【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストのガス経路内混入およびガス消費量の増加を防止し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０、１１のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段４２と、ガス循環経路１２のレーザガス２を排気する第１ガス排気通路３１と、第１ガス排気通路３１にガス排気量調整手段３３を設け、ギアー室圧力検出手段４２で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第１ガス排気通路３１からのレーザガス２の排気量を減少させるガス排気量調整手段３３を設けた。 （もっと読む）

【課題】安定した高出力の軸対称偏光ビームを発生できるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、ミラー２，４からなる共振器と、共振器内部に配置され、光増幅作用を有するレーザ媒質１と、共振器内部に配置され、共振器の光軸を折り曲げる折り曲げミラー３などで構成される。共振器内でのレーザ光は、互いに直交関係にあるＳ偏光およびＰ偏光を有する。折り曲げミラー３の反射面には、Ｐ偏光と比べてＳ偏光に対してより高い反射率を有するＳ偏光優先反射領域７と、Ｓ偏光と比べてＰ偏光に対してより高い反射率を有するＰ偏光優先反射領域８とが設けられ、ラジアル偏光またはアジマス偏光を有するビームを発生する。 （もっと読む）

【課題】本発明のＥＵＶ光源装置は、熱によって変化する、レーザ光の波面を適切に補正する。
【解決手段】レーザ発振器２０から出力されるレーザ光を増幅させるための増幅システム３０内に、少なくとも一つ以上の波面補正器３４と、センサ３６とを設ける。センサ３６は、レーザ光の角度（方向）や波面の曲率の変化を検出して出力する。波面補正コントローラ（WFC-C）５０は、センサ３６の計測結果に基づいて、波面補正器３４に信号を出力する。波面補正器３４は、波面補正コントローラ（WFC-C）５０からの指示に従って、レーザ光の波面を所定の波面に修正する。チャンバ１０内にレーザ光を供給する集光システム４０内にも、別の波面補正器及びセンサを設けることができる。 （もっと読む）

【課題】光軸の安定性が高いレーザ光増幅器を提供する。
【解決手段】このレーザ光増幅器は、レーザ媒体を収納する容器と、レーザ媒体中で放電を行うことによりレーザ媒体中にレーザ光の増幅領域を形成する１対の電極と、互いに共役な第１の点と第２の点との間の光路中に増幅領域が配置され、第１の点に入射するレーザ光が増幅領域中を少なくとも２回通過しながら増幅されて第２の点に転写されるように、レーザ光が入射する第１の点とレーザ光が出力される第２の点との間の光路を形成する光学システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を排除し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザ媒体を励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と送風手段との間にレーザガスを冷却する熱交換器と、前記放電手段と前記送風手段と前記熱交換器とを接続してレーザガスの循環経路を形成するレーザガス循環経路と、前記熱交換器の吐出側ガス循環経路より分岐して前記送風手段の駆動部に冷却ガスを供給する冷却ガス経路を備え、駆動部のロータおよびステータ間を流れるガスとの接触によって冷却させる構造とする。 （もっと読む）

二酸化炭素（ＣＯ_２）スラブレーザー共振器用のミラーアセンブリであって、断面形状が矩形のセンター部材と、一対の熱平衡化サイドバーを備える。センター部材の前縁部に凹面反射面が形成される。サイドバーはセンター部材のいずれかの面に取り付けられて、反射面よりも前方へ延び出す。センター部材及びサイドバーの寸法を、ミラーアセンブリの熱中立平面が反射面に近接した位置になるように設定する。これにより、共振器内でレーザー光が往復したとき生じる加熱による反射面の曲率半径の変化を最小にすることができる。 （もっと読む）

垂直方向に離間し電気的に絶縁され互いに平行な縦長の通電及び接地平板電極を備えるＣＯ_２ガス放電レーザーに関する。各電極はその両縁に沿って設けられたセラミックスペーサストリップで離間されている。補助電極が通電電極の両端部に長手方向に離間して通電電極と同一面内に設けられる。補助電極は接地電極から垂直方向に離間するが、電気的に接地電極に接続される。補助電極は、セラミックストリップの内縁間の離間距離より小さい距離だけ離間した２つの隆起部を有する。補助電極の隆起部は、レーザーを操作している際に共振器内に発生するレーザー光によるセラミックストリップの侵食を防止する。 （もっと読む）

【課題】２ステージレーザ装置のレーザ出力のばらつきを少なくし、より高いレーザ出力安定性、より高いレーザ出力を得る。
【解決手段】発振段レーザ装置１００で放電励起されるレーザビームの断面プロファイルおよび増幅段レーザ装置２００で放電励起されるレーザビームの断面プロファイルをビームプロファイラ４０１で計測する。計測結果に基づいて、発振段レーザ装置１００で放電励起されるレーザビームの断面と増幅段レーザ装置２００で放電励起されるレーザビームの断面のずれがなくなるように、発振段レーザ装置１００で放電励起されるレーザビームの断面を光軸周りに回転させる調整を調整手段３００（平凸シリンドリカルレンズおよび平凸シリンドリカルレンズの回転機構）によって行う。 （もっと読む）

【課題】本発明のＥＵＶ光源装置は、高い熱負荷状態において、可飽和吸収体を安定して連続的に使用することができる。
【解決手段】可飽和吸収体（ＳＡ）装置３３は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。ＳＡガスボンベ３３４（１）からのＳＡガスとバッファガスボンベ３３４（２）からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路３３３（１）を介して、ＳＡガスセル３３０に供給され、レーザ光Ｌ１に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路３３３（２）を介して排出され、熱交換器３３２に送られる。熱交換器３３２で冷却された混合ガスは、循環ポンプ３３１（１）により、再びＳＡガスセル３３０に送られる。 （もっと読む）

帯域幅選択のための機構は、分散光学要素の反射面に沿って縦軸線方向に延びる入射区域を含む分散反射面を含む本体を有する分散光学要素を含む。本体はまた、本体の第１の縦方向端部に配置された第１の端部ブロック及び本体の第２の縦方向端部に配置された第２の端部ブロックを含み、第２の縦方向端部は、第１の縦方向端部の反対側にある。帯域幅選択機構はまた、分散光学要素の第２の平面上に装着された第１のアクチュエータを含み、第２の平面は、反射面の反対側にあり、第１のアクチュエータは、第１の端部ブロックに結合された第１の端部及び第２の端部ブロックに結合された第２の端部を有し、第１のアクチュエータは、第１の端部ブロック及び第２の端部ブロックに等しくかつ反対の力を印加するように作動する。 （もっと読む）

開示する主題の態様は、プリズムの第１の反射面上にある第１の入射点と、プリズムの第１の反射面及び第２の反射面の間に形成されて面取り面を有する面取りコーナとの間の第１の距離を増大する段階、プリズムの第２の反射面上にある第２の入射点と面取りコーナの間の第２の距離を増大する段階、及びプリズムの面取りコーナの面取り面の反射率を増大する段階のうちの少なくとも１つから構成されるビーム反転器プリズムのレーザ吸収を低減する方法を含む。光学構成要素のプライムカットを判断する方法も開示する。少なくとも１つのプライムカット光学構成要素を含むレーザも開示する。 （もっと読む）

レーザ制御システムは、発振器ガスチャンバ及び増幅器ガスチャンバを収容する。第１の電圧入力は、発振器ガスチャンバ内の電極の第１の対及び増幅器ガスチャンバ内の電極の第２の対に電気パルスを送出するように作動的に接続される。ガスチャンバの出力は、台形ウィンドウにより計算されたエネルギ線量である。制御回路は、第１の電圧入力を変更するために第１の電圧入力に接続される。フィードバック制御ループは、第１の電圧入力を変更するために制御回路にガスチャンバの出力を通信する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器１０は、軸線方向へ整列する２つの放電管１ａ、２ａ、１ｂ、２ｂ、１ｃ、２ｃをそれぞれに有する３つの放電管列３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ５と、放電管１ｃの一端に配置される出力鏡１１を備えるエンドプレート１５と、放電管２ａの一端に配置されるリア鏡１２を備えるエンドプレート１６と、両端がそれぞれエンドプレート１５、１６に固定された４本の支持棒２１〜２４とを備える。放電管連結ホルダ５は、クランプ（剛性部材）２５を介して下側の支持棒２１、２２に固定され、クランプ（弾性部材）２６、２７を介して上側の支持棒２３、２４に連結される。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザガスの充満した励起領域Ｒに対し、共振器を、レーザ光の光軸上に設けられた出力鏡２と、上記励起領域を挟んで出力鏡２の反対側に設けられるとともに、光軸Ｃに対して傾斜するリング状の第１〜第３反射面３ａ〜３ｃの形成された第１反射手段３と、上記励起領域の出力鏡２側に設けられるとともに、貫通孔４ａおよび、光軸Ｃに対して傾斜するリング状の第４、第５反射面４ｂ、４ｃが形成された第２反射手段４とが設けられている。
励起領域Ｒを励起すると、出力鏡２で反射したレーザ光Ｌは、第１反射面３ｃ、第２反射面３ｂ、第４反射面４ｂ、第５反射面４ｃ、第３反射面３ｃ、第３反射面３ｃ、第５反射面４ｃ、第４反射面４ｂ、第２反射面３ｂ、第１反射面３ａ、出力鏡２の順（図示（１）〜（６））で反射するようになっている。
【効果】 組立調整が容易で、かつ出力効率が高いレーザ発振器が得られる。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザを放射するスラブ型炭酸ガス（ＣＯ_２）レーザ装置について、より効率の高い、設置面積を縮小できるレーザ装置を提供する。
【解決手段】スラブ型ガスレーザ媒体部３０の一部を挟んで対向する１対の共振器ミラー１１，１２とカップリング装置で構成され、内部で発振したレーザ光を所定の光強度まで増幅した後にカップリング装置を駆動してレーザ光を増幅器部２０に入射させる発振器部１０と、入射したレーザ光を偏向する入射ミラー２１と、スラブ型ガスレーザ媒体部３０の一部を挟んで対向する折返しミラー２２，２３の間をレーザ光が複数回往復するように構成され、レーザ光を所定の出力をもつレーザ光まで増強して出力する増幅器部２０を備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光用２ステージレーザ装置において、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光用２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と、発振段レーザで発振されたレーザ光を入力してそのレーザ光を増幅して出力する増幅段レーザ６０とからなり、前記発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバーを備えている露光用２ステージレーザ装置において、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、前記増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、該共振器を安定共振器とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と増幅段レーザ６０とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガス流方向の温度分布に伴う光軸の曲がりを抑制しつつ、鏡の角度調整を容易に精度良く行うことを目的とするものである。
【解決手段】第１の筐体内確認用窓２とそれに対向する第２のアパーチャ部材１８との間に位置する第２のダクト１２の光軸方向の端部には、第１の開口が設けられており、この第１の開口には第１の透明部材２１が設けられている。第２の筐体内確認用窓３とそれに対向する第１のアパーチャ部材１７との間に位置する第１のダクト８の光軸方向の端部には、第２の開口が設けられており、この第２の開口には第２の透明部材２２が設けられている。 （もっと読む）