【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】スペクトル線幅を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、出力するレーザ光のスペクトル線幅を調節可能なレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光の光強度を調節可能な減衰部と、を備えてもよい。前記減衰部は、レーザ光の入射位置に依存して透過率が変化する可変アッテネータと、前記レーザ光の入射位置が変化するように前記可変アッテネータを移動させる移動機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】光出力信号が安定化しているか否かを自動で判定でき、利便性の向上が図れる安定化判定方法を提供する。
【解決手段】安定化判定方法は、レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき共振器長を変化させてレーザ光の発振周波数を特定の飽和吸収線に安定化させるレーザ周波数安定化装置に用いられる光出力信号の安定化判定方法である。レーザ周波数安定化装置は、吸収セルを介したレーザ光を光出力信号に変換する変換装置と、共振器長を変化させるアクチュエータと、アクチュエータの動作を制御する制御装置とを備える。安定化判定方法は、制御装置が、光出力信号を解析する信号解析ステップＳＴ２と、信号解析ステップＳＴ２の解析結果に基づいて、光出力信号が安定化しているか否かを判定する安定化判定ステップＳＴ３とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を出力する。
【解決手段】マスタオシレータシステムは、光共振器の一方の共振器ミラーとして機能するグレーティングと、前記共振器ミラー間の光路上に配置された光学素子と、前記光学素子の姿勢を調節することで前記光共振器内を進行するレーザ光の前記グレーティングへの入射角を調節する姿勢制御機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】紫外線のレーザ光の波長の検出精度を高めた波長検出器を提供すること。
【解決手段】レーザ光を拡散させる拡散素子と、拡散素子の下流に設けられる集光光学系と、集光光学系の下流に設けられ、アパーチャを備える部材と、部材の下流に設けられ、貫通孔がそれぞれ形成された筒状のアノードおよびカソードを含み、アノードに直流電圧を印加した状態で所定の第１の波長のレーザ光がカソードの貫通孔を通過するときに、オプトガルバニック効果によってアノードとカソードの間の電気的特性が変化するように構成された放電管と、前記アノードに直流電圧を印加するよう構成された高圧直流電源とを備える。アパーチャを通過するレーザ光が放電管のカソードに直接照射することなくカソードの貫通孔を通過するように放電管が配置されている。 （もっと読む）

【課題】２次微分信号にノイズが重畳しているか否かを判定し、飽和吸収線を良好に認定できる飽和吸収線判定方法を提供する。
【解決手段】飽和吸収線判定方法は、光出力信号Ｓ１の２次微分信号Ｓ２の出力値と第１閾値とを比較する第１比較工程ＳＴ２Ａと、光出力信号Ｓ１の出力値と第２閾値とを比較する第２比較工程ＳＴ２Ｂと、第１比較工程ＳＴ２Ａ及び第２比較工程ＳＴ２Ｂの比較結果に基づいて、飽和吸収線であるか否かを判定する吸収線判定工程ＳＴ２Ｃ，２Ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】周波数安定化レーザ・システムを提供する。
【解決手段】レーザー安定化システム１００は、第１の端部及び第２の端部を備えたレーザー源１０４と、第１の端部及び第２の端部を備えた第１の導波管部であって、第１の導波管部の第１の端部がレーザー源１０４の第１の端部に結合される第１の導波管部と、第１の端部及び第２の端部を備えた第２の導波管部であって、第１の導波管部の第１の端部がレーザー源１０４の第２の端部に結合される第２の導波管部と、第１の導波管部の第２の端部と第２の導波管部の第２の端部との間に結合された共鳴振動数を備えたマイクロキャビティ１０２から成る。さらに、マイクロキャビティ１０２とレーザー源１０４との間に結合された電子ロッキングループ１０８が、レーザー源１０４をマイクロキャビティ１０２の共鳴振動数に電子的にロックする。 （もっと読む）

【課題】高繰返し率ガス放電レーザ用の改良されたスペクトル測定を提供する。
【解決手段】レーザから射出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力と、レーザから射出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光帯域幅モニタと、光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として第１の出力及び第２の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、を含むことができ、多変数方程式は対称性に敏感な項を含む、レーザから射出され、帯域幅計測器に入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器の装置及び方法が開示される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の発振周波数が特定の飽和吸収線に安定化しているか否かを良好に判別できる安定化判別器を提供する。
【解決手段】安定化判別器４０は、レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき共振器長を変化させてレーザ光の発振周波数を特定の飽和吸収線に安定化させるレーザ周波数安定化装置に用いられる。この安定化判別器４０は、光出力信号の２次微分信号Ｓ２の出力値に基づいて、発振周波数の安定状態を判別する第１判別手段５０と、共振器長を変化させるアクチュエータへの操作量Ｖcの変化に基づいて、発振周波数の安定状態を判別する第２判別手段６０と、第１，第２判別手段５０，６０による判別結果に基づいて、発振周波数が特定の飽和吸収線に安定化しているか否かを判別する第３判別手段７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、スペクトル幅の拡張と増幅率の向上とを図ることができる光共振器を提供する。
【解決手段】実施形態に係る光共振器は、第１の反射面を有する第１の反射部と、前記第１の反射面に対向する第２の反射面を有する第２の反射部と、前記第１の反射部の前記第１の反射面とは反対側の面に入射させる光を複数の波長成分に分散させる分散部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】 高出力のパルスレーザ光を生成することが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】 レーザ装置１ではチャネル増幅器１４において、レーザ装置１Ａではスラブ型固体レーザ装置４４において、連続光であるレーザ光Ｌ_１のそれぞれを増幅する。このため、パルスレーザ光を増幅する場合に比べて、増幅率を高く設定できる。そのように増幅されたレーザ光Ｌ_２のそれぞれを回折格子１６の集光位置Ｐ_１で合波して合波光Ｌ_３を生成する際に、集光位置Ｐ_１において合波光Ｌ_３の出力のピークが（同じパルス時間波形が）所定の時間間隔で繰り返し現れるように、レーザ光Ｌ_１のそれぞれの位相を制御する。これにより、回折格子１６の集光位置Ｐ_１において、増幅された複数のレーザ光Ｌ_２によりパルスレーザ光が生成される。よって、このレーザ装置１によれば、高出力のパルスレーザ光を生成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価に構成でき、迅速な評価測定が行えるようにする。
【解決手段】波長可変レーザ光源２２から出射されたレーザ光Ｐｒを、ファブリペローエタロン型の光フィルタ２５に入射させた状態でレーザ光の波長を変化させ、その光フィルタ２５の光周波数対透過率の変化を表す選択特性を求めて記憶する。また、被測定レーザ光Ｐｉｎを光フィルタ２５に入射させたときの透過率を求め、その被測定レーザ光の周波数変動に伴う透過率の変化の領域が、光フィルタ２５の波長選択特性の最大透過率と最小透過率の間の単調変化領域となるように光フィルタ２５の共振周波数を調整し、その後に被測定レーザ光に対する光フィルタ２５の透過率の変化を求め、その透過率の変化と波長選択特性に基づいて、被測定レーザ光の周波数変動特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】周波数安定化制御システムの安定性を改善するため、変調信号と検波用の基準信号とを位相同期させてロックイン検波器での位相同期検波を実現すること。
【解決手段】周波数安定化レーザー光源において、基準信号から正弦波の変調信号を生成する変調信号生成器２１は、矩形波の基準信号とフィードバック信号との位相差を電圧出力する位相比較器３２と、位相比較器３２の電圧出力によって出力信号の周波数を調整する電圧制御発振器３４と、電圧制御発振器３４の出力信号から正弦波信号を生成する正弦波発振器３６とを有し、ループ回路により形成される。正弦波信号を位相比較器３２へのフィードバック信号にして、位相比較器３２での位相差が零となるように電圧制御発振器３４の出力周波数が調整されるようにした。 （もっと読む）

【課題】常に安定にレーザ光の出力を検出可能な紫外線レーザ装置用エネルギー測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の出力を検出する光検出器(37)と、光検出器(37)の前方に配置され、光検出器(37)に入射するレーザ光を拡散させる拡散板(36)とを備えたレーザ装置用エネルギー測定装置において、紫外線光を予め照射し、拡散板(36)の透過率の変化を略飽和させた拡散板を用いることを特徴とする、レーザ装置用エネルギー測定装置。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように、凹レンズ３３と凸レンズ３４間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 （もっと読む）

【課題】高精度化と安定度の向上を図りながら、国際度量衡委員会（ＣＩＰＭ）の勧告値に沿った無変調レーザ光の出力が可能となる。
【解決手段】レーザ光の周波数が安定化された無変調安定化レーザ装置１００において、無変調のレーザ光を発生させるレーザ光源１０２と、周波数基準となる原子時計１０６からの出力に同期した周波数間隔ｆｒに従い周波数軸上で櫛状に並んだ複数のモード（光周波数コム）を発生させる光周波数コム発生器１０８と、を備え、光周波数コムのうちの１のスペクトル成分とレーザ光とが混合されることで光ヘテロダインが行われてビート信号が生成され、原子時計１０６からの出力を計数基準としてビート信号が計数され、計数された値が特定の一定値となるようにレーザ光源１０２が制御される。 （もっと読む）

【課題】 広帯域にわたる波長掃引を高速に行い得る光源装置を提供する。
【解決手段】 第１の光共振器を備えたレーザ発振器と、該第１の光共振器に入力部が互いに並列に接続された複数の第２の光共振器と、該第２の光共振器の出力部を介して光を取出す光取出し部と、該光取出し部を経由した光を合波する合波部と、を備え、前記複数の第２の光共振器を経由した光を前記合波部より出射する光源装置であって、前記複数の第２の光共振器内にはそれぞれ、屈折率分散を有する光学部材と、光増幅媒体と、が配されており、該光増幅媒体が、互いに異なる最大利得波長を有する光源装置。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）