【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にＨｅガスを収蔵し、そのＨｅガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、レーザ管（管孔１２）の内部空間と補給タンク６１の内部空間とをガラスの隔壁６４を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のＨｅガスの分圧と補給タンク６１の内部のＨｅガスの分圧との差により、隔壁６４を透過して補給タンク６１からレーザ管へ供給される単位時間当たりのＨｅガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのＨｅガスの量と等しくする。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザアニール処理に用いるパルスレーザ光のパルス波形を安定させて均一なアニール処理を可能にする。
【解決手段】ガス励起パルスレーザ発振器と、ガス励起パルスレーザ発振器から出力されたパルスレーザ光を所定の減衰率で透過させる可変アッテネータと、可変アッテネータを透過したパルスレーザ光を被処理体に導く光学系と、前記ガス励起パルスレーザ発振器における前記パルスレーザ光の出力値を調整する第１の制御を行う制御部とを備え、制御部は、ガス励起パルスレーザ発振器内のガスの劣化に応じて、第１の制御で調整される前記出力値を低下させるとともに、可変アッテネータの減衰率を小さくする第２の制御を行って、パルス波形の変化を抑制してパルス毎のムラをなくす。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でレーザ管からのＨｅガスの透過・散逸を防止する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器を有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、発振器（リングレーザ発振器）１０をＨｅガス非透過性の気密筐体６１に収納し、気密筐体６１内部の発振器１０を取り囲む空間にレーザ管（ブロック１１内の通路１２）に封入されたＨｅ−ＮｅガスのＨｅ分圧と等しい分圧を有するＨｅガスを成分に持つ混合気体を充填する。Ｈｅガスの透過自体が発生しない。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置のスペクトル幅調整の可能な範囲を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、（１）レーザ媒質をレーザゲイン空間において励起する励起源と、（２）レーザゲイン空間を通る光路の一方の側に配置されたアウトプットカプラと、レーザゲイン空間を通る光路の他方の側に配置された波長分散素子と、を含む光共振器と、（３）レーザゲイン空間と波長分散素子との間の光路にビーム幅を拡大又は縮小する少なくとも１つのビーム幅変更素子を出し入れし、又は、上記光路において少なくとも１つのビーム幅変更素子の向きを反転させることにより、ビーム幅の拡大率又は縮小率を切り換える切換機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】比較的短いパルス幅のパルスレーザ光を小型且つ簡素な構成で、安定して増幅して出力することを可能にする。
【解決手段】再生増幅器は、光共振器を形成する一対の共振器ミラーと、一対の共振器ミラー間に配置され、所定波長のレーザ光を増幅するスラブ増幅器と、スラブ増幅器内をレーザ光が往復通過するマルチパスを形成するよう配置され、レーザ光の第１の位置における光学像をレーザ光の第２の位置における光学像として転写する、光学システムと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザチャンバのウィンドウからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスに含まれる所定のガス成分が紫外線ガスレーザ装置の筺体内に流出するのを防止できる紫外線ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排気する回路とを有するパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路に前記フィルタを有するとともに、前記レーザガス排気用回路に前記フィルタとは別に所定のガス成分を捕獲するフィルタが設けられる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光出力を安定化する。
【解決手段】ドライバレーザから出力されたレーザ光をもとに極端紫外光をバースト出力する極端紫外光生成装置であって、過去にバースト出力された極端紫外光のパラメータログをもとに、バースト出力される極端紫外光の少なくとも１パルス目を含む１パルス以上の先頭側パルスエネルギーのエネルギー制御を行うエネルギー制御部を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なレーザ装置および極端紫外光生成装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、回折格子と、出力されるレーザ光が前記回折格子に入射し、かつ前記レーザ光それぞれの前記回折格子による異なる次数の回折光の少なくとも１つが所定の方向に進行するように配置される複数の半導体レーザと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つ軸対称偏光ビームを発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器の光軸を折り返すための１つまたは複数の折り返しミラー２，３とを備え、折り返しミラー３は、ラジアル偏光の反射率とアジマス偏光の反射率が互いに異なる反射型回折光学素子で構成される。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つラジアル偏光のレーザ光を低コストで発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器内に設けられ、アジマス偏光の反射率がラジアル偏光の反射率を上回る反射型回折光学素子と、光共振器の内部または外部に設けられ、光の偏光をラジアル偏光からアジマス偏光へまたはアジマス偏光からラジアル偏光へ変換する２つの反射型λ／２板８，９とを備え、ラジアル偏光のレーザ光を発生することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低コヒーレンス化と高強度とを実現する。
【解決手段】固体レーザ１０から出力されたシード光Ｌｂをシード光Ｌｂよりも短波長のレーザ光Ｌ１に変換した後、レーザ光Ｌ１を増幅して出力するレーザ装置１は、シード光Ｌｂを短波長のレーザ光Ｌ１に変換する前に、シード光Ｌｂを低コヒーレンス化する低コヒーレンス機構２０を備える。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時の作業スペースを確保しつつ有限のスペース内に収めることを可能にする。
【解決手段】収容スペース１００内に設置され、収容スペース１００外に配置されたチャンバ内に供給された極端紫外光の発生源となるターゲットに照射するレーザ光を出力するレーザ装置１は、マスタオシレータ１１から出力されたレーザ光を増幅する第３〜第５増幅器ユニットＰＡ３〜ＰＡ５と、第３〜第５増幅器ユニットに励起エネルギーを供給する第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５と、外部電力を第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５へ配電する配電盤５０と、第４電源ユニットＤ４および第５電源ユニットＤ５を配電盤５０に対して移動可能にするレールＲ１およびＲ２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第１のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第１の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第２のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも２回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源を露光光源とする場合に、レーザ光のスペクトルの状態の露光パターン又は結像性能に対する影響をより正確に評価する。
【解決手段】レーザ光ＬＢを出力するレーザ光源１６の評価方法において、露光本体部１０側の分光計８でレーザ光ＬＢのスペクトルを計測することと、分光計８による計測結果からレーザ光ＬＢの中心波長を求めることと、そのスペクトル及び中心波長から、レーザ光ＬＢの各波長におけるその中心波長からのずれ量と光強度とに対応する波長オフセットの情報を求めることと、を含む。 （もっと読む）