止膜の領域を透過し、その一部は放電領域に注入されて増幅され、ＯＣ２４の部分反射（ＰＲ）膜の領域に到達する。その透過光は出力レーザ光として出力され、反射光は放電領域に戻され共振を繰り返す。またリアミラー２６の反射防止膜の領域を透過した他の一部は、放電領域を外れて通過し、ＯＣ２４の高反射（ＨＲ）膜の領域で反射し、放電領域を通過して増幅される。そして、リアミラー２６の高反射（ＨＲ）膜の領域で反射し、放電領域を通過して増幅され、ＯＣ２４の部分反射膜の領域に入射し、透過光はレーザの出力光として出力され、反射光はフィードバック光として放電領域に戻されこの共振を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ダイクロイックミラーを透過したレーザ光が、レーザ発振器構成部材に損傷或いは一部の異常加熱を誘起する事を防止するとともに、ダイクロイックミラーを透過したレーザ光がダイクロイックミラーに帰還する事を防止する事によって、安定したレーザ発振を実現する。
【解決手段】レーザ装置の発振波長を選択する為に用いられるダイクロイックミラー９０を有する。ダイクロイックミラー９０は、ダイクロイックミラーホルダ７２で保持する。ダイクロイックミラーホルダ７２の内部には除去光をダイクロイックミラー９０以外の方向に反射させるための反射板７３を有する。
【選択図】図１４
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【課題】レーザ発振器のアライメント変化或いは、レーザ媒質の利得変化を検出し、最適なアライメント状態を維持する。
【解決手段】アライメント調整機構を有するレーザ発振器６５の外部に空間フィルタ６４が設けられ、空間フィルタ６４に取り付けられた複数の温度センサ６６からの出力信号を演算回路６３で処理し、演算回路６３からの出力によってレーザ光が空間フィルタ６４の光軸上を透過するようにアライメント調整機構の調整式鏡保持機構が動作する。
【選択図】図１１
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【課題】狭帯域発振段レーザからのシード光のほとんどを増幅段レーザの注入光とすることができる露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式放電励起レーザ装置において、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０の間にビーム線状集光装置５を設ける。ビーム線状集光装置５は、シード光を線状に集光して、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内の注入部（共振器ミラー面を含む平面上、もしくは共振器ミラー間に設けられた注入用ミラー面）に集光させる。これにより、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０からのシード光のほとんどを増幅段レーザ（ＰＯ）への注入光として使用することができ、シード光の注入効率を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】発振段レーザ（ＭＯ）から出力されたビームを効率よく増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができるようにすること。
【解決手段】狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式放電励起レーザ装置において、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０の間にＭＯビーム転写器５を設ける。ＭＯビーム転写器５は、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０のＭＯレーザ光の出口近傍におけるビームを転写して、このビーム転写像を増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器の注入部に結像させる。これにより、発振段レーザ（ＭＯ）からのシード光を効率よく増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができ、また、上記シード光の方向に変動があっても注入効率は変動を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】
オシレータおよびアンプを備えた多段増幅型レーザ装置でオシレータおよびアンプのチャンバを効率よく利用することによって作業労力や交換部品を低減する。
【解決手段】
一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバを取り外し、そのチャンバをオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所に取り付ける。こうしてオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所で使用したチャンバの劣化度の余裕分を、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所で消費する。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができ、装置のサイズを小さくすることが可能な極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザ１は、レーザ光を発振して出力する発振器４１と、発振器４１から出力されたレーザ光を増幅して出力する増幅器４２とを具備する。増幅器４２は、放電により励起された媒体のエネルギーを用いてレーザ光を増幅する放電部５２と、放電部５２から出力されたレーザ光を放電部５２に入力するフィードバックミラー５５と、発振器４１から出力されたレーザ光を放電部５２に出力するとともに、放電部５２から出力されたレーザ光を所定の方向に反射する偏光子５１と、放電部５２から出力された自励発振光を減衰させる自励発振光フィルタ５３とを含む。 （もっと読む）

【課題】高繰返し化（１０ＫＨｚ以上）、高出力化、超狭帯域化（０．１ｐｍ以下）を実現することが可能な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有する狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と、光安定共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式レーザ装置において、発振段レーザ光を増幅段レーザ２０の光安定共振器内に注入する高効率な注入装置４を設ける。発振段レーザ１０には放電電極１ａが配置され、放電電極１ａを放電させるための１２ｋＨｚ電源１５が接続され、また、増幅段レーザ２０の光共振器内には複数組のペアの放電電極２ａ，２ｂが配置され、それぞれの電極ペア２ａ，２ｂを放電させるための６ｋＨｚ電源２５ａ，２５ｂが接続される。そして、２組のペア電極２ａ，２ｂに、前記注入光と同期させて交互に放電電圧を印加して放電させる。 （もっと読む）

【課題】発振器の破壊を防止することができるとともに、高次モードを含まないシングルモードでレーザ光の増幅を効率的に行うことが可能な極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザ１は、レーザ光を発振して出力する発振器４１と、発振器４１から出力されたレーザ光を空間フィルタ処理して出力する空間フィルタ４２と、空間フィルタ４２ら出力されたレーザ光を増幅して出力する増幅器４３と、発振器４１及び増幅器４３を駆動する駆動部４６と、空間フィルタ４２におけるブレークダウンの発生を検出するためのブレークダウンセンサ４４と、ブレークダウンセンサ４４がブレークダウンの発生を検出した場合に、増幅器４３の駆動の停止を駆動部４６に行わせる制御部４５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【目的】 安定化のために、デジタル量を用いる安定化ヘリウム−ネオンレーザの高度の安定度をうるため、デジタルのパルスの形状を正確に揃える手段の提供を行なうと共に、前記安定化のためのデジタル量のパルスの周波数を正確に一定にする手段の提供を行なうことを目的とする。
【構成】
レーザから安定化のために使用出来るデジタル量のパルス周波数を、基準周波数を完全に、しかも安定に一致させるため、ダイオードの順方向の電圧を利用して、正負のパルスの基線を零ボルトにし、さらに、このデジタル量をアナログ量に変換する際、Ｆ／Ｖ変換回路と正負のパルスの電荷をゆっくり積分する回路を並列にして誤差信号の値を完全に零にしている。 （もっと読む）

【課題】スペックルノイズを減少させることができ、かつ長期間安定して動作できるパルスレーザ光源及び、そのパルスレーザ光源を用いた検査装置を提供する。
【解決手段】全反射鏡の反射面と部分透過鏡の反射面との間で共振することによってレーザ発振しているパルスレーザ光源であって、全反射鏡は、全反射プリズムであり、部分透過鏡は、反射面が凹面の凹凸基板であり、全反射鏡の反射面と、部分透過鏡の反射面と、部分透過鏡の出射面とにおいて、全反射プリズムと凹凸基板とが露出されていることを特徴とするパルスレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】発振段レーザチャンバと増幅段チャンバを同一形状にしても、４ｋＨｚ以上の高繰り返し動作が安定に行える露光用２ステージシステムエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段と増幅段のチャンバが同一形状である露光用２ステージエキシマレーザ装置において、増幅段の放電開始前の予め設定された時間範囲内に、発振段から放出したシード光を増幅段チャンバに注入してシード光による予備電離を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第１のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第１の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第２のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも２回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 （もっと読む）

ＣＯ_２レーザ基準発振器（ＲＯ）は、Ｑスイッチ法（ＱＳ）あるいはＱスイッチキャビティダンプ法（ＱＳＣＤ）ＣＯ_２レーザ（１０）を励起する入射を提供し、ＲＯ（１２）レーザの出力周波数は、基準発振器（１２）の共振ミラーの１つをディザリングする、適切な電子機器を用いてレーザ線のピークにロックされる。この入射された放射線は、Ｑスイッチ法レーザキャビティ内で放射線増幅を励起し、発振周波数は入射放射線の波長を促進する。電子フィードバック制御回路を用いて、Ｑスイッチ法レーザの縦モードを線中央にロックする。ＱＳレーザ内のパルスの増幅時間の変化を用いて、キャビティの長さをＱＳレーザに入射されるのと同じレーザラインのピークでの振動が可能な値に維持する。 （もっと読む）