【課題】１台のレーザ発振器において、従来より広範囲なパルス周波数領域を備えたパルスレーザを、簡易な構成で生成可能にするレーザ発振器、及び該レーザ発振器を備えたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】インターフェイスユニット１４内に周波数１００ｋＨｚの第１基準クロック６２と周波数１ＭＨｚの第２基準クロック６４とが設けられる。レーザ出力指令における周波数が数Ｈｚ〜２ｋＨｚ以下である場合には第１基準クロック６２を使用し、レーザ出力指令における周波数が２ｋＨｚを超え１０ｋＨｚ以下である場合には第２基準クロック６４を使用する選定又は切替処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】
エラーが発生したレーザ装置を早急に復旧し、またモジュール交換の労力及びコストを低減する。
【解決手段】
故障診断時に所定のレーザ発振を行うことでエラー状態を再現し、そのレーザ発振の動作結果を用いることによって被検査モジュールの故障診断をする。 （もっと読む）

【解決手段】 Ｑスイッチレーザ発振器４は、回転チョッパ１８を回転させてレーザ光線Ｌを断続的に発振するＱスイッチ装置１４と、レーザ光線の光路上に設けられるとともに、入射したレーザ光線を加工用光路または非加工用光路に切換える切換手段１５とを備えている。
上記回転チョッパには、高ピーク高エネルギー量のレーザ光線を発振させるための第１スリット２１と、低ピーク低エネルギー量のレーザ光線を発振させるための第２スリット２２とが形成され、上記切換手段が上記第１スリットを通過したレーザ光線を加工用光路から非加工用光路に切換えることで、第２スリットを通過した低ピーク低エネルギー量のレーザ光線だけが加工用光路を導光されて基板１に照射されることとなる。
【効果】 レーザ光線の出力形態を速やかに切換えることができる。 （もっと読む）

【課題】放電電極を備えた上部箱体と下部箱体とに用いられる、誘電体や容器の厚さを薄くするとともに、導電体電極から容器の内面までの絶縁距離を短くし、軽量化と小型化と低コスト化とを実現したガスレーザ発振器を得ることである。
【解決手段】レーザガスが封入される第１の容器と、第１の容器内に設けられた、誘電体に導電体電極を密着して形成した放電電極に容器を接合して形成した一対の上部箱体と下部箱体と、上部箱体内部と下部箱体内部とを外気に連通させレーザガスから隔離する接続手段と、接続手段内部を通過して導電体電極に電圧を印加する給電手段とを備え、且つ、上部箱体と下部箱体とが、放電電極の誘電体面を所定の間隔で対向させて設置されたガスレーザ発振器であって、上部箱体内部と下部箱体内部とが、絶縁部材で充填されたものである。 （もっと読む）

本明細書では、発振器キャビティ長Ｌ₀を有して発振器経路を定める発振器と、発振器経路を含んで長さＬ_combinedを有する結合光キャビティを確立するために発振器に結合された多重通過光増幅器とを含むことができる装置を説明し、ここで、Ｌ_combined＝（Ｎ＋ｘ）×Ｌ₀であり、「Ｎ」は整数、かつ「ｘ」は、０．４と０．６の間の数である。 （もっと読む）

【解決手段】 ＱスイッチＣＯ_２レーザ発振器１は、レーザガスＧの充填された放電チャンバ２と、共振器を構成するリヤミラー４および出力鏡３と、レーザ光線を断続的に発振させるＱスイッチ装置５とを備えており、
上記Ｑスイッチ装置５は、内部を清浄な状態に維持されたハウジング１１と、ハウジング内部に設けられた回転チョッパ１２と、上記ハウジングを移動させる移動手段１４と、上記ハウジングに設けられてレーザ光線を透過させるレーザ光透過部材１５とを備え、
上記移動手段により上記ハウジングを移動させることで、回転チョッパのスリットを上記レーザ光線の焦点部分を通過する位置に調整することができる。
【効果】 浮遊する塵等によるレーザ光線の出力低下を防ぐとともに、Ｑスイッチ装置のメンテナンスや位置調整を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】さらなる外部補正を必要としない、円形の擬似回折限界ビームを生成する非対称複合型平面導波路共振器で動作するガスレーザ容器を提供する。
【解決手段】非対称複合型平面導波路共振器として、最小の曲率半径１８２を有している共振器ミラーと、最大の曲率半径を有する共振器ミラー１９２と、ミラー１９２に隣接して、放電に向き合う表面上に加工された球面凹形曲率半径を有している第３のミラー２１２があり、第３のミラー２１２の角度は、レーザ共振器Ｏの光軸に対して傾けられているレーザ共振器から出力を取り出すような角度であり、レーザ共振器Ｏの光軸に平行なガス放電の隣接する部分に沿って、出力ビーム２２２を折り戻し、放電２３２のこの部分は、このとき、追加の導波路ストリップとして働かせ、追加の導波路ストリップ２３２の出口の直後に、空間フィルタ２４２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】多数のアンプユニットからなるレーザ装置を半導体製造ライン等の床面に配置するにあたり、フットプリントを低減し、光路長を短くし、光学素子群を１箇所に集中配置させ、光学素子群のメンテナンス時の作業効率を高め作業者の負担を減らすようにするとともに、振動等の影響を受け難くしレーザ出力を長期的に安定させる。
【解決手段】オシレータユニット１１の筐体と少なくとも１つのアンプユニット２１、２２の筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面１１Ａ、２１Ａ、２２Ａ同士は隣接しかつ対向するようにオシレータユニット１１、アンプユニット２１、２２が配置されている。２つのアンプユニット２３、２４の筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面２３Ａ、２４Ａ同士は隣接しかつ対向するように、アンプユニット２３、２４が配置されている。光学素子群３１は、一体形成されたプレート３２上に配置されて光学素子モジュール３０が構成されている。 （もっと読む）

【課題】光学的なロスを増大させることなく、効果的に出力レーザ光のロングパルス化を図ることができ、所望の強度の出力レーザ光を得ることができる注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法を提供する。
【解決手段】発振段レーザ１０と増幅段レーザ２０とを備える注入同期式放電励起レーザ装置を設ける。増幅段レーザ２０のレーザチャンバ２１は、１つの光共振器と、該光共振器の光軸上に配置された複数の電極ペアである電極２ａ、２ｂと、上記電極ペアの放電タイミングを制御する同期コントローラ３５とを備える。また、同期コントローラ３５は、発振段レーザ１０から出力されたシード光が増幅段レーザ２０に注入されるのと同期して、電極２ａを放電させて増幅発振させ、電極２ａの放電から所定の遅延時間後、電極２ａによる増幅発振が終了する前に、上記電極２ｂを放電させて、増幅発振させる。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価な構成でありながら、レーザ光軸のズレ等により生じる問題点を解決するアパーチャ構造を備えたレーザ発振器を提供する。
【解決手段】モード制限用アパーチャを保護するために、ガードアパーチャ４１〜４３が配置される。各ガードアパーチャの内径は、該ガードアパーチャを挟むモード制限用アパーチャの内径よりもいくらか大きく設定される。この場合、経路３６は、ガードアパーチャ４１及び４３によって遮断され、モード制限用アパーチャ３１及び３４に到達する所望のレーザプロファイル３５に属さない周辺光は減殺される。図３のように光軸がずれた場合においても、アパーチャ３１及び３４の発熱が少なくなることになるので、アパーチャの溶融破損は起こりにくくなる。 （もっと読む）

出力エネルギのターゲット値に比較されたレーザシステムの出力エネルギの値に関連する誤差信号に基づく第１のレーザ作動パラメータ制御信号を提供するレーザシステムエネルギコントローラ、及びレーザシステム出力エネルギの値をターゲット値に変えるのに必要な第１のレーザ作動パラメータの値のエネルギコントローラモデルと、ターゲット値に出力エネルギの値を変えるのに必要な第１のレーザシステム作動パラメータの値に及ぼす第２のレーザシステム作動パラメータの影響のコントローラ信号修正モデルに基づいて、第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号に対する修正を提供する第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号修正器とを含むことができるガス放電レーザシステムエネルギコントローラを含むことができる方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】レーザ管の寿命終止を事前に予測可能とし、装置の稼動停止を防止する。
【解決手段】レーザパワーを低出力状態で駆動してから高出力状態へ切り替えるまでの時間を、通常のレーザ管使用条件下での時間より短縮して高出力状態へ切り替えて、当該レーザ管から出射されるレーザ光のパワーを前記検出手段で検出して、その検出結果に基づいて当該レーザ管が寿命に達したかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ持続時間が異なる場合であっても、レーザを安定して出力可能なミラー角度を設定する。
【解決手段】放電空間の両端に配置されたミラー（６、８）によりレーザを発振するレーザ発振器（１０）が、レーザ発振器を動作させるプログラムからレーザ出力指令と持続時間指令とを読取る読取手段（３５）と、読取手段により読取られたレーザ出力指令と持続時間指令とに基づいてミラーの角度指令値を決定するミラー角度決定手段（３６）と、ミラー角度決定手段により決定されたミラーの角度指令値に応じてミラーの角度を調節するミラー角度調節手段（１６、１８）とを含む。さらに、レーザ発振器を立上げてからレーザを出力した時間を積算してレーザ出力積算時間を算出する積算手段（２０）を具備し、積算手段により算出されたレーザ出力積算時間を持続時間に加算して新たな持続時間としてもよい。 （もっと読む）

【課題】選択的に切替可能な複数の発振モードを有する露光装置において、安定な露光制御を可能にする。
【解決手段】選択的に切替可能な複数の発振モードを有し、各発振モードに応じた発振条件でレーザ光を発振するレーザ光源において、レーザ光を発振する発振器と、複数の発振モード毎にレーザ光の発振を制御するための制御データを有し、複数の発振モードのうち選択された発振モードに対応する制御データに基づいて発振器からのレーザ光の発振を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型で、レーザ光の増幅を効率良く行うことができ、増幅されたレーザ光の集光性に優るドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、発振によりレーザ光を生成するレーザ発振器と、レーザ発振器によって生成されるレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも１つのスラブ型レーザ増幅器とを具備し、少なくとも１つのスラブ型レーザ増幅器が、第１のウィンドウ及び第２のウィンドウを有し、炭酸ガス（ＣＯ_２）を含む気体で充たされたチャンバと、チャンバ内に配置され、高周波電圧が印加されることにより形成される放電領域において気体を励起してレーザ光を増幅する一対の電極と、チャンバ内に配置され、第１のウィンドウから入射するレーザ光を多重反射することにより放電領域内を伝播させて第２のウィンドウから出射させる複数のミラーを有する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】狭帯域発振段レーザからのシード光のほとんどを増幅段レーザの注入光とすることができる露光用狭帯域レーザ装置を提供すること。
【解決手段】狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式放電励起レーザ装置において、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０の間に一方向ビーム発散装置５を設ける。一方向ビーム発散装置５は、シード光を線状に集光させたり、増幅段レーザ（ＰＯ）のＯＣの手前の位置に虚像の集光点を形成させ、集光点から一方向に発散したＭＯレーザ光をシード光として、増幅段レーザ（ＰＯ）の共振器に注入する。これにより、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０からのシード光のほとんどを増幅段レーザ（ＰＯ）への注入光として使用することができ、シード光の注入効率を高くすることができる。 （もっと読む）

レーザーミラーアセンブリは改善されたポインティング安定性を持つ。細長いミラーは凹面反射部分を持つ。一対の細長いプレーナー部分は凹面反射部分の両側に平行に伸びる。前記プレーナー部分は反射部分から段差で低くなっている。ミラーは銅から形成される。一対のステンレス鋼片（４０）はプレーナー部分（２６）に連結される。銅のミラーとステンレス鋼片（４０）に間のバイメタル効果は運転中に起きる加熱の差によるミラーの歪みに対抗する様に作用する。代替的実施の態様において、アルミニウム細片がミラーの裏面に取り付けられる。
（もっと読む）

パルスＣＯ_２レーザは、レーザの基本波長で透過性の音響光学（ＡＯ）物質を含むキャビティ内音響光学（ＡＯ）ＱスイッチでＱスイッチされる。一例では、ＡＯ材料はゲルマニウムである。 （もっと読む）

【課題】 ビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつレーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法を提供する。
【解決手段】 発振段レーザ１０で発振し、増幅段レーザ２０を通過した注入光Ｌａのポインティングと、増幅段レーザ２０単体で発振した増幅段光Ｌｂのポインティングとが重なるように、注入光Ｌａの光軸Ａを調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造を有し且つ安価な外部地絡保護装置を備えたレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザ装置１０は、３相交流電力線により電力が供給される放電励起用電源１１を具備している。この放電励起用電源１１は、その内部に３つの第１のコンデンサ１２ａ、ｂ、ｃを備えている。レーザ装置１０は、第１のコンデンサ１２ａ、ｂ、ｃそれぞれを利用して３相交流電力線の各相と接地との間の電圧を測定する電圧測定手段と、該電圧測定手段により測定された電圧の値と所定の閾値とを比較して、該電圧の値が該閾値を越えた時、３相交流電力線から放電励起用電源１１への電力の供給を遮断する電力遮断手段１８と、から構成される外部地絡保護装置を、有している。 （もっと読む）