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Fターム[5F172NN16]の内容

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【課題】繰り返し周波数が可変の複数の超短光パルスを備えるパルスレーザビームを生じさせるレーザ光源を提供する。
【解決手段】このレーザ光源は、光パルスを出力するファイバ発振器と、光パルスを受け取るために配置されるパルスストレッチャとを備える。光パルスは光パルス幅を有する。パルスストレッチャは、光パルス幅を拡大し、引き伸ばされた光パルスを生じさせる分散を有する。レーザ光源は、引き伸ばされた光パルスを受け取るように配置されるファイバ増幅器を更に含む。ファイバ光増幅器は、引き伸ばされた光パルスを増幅するための利得を有する。レーザ光源は、光パルス幅を減少させる分散を有する自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサを含む。グレーティングコンプレッサは、異なった繰り返し周波数についてこの分散を自動的に調整する。 (もっと読む)


【課題】比較的狭いスペクトルバンド幅を有するレーザパルスを生成する方法及び装置を提供する。
【解決手段】狭スペクトルバンド幅レーザパルス130を生成する装置100は、シードパルス持続期間を有するシードレーザパルスを生成するためのシードパルスレーザ101と、シードレーザパルスを受け取り、シードレーザパルスを修正し、シードパルス持続期間より長いパルス持続期間を有し、且つ、光周波数正チャープを有する修正されたレーザパルスを生成するための光ストレッチャ110と、修正されたレーザパルスに正常光分散を与える光利得媒体により形成された光増幅器120とを備える。光増幅器120は、正チャープを有する修正されたレーザパルスをあるパワーレベルまで増幅する。このパワーレベルにおいては、自己位相変調により、増幅され修正されたレーザパルスのスペクトルバンド幅を圧縮する。 (もっと読む)


【課題】偏光モード結合の量と偏光モード分散とを減らすと共に偏光保持能を増加させたファイバを提供すること、及び大きな外側クラッドがファイバコア内モード結合の減少を確実にしながらポンプ光が内側クラッド内を導波されるような偏光保持ファイバ、システム及びファイバレーザを提供する。
【解決手段】偏光保持ファイバが、希土類ドープ材料でドープされた、マルチモードファイバコアと、マルチモードファイバコアを囲む第1クラッドと、第1クラッド内に設けられた応力生成領域であって、ファイバの特定の長さの範囲において波形歪みを生じさせることなく、マルチモードファイバコアにシングルモードの光を伝搬させる大きさの複屈折を、マルチモードファイバコアに生成する応力生成領域とを備える。 (もっと読む)


【課題】高いパルス伸長率と圧縮率を有する生産性の良いファイバチャープパルス増幅器システムを提供することにある。
【解決手段】コア領域と、コアを取り囲む材料クラッド領域と、材料クラッド領域を実質的に取り囲む空気クラッドと、空気クラッドを取り囲む層とを備える偏光保持空気クラッドファイバであって、ファイバの偏光保持動作は、空気クラッドファイバ中に応力誘起複屈折を生成し前記材料クラッド領域の完全に内部に配置され材料クラッド領域により完全に取り囲まれている応力形成領域を組み込むことにより達成される、偏光保持空気クラッドファイバを提供する。 (もっと読む)


【課題】禁水が必要な場所で使用可能であるYAGレーザー発振装置を提供する。
【解決手段】 筐体と、前記筐体の内部に設置されたレーザー本体と、前記筐体の内部の空気の温度を略一定に調整する温度調整機構と、前記筐体の内部の空気を前記レーザー本体の前記カバーによって囲まれた内部に送り込む第1送風機構と、前記筐体の外部に設置され、前記筐体の内部の空気を前記レーザーポンプチャンバーの内部に送り込む第2送風機構と、を備えたことを特徴とするYAGレーザー発振装置。 (もっと読む)


【課題】チャープパルス増幅システムにおける3次分散を補償する。
【解決手段】光学結晶ファイバパルスコンプレッサ内で偏光モード分散と色分散とを補償することにより、全ファイバ型チャープパルス増幅システムから高いパルスエネルギーを得ることができる。ファイバ増幅器内で、自己位相変調によって3次分散を誘発することで、バルク型格子パルスコンプレッサからの3次色分散を補償し、ハイブリッドファイバ/バルク型チャープパルス増幅システムのパルス品質を向上させることができる。最後に、負分散ファイバ増幅器内で正チャープパルスを増幅することで、アンチストーク周波数シフトを介して、低雑音の波長調整可能なシード光源を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するEUV光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、(i)短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、(ii)レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも1つのCOレーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、COレーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも1つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 (もっと読む)


【課題】再生増幅器の動作中にトリガ信号を得られなくなった場合に、光増幅媒質等の損傷を簡易な構成によって防ぐ。
【解決手段】光増幅装置1は、光増幅部10を備える。光増幅部10は、パルス光を共振させる光共振器と、光増幅媒質11と、パルス光を光共振器の外部へ取り出す光取り出し手段21とを含む。光取り出し手段21は、電気光学効果によってパルス光の偏光状態を制御する光変調部151を含む。光増幅装置1は、光変調部151に駆動電圧Vdを供給する電圧供給部70と、制御信号Scを電圧供給部70に与える駆動制御部80とを備える。駆動制御部80は、種光に同期したトリガ信号から制御信号Scを生成するとともに、トリガ信号の異常を検知した際に、所定の周期で又は連続して駆動電圧Vdを出力させるための代替信号Scdを制御信号Scに代えて電圧供給部70に与える。 (もっと読む)


【課題】比較的短いパルス幅のパルスレーザ光を小型且つ簡素な構成で、安定して増幅して出力することを可能にする。
【解決手段】再生増幅器は、光共振器を形成する一対の共振器ミラーと、一対の共振器ミラー間に配置され、所定波長のレーザ光を増幅するスラブ増幅器と、スラブ増幅器内をレーザ光が往復通過するマルチパスを形成するよう配置され、レーザ光の第1の位置における光学像をレーザ光の第2の位置における光学像として転写する、光学システムと、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所51,52より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所51,52を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所51,52があって2つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 (もっと読む)


【課題】従来技術の問題及び限界を解決したチャープパルス増幅器を提供すること。
【解決手段】モードロックレーザと、その出力端に結合された、第1および第2の出力端を有する偏光保持ビームルータと、偏光保持ビームルータの第1の出力端に結合された、パルス伸長のための偏光保持分散補償ファイバと、偏光保持分散補償ファイバに結合された第1の増幅器と、第1の増幅器に結合された第1のパルス選別器と、第1のパルス選別器に結合されたファラデー回転子ミラーと、偏光保持ビームルータの第2の出力端にビームスプリッタを通して結合された第2の増幅器とを備えるチャープパルス増幅器である。モードロックレーザが偏光保持ビームルータに入力する入力パルスは、ファラデー回転子ミラーにより反射されて偏光保持ビームルータに戻り、次いでそこから出力されて第2の増幅器に入射される。第1のパルス選別器は、光導波路を有する集積化変調器を備える。 (もっと読む)


本発明は、パルス照射源2から中心波長1を持つ照射パルス10を入力し、各々の入力する照射パルスに対し複数のサブパルス11、12、15、17を出力するのに適したパルススプリット装置5に関する。前記入力した照射パルス及び前記パルススプリッタ5は、第1及び第2のサブパルス11、12が第1の領域における第1の光路長OP1及び第2の領域における第2の光路長OP2により夫々、時間的に分離されるように相互作用する。前記第1の材料における波長に対して第1の光路長OP1かける群速度分散GVD1は、第2の材料における波長に対して第2の光路長OP2かける群速度分散GVD2に均衡しているので、前記第1及び第2のサブパルス11、12の分散の広がりは略等しい。これは、両方のサブパルスにより改善される後続する分散補償を容易にする。
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【課題】高効率で安定してEUV光を発生させることができるEUV光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】このドライバレーザシステムは、MOPA(master oscillator power amplifier)方式に従って構成されたレーザシステム3であって、単一のレーザ発振器301においてレーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数の放電励起式ガスレーザ増幅系304(1)及び304(2)並びに305(1)及び305(2)において該レーザ光を増幅するレーザシステム3と、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステム3の動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置4とを含む。 (もっと読む)


【課題】安価で汎用性に優れ、安定したモード同期動作による光パルスを発生できる光パルス発生装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、光利得手段10、光遅延手段20、波長選択手段30を含み、光を周回させるレーザ共振器1と、レーザ共振器1で生成された光を制御用の第1レーザ光と出力用の第2レーザ光とに分岐する光分岐手段40,50と、分岐された第1レーザ光を光電変換する光電変換手段60と、光電変換手段60の出力の周波数成分から第1レーザ光の繰返し周波数の自然数倍に等しい周波数成分を基準信号として出力する帯域制限手段70と、帯域制限手段70から出力される基準信号に基づいて、レーザ共振器1中を光が一周する時間が、波長選択手段30における透過波長の掃引周期の自然数倍と等しくなるように、波長選択手段30の掃引周期を制御する波長調整手段80と、を有する。 (もっと読む)


本発明は、光撮像のための走査パルスレーザシステムに関する。コヒーレントデュアル走査レーザシステム(CDSL)とその適用例を開示する。高集積化構成を含む種々の実施例について例示する。少なくとも一実施形態において、コヒーレントデュアル走査レーザシステム(CDSL)は、2つの受動的モードロックファイバ発振器を備える。発振器は、繰り返し率の差δfrが発振器の繰り返し率の値fr1及びfr2と比較して小さくなるように、わずかに異なる繰り返し率で動作するように構成される。また、CDSLシステムは、各発振器に光接続された非線形周波数変換部を備える。変換部は、あるスペクトル帯域幅を有し、前記発振器の繰り返し率の高調波からなる周波数コムを有する周波数変換スペクトル出力を発生させる非線形光学素子を備える。CDSLは、光撮像、顕微鏡検査法、顕微分光法、及び/又は、THz撮像のうちの1以上のための撮像システムに配置することができる。
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【課題】短いパルス幅で高いエネルギのパルスレーザ光を出力することができるパルスレーザ装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザ光源1は、励起光源10、レンズ11〜13、ダイクロイックミラー14、アンプ媒質21、第1反射部22、レーザ媒質23、第3反射部24、可飽和吸収体25および第2反射部26を備える。反射部22および反射部26は、レーザ媒質23,反射部24および可飽和吸収体25を共振光路上に有するレーザ共振器を構成している。また、アンプ媒質21、反射部22、レーザ媒質23、反射部24、可飽和吸収体25および反射部26は、順に配置されて一体化されている。 (もっと読む)


【課題】簡明な構成で、ASEノイズを低減可能なパルスレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明のパルスレーザ装置1は、シード光を発生するレーザ光源10、シード光を増幅する光増幅器30、第1〜第4ポートP1〜P4に、それぞれ光増幅器の入射口31a、出射口31b、レーザ光源10、導出光学系45が接続された2×2光スイッチ20と、制御装置50とを備えて構成される。制御装置50は、第1パルス信号を出力し第1ポートP1と第3ポートP3とを接続してシード光を光増幅器30に入射させ、増幅光が第2ポートP2に到達するタイミングに第2パルス信号を出力し第2ポートP2と第4ポートP4とを接続してパルス状の増幅光を導出光学系45から出力させるように構成する。 (もっと読む)


【課題】本発明のEUV光源装置は、熱によって変化する、レーザ光の波面を適切に補正する。
【解決手段】レーザ発振器20から出力されるレーザ光を増幅させるための増幅システム30内に、少なくとも一つ以上の波面補正器34と、センサ36とを設ける。センサ36は、レーザ光の角度(方向)や波面の曲率の変化を検出して出力する。波面補正コントローラ(WFC-C)50は、センサ36の計測結果に基づいて、波面補正器34に信号を出力する。波面補正器34は、波面補正コントローラ(WFC-C)50からの指示に従って、レーザ光の波面を所定の波面に修正する。チャンバ10内にレーザ光を供給する集光システム40内にも、別の波面補正器及びセンサを設けることができる。 (もっと読む)


【課題】比較的単純な構成により、SNRを向上できる小型で安定性が高く、経済性に優れたパルス光源装置およびこれを用いたイメージング装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ(10)および電気パルス発生装置装置(20)から構成される光パルス列を出射する光パルス源と、光パルス列とは異なる波長を有する励起光を出射する励起光源(30)と、光パルス列と励起光とを合波する光カプラ(40)と、光パルスの時間幅を圧縮する光ファイバ(50)と、光パルス列を増幅する光増幅手段(60)とを含んで光パルス光源装置を構成し、励起光源(30)から出射した励起光を光ファイバ(50)における誘導ラマン散乱増幅の励起光として使用するとともに、光増幅手段(60)における励起光として使用し、光パルス列を増幅するようにする。 (もっと読む)


【課題】 高いパルス伸長率と圧縮率を有する生産性の良いファイバチャープパルス増幅器システムを提供することにある。
【解決手段】 短光パルスを発生する種パルス光源、パルスを伸長する伸長器、及び複数の鎖状につながった偏光を保持しているファイバ区分とからなり、その偏光保持ファイバの少なくとも1つは増幅器であるチャープパルス増幅システムにより、課題が達成される。 (もっと読む)


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