【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガスレンズ効果の影響を低減でき、安定したビーム径および光軸を持つレーザ光を供給できるガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガスレーザ装置は、レーザ発振器１と、レーザ発振器１の後段に縦列配置された１つ以上のレーザ増幅器２，１２とを備え、レーザ発振器１は、レーザ光を取り出すための部分反射鏡４を有し、レーザ増幅器２，１２は、レーザ媒質を封止してレーザ光の通過を許容するための全透過鏡８，１３を有し、レーザ発振器１の部分反射鏡４とレーザ増幅器２の全透過鏡８との間に、外気から隔離された空間を形成するためのチャンバー９をさらに備え、チャンバー空間には不活性ガスが封入されている。 （もっと読む）

【課題】増幅利得が高く、かつ簡便な構成で寄生発振を抑制できるガスレーザ増幅装置およびその光軸調整方法を提供する。
【解決手段】ガスレーザ増幅装置は、ＣＯ_２等のレーザガスを封入するための筐体１と、筐体１内に設けられ、レーザガスを励起するための一対の放電電極１５，１６と、筐体１内に設けられ、レーザガスによって増幅されたレーザ光を反射するためのミラー４，５と、筐体１に設けられ、筐体内部と外部の間でレーザ光の通過を許容するためのウインドウ部材２，３などで構成される。ミラー４は、放電領域内を通過した光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー５は、ミラー４によって折り返された光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー４，５は、互いに非平行に設置される。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムと、計測システムとを含む。ビーム送出システムは、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された収束レンズを含む。計測システムは、収束レンズから反射した増幅光ビームの一部分と収束レンズから反射した案内レーザビームの一部分とを集光するように構成された集光システムを含む。集光システムは、これらの部分を光学的に分離するように構成された二色性光デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】送風機や熱交換器など光共振器構成部分以外の構成を最小限とし、かつ最適なフレネル数を得て最適なレーザビームを取り出すことができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】導波路型共振器におけるフレネル数が１以上となる構成を持つスラブレーザ共振器１を複数備え、複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄを積層し、これら複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄのレーザ射出口を隣り合うように配置したものである。 （もっと読む）

多目的筐体を有する電磁放射線の高出力源が開示される。多目的筐体は、少なくとも光源を形成する材料で満たされた内部を含み、レーザーロッドに光励起を提供するために光源によって囲まれるレーザーロッドを包むことができる反射器をさらに含む。光源の外表面を定義する材料は、反射器の外表面にまで伸張するとともに該外表面を定義する。高反射率コーティングは、保護コーティングとして反射器の外表面にわたって配される。同様に、随意のヒートシンクを反射器の外表面に配することもでき、ヒートシンク全体を移動する強制空気の随意の配置によって冷却が行われる。光源は光源ランプであってもよく、高反射率コーティングは反射器を包むように形成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 冷却水温度が上昇し続けることによるレーザ発振器の出力低下アラームによるレーザ発振停止や、負荷過大に伴う冷却装置異常停止等が回避され、加工を継続することが可能となるレーザ加工機システムを得る。
【解決手段】 レーザ加工機システムの有する冷却能力が、レーザ発振器を含むレーザ加工機を構成する機器を冷却するために必要な熱量と同程度あるいは少ない場合において、冷却能力を超える負荷により冷却水温度が上昇する時には、加工条件設定を高い負荷のかかる高出力加工条件から低出力加工条件へ変更する。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振による振動が光学ユニットに伝達されることを抑制する連結ユニット、及びこれを含むレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザを発振する発振ユニットと、前記レーザを取り囲むシャッターユニットと、前記レーザを取り囲んで前記発振ユニットと前記シャッターユニットとの間を連結し、前記発振ユニットに支持されている第１連結部及び前記シャッターユニットに支持されている第２連結部を含む連結ユニットとを含み、前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、前記他の一つの一部以上を取り囲むレーザ発振装置。 （もっと読む）

【課題】高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】このドライバレーザシステムは、ＭＯＰＡ（master oscillator power amplifier）方式に従って構成されたレーザシステム３であって、単一のレーザ発振器３０１においてレーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数の放電励起式ガスレーザ増幅系３０４（１）及び３０４（２）並びに３０５（１）及び３０５（２）において該レーザ光を増幅するレーザシステム３と、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステム３の動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置４とを含む。 （もっと読む）

【解決手段】 ガスレーザ発振器１は、レーザガスが封入されたハウジング２と、ハウジング２内部に設けた筒状の外側電極４と、該外側電極４の内側に設けられて上記外側電極４との間に筒状の放電空間を形成する内側電極５と、上記外側電極４および内側電極５を冷却する冷却手段７と、上記放電空間の軸方向に離隔するとともに異なる磁極が相互に向き合うように配置された永久磁石６ａ、６ｂからなる磁界発生手段６とを備えている。
上記外側電極４と内側電極５との間で放電するとともに、上記磁界発生手段６が磁界を発生させることで、ローレンツ力により上記放電空間のレーザガスを周回させ、さらに上記永久磁石を外側電極４または内側電極５に隣接した位置に設けて、上記電極とともに上記冷却手段７によって冷却する。
【効果】 放電空間内のレーザガスを高速に周回させて効率的にレーザ光Ｌを発振することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置の制御方法において、レーザガスの温度が低くなるとガスの密度が高くなり、送風機の翼車にかかる負荷は増加し、この結果、同期電動機の負荷が増え脱出トルクを超えると脱調し、回転停止に至るという課題を有していた。
【解決手段】レーザガスを圧送する翼車部と当該翼車部を回転させる同期電動機を有した送風機と、同期電動機の回転子磁極位置を算出する磁極位置演算手段と固定子回転磁界を算出する固定子回転磁界演算手段を有して送風機を駆動させる送風機駆動手段とを備えたガスレーザ発振装置において、送風機の同期電動機の回転子磁極位置と固定子回転磁界がなす角度の絶対値が予め設定された値以上あるいは超える場合に、ガス圧制御手段によりガス配管経路内のガス圧力を下げるようにガスレーザ発振装置を制御する。 （もっと読む）

極端紫外光を生成する方法は、標的材料を標的位置に生成し、増幅帯域を有する少なくとも１つの光増幅器の利得媒質にポンピングエネルギーを供給して増幅光ビームを生成し、光学部品の組のうちの１つ又はそれ以上の光学部品を用いて増幅光ビームを利得媒質を通して伝搬させ、光学部品の組のうちの１つ又はそれ以上の光学部品を用いて増幅光ビームを標的位置に送出し、ガイドレーザを用いて利得媒質の増幅帯域外且つ光学部品の波長範囲内の波長を有するガイドレーザ・ビームを生成し、ガイドレーザ・ビームを光学部品の組を通して方向付け、それにより光学部品の組のうちの１つ又はそれ以上の光学部品を光軸調整するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】広いダイナミックレンジで、高速かつ高精度なレーザエネルギー制御を行う。
【解決手段】シングルまたはマルチ縦モードレーザ光を出力する再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡと、再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡの増幅ラインの範囲において、シングルまたはマルチ縦モードレーザ光が発振可能で該シングルまたはマルチ縦モードレーザ光を再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡに入力する半導体レーザ４であるマスタオシレータと、半導体レーザ４から出射されるシングルまたはマルチ縦モードレーザ光の波長が再生増幅器９、プリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡの増幅ラインに一致するようにマスタオシレータを波長制御するとともに、シングルまたはマルチ縦モードレーザ光のパルス波形および／またはパルス出力タイミングを調整する波形制御を行う半導体レーザシステム８と、を備える。 （もっと読む）

レーザは、電極及びレーザビームを生成するための電極間の利得媒体を有する放電チャンバと、部分反射性光カプラと、レーザビームの経路内のビーム修正光学システムとを含む再生リング共振器を含む。ビーム修正光学システムは、近視野レーザビームプロフィールがレーザ内の各開口を均一に満たすように、かつ再生リング共振器の内側の光学要素に熱レンズを誘起する電力でレーザを作動させる時に再生リング共振器が条件つき安定か又は僅かに不安定なままに留まるようにレーザビームのプロフィールを横断方向に拡張する。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。
【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】より短い起動時間で安定した加工性能を発揮できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部でレーザ媒質３に放電を行う放電管１と、前記放電管１を挟む方向に配置した全反射鏡６と部分透過鏡５とで前記レーザ媒質３からのレーザビームをレーザ発振する光共振器と、前記全反射鏡６と前記部分透過鏡５をそれぞれ保持するフランジ７と、前記フランジ７に冷却媒質１４を循環させる冷却配管１３と、前記冷却配管１３に接続した冷却装置１２を備え、前記冷却配管１３に前記冷却媒質１４の流量を調整する流量調整器１５を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストのガス経路内混入およびガス消費量の増加を防止し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０、１１のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段４２と、ガス循環経路１２のレーザガス２を排気する第１ガス排気通路３１と、第１ガス排気通路３１にガス排気量調整手段３３を設け、ギアー室圧力検出手段４２で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第１ガス排気通路３１からのレーザガス２の排気量を減少させるガス排気量調整手段３３を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置の製造方法および保存方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４と、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る銅または真鍮からなる配管を備えたレーザ発振装置の製造方法であって、配管を接続する前に、非アンモニア系化合物および非尿素系化合物からなる洗浄剤で洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工性能を向上でき、かつ安価で信頼性の高いレーザ発振装置およびレーザ加工機装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高電圧電源４を構成するスイッチング素子５を放熱用構造物７に固定し、放熱用構造物７は高電圧電源４の雰囲気温度よりも低温の冷却媒質８を内部に循環させる冷却部を有し、かつスイッチング素子５は電気回路９と接続するリード端子６が同一面に設けられ、スイッチング素子５のリード端子６の引き出し方向が鉛直、あるいは、水平に対して角度４５度から９０度未満となるように放熱用構造物７に取付けたものである。 （もっと読む）