【課題】発振スペクトル分布が狭いレーザ光を実現可能なモード同期レーザ光源装置を提供する。
【解決手段】
注入電流Iが注入されてキャリアが生成されかつキャリアの消費によりレーザ光Pのパルスを増幅すると共にキャリアの密度変化によりレーザ光Pのパルス強度に依存する自己位相変調と等価な位相変調を生じる半導体光増幅器１と、半導体光増幅器１から射出されるレーザ光Pのパルスの発振波長を可変とする掃引用変調部３と、掃引用変調部３により変調されたレーザ光Pのパルスを半導体光増幅器１に帰還させてレーザ発振現象を生じさせるリング共振器６と、異常分散領域で用いられかつリング共振器６を導波中のレーザ光Pのパルスの波長に依存してレーザ光Pのパルスの帰還時間を変化させる分散補償器５とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 波長掃引の高速化と、発振スペクトル線幅の狭小化と、を同時に達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体を備えた光共振器と、前記光利得媒体より放出された光を波長に応じて分散させる分散素子と、前記分散素子を経た特定の波長の光を反射または透過する波長選択部と、を有する光源装置であって、前記光利得媒体より放出された光が前記光共振器内を一往復する間に前記波長選択部で複数回の波長選択がなされ、該複数回の波長選択により得られた重複した波長帯域の光を出射させる光源装置。 （もっと読む）

【課題】簡易で作製が容易な構成により、共振器内の実効的な利得を所定の形状にでき、発振スペクトルを測定に適した形状にすることが可能となる波長掃引光源装置を提供する。
【解決手段】共振器を構成する一方反射部である第２の反射部が、波長分散素子により与えられる空間的分散の方向に対し非平行な方向に移動可能に構成され、その移動する位置に応じて反射する波長が変化し、時間と共に発振波長が変化する波長掃引光源装置であって、
第２の反射部は、第２の反射部が非平行な方向へ移動して第２の反射部上での反射位置が移動した際、移動する位置に依存した反射率または透過率分布を有し、第２の反射部の反射率が、反射させる波長によって異なる反射率分布となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】偏光モード結合の量と偏光モード分散とを減らすと共に偏光保持能を増加させたファイバを提供すること、及び大きな外側クラッドがファイバコア内モード結合の減少を確実にしながらポンプ光が内側クラッド内を導波されるような偏光保持ファイバ、システム及びファイバレーザを提供する。
【解決手段】偏光保持ファイバが、希土類ドープ材料でドープされた、マルチモードファイバコアと、マルチモードファイバコアを囲む第１クラッドと、第１クラッド内に設けられた応力生成領域であって、ファイバの特定の長さの範囲において波形歪みを生じさせることなく、マルチモードファイバコアにシングルモードの光を伝搬させる大きさの複屈折を、マルチモードファイバコアに生成する応力生成領域とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、該マスタオシレータから出力された前記パルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータと前記増幅装置とを制御するコントローラとを備えてもよい。前記マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも１つの光シャッタと、を備えてもよい。前記コントローラが、前記光シャッタを通過したパルスレーザ光が前記増幅装置を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記光シャッタの開閉と前記増幅装置の放電とを制御してもよい。 （もっと読む）

【課題】 眼底用ＯＣＴ装置に適した短い波長で高速に波長挿引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光増幅媒体と、光共振器と、を備えた発振波長を変化可能な光源装置であって、前記光共振器は、前記光増幅媒体の一方の側に位置する第一の反射部材と、前記光増幅媒体の他方の側に位置する第二及び第三の反射部材を有して構成され、該第二及び第三の反射部材は前記光増幅媒体で増幅された光の光束を該光束の径方向に空間的に分離した状態で前記光増幅媒体方向に反射するものであり、第一の反射部材と前記光増幅媒体と第二の反射部材とを含んで規定される第一の光路と、第一の反射部材と前記光増幅媒体と第三の反射部材とを含んで規定される第二の光路と、の光路長差を可変とする光路長差調整部材により前記光路長差を変化させて前記発振波長を変化させる光源装置。 （もっと読む）

【課題】 発振スペクトル線幅の狭小化と、波長掃引範囲の広帯域化と、を同時に達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体と屈折率の波長分散を有する光導波路とを含んで構成される光共振器と、該光共振器内における光の強度を変調する光変調器と、を備え、該光変調器の変調周波数に応じて光パルスの発振波長が変化する光源装置であって、
前記光変調器が、前記光変調器を透過する光の透過率を調整可能であり、かつ、前記光変調器を透過する光の透過時間のデューティー比が５０％未満であることを特徴とする光源装置。 （もっと読む）

【課題】Ｑスイッチ式ファイバレーザから、パルスエネルギーが高く、かつパルス幅が１００ｎｓ〜５００ｎｓ程度と広い光パルスを得るために、共振器内を伝搬する光パルスの周回時間を長くした場合に生じる出力光パルスのうねりをなくし、うねりのない出力光パルスを生成するＱスイッチ式ファイバレーザを提供する。
【解決手段】Ｑスイッチ式ファイバレーザの共振器内に、分岐手段と伝搬距離延長手段とを有する部分的フィードバック光路を設け、前記分岐手段は、前記部分的フィードバック光路に入射した光パルスを一定の光パワー比で、部分的フィードバック光路から出射して、前記共振器内に戻る光パルスと前記伝搬距離延長手段に出射する光パルスとに分岐させるように構成され、また伝搬距離延長手段は、入射してきた光パルスを一定の光路長内で伝搬させることにより伝搬距離を延長して、再び前記分岐手段に入射させるように構成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】パルス発光開始から安定したパルス光を出力することができるファイバレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】レーザ活性物質を含むファイバとその両端にファイバグレーティングを設けたレーザ共振器と、このレーザ共振器の一端に励起光を入射する励起用レーザ光源と、この励起用レーザ光源から励起光が出力するための電流を供給するレーザ駆動部と、このレーザ駆動部から出力する電流を制御するレーザ制御部と、を備え、前記レーザ制御部は、前記レーザ共振器からパルス光を出力する直前に、前記レーザ共振器がレーザ光を出力するための閾値電流より大きい第１の電流を与え、前記第１の電流を停止した後に休止期間を設けた後、
パルス光を出力するための前記第１の電流より大きい第２の電流を前記励起用レーザ光源に与えるレーザ制御部と、から成るファイバレーザ光源装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】従来技術のＫＴＮを使わない偏向光源では、ビーム径を十分に太くできた。ＫＴＮ等を用いた光ビームスキャナを利用する場合、実用的な制御電圧の制限のためビーム径を細く絞る必要がある。ビーム径が細い状態で伝播する光ビームは、回折のために電気光学偏向器から出た後で、伝播するにつれビーム拡がりを生じる。偏向光源の偏向範囲における解像点数が十分に確保できない問題があった。
【解決手段】本発明の偏向光源は、全体にレーザ発振器部と角度分散部とから構成される。レーザ発振器部は、第１の回折格子を含む波長可変型光源を構成する。レーザ発振器部は、波長軸上で非常に大きい分解点数を持つ。レーザ発振器部の出力光ビームは出力結合鏡から出射される。出力ビームは、角度分散部においてより太いビーム径に変換された後、第２の回折格子に入射し、波長軸上で非常に大きい分解点数を維持したままでレーザ発振器の波長変化が空間的な偏向に変換される。 （もっと読む）

【課題】電磁放射線をフィルタリングする装置および発信装置構成を提供すること。
【解決手段】電磁放射線をフィルタリングする装置および発信源構成は、電磁放射線の周波数に基づいて当該電磁放射線の１つ以上の成分を物理的に分離するよう構成された少なくとも１つのスペクトル分離構成を備える。また、前記１つ以上の成分に関連する少なくとも１つの信号を受信するよう構成された少なくとも１つの連続回転光学構成を備える。さらに、前記信号を受信するよう構成された少なくとも１つのビーム選択構成を備える。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように、凹レンズ３３と凸レンズ３４間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）