【課題】 長時間の連続成膜により長尺の酸化物超電導線材を製造する際に超電導特性の劣化を防いで高品質の長尺酸化物超電導線材を製造することができる製造装置の提供。
【解決手段】 長尺基材３を収容する処理容器と、長尺基材を巻回する巻回部材を複数個同軸的に配列してなる少なくとも一対の巻回部材群５と、これらの巻回部材群に巻回された長尺基材に近接して設けられたターゲットホルダと、該ターゲットホルダに保持されるターゲット９にレーザ光を照射するレーザ光発光手段とを備え、レーザ光をターゲットの表面に照射して生じた蒸着粒子を、巻回部材群に巻回されこれらの巻回部材群を周回することによって複数列が接近した状態で平行に並べられた長尺基材の表面に堆積させる装置において、巻回部材群に、それぞれの巻回部材の外周部に堆積される蒸着粒子を削り落とす研磨部材２３が取り付けられたことを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】 酸化物超電導層上に厚いＡｇ安定化層を有し、優れた超電導特性を有する安定化層付き酸化物超電導線材とその製造方法の提供。
【解決手段】 テープ状の基材１上に成膜法により多結晶中間薄膜２と酸化物超電導層３を形成し、次いでこの酸化物超電導層上に成膜法によりＡｇＯ層１０を成膜して被処理線材１１を作製し、次いでこの被処理線材を酸素雰囲気中において熱処理し、ＡｇＯ層をＡｇ安定化層に変換するとともに、この変換により生じる酸素を酸化物超電導層に供給する酸素アニール工程を施して酸化物超電導線材１２を製造することを特徴とする安定化層付き酸化物超電導線材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 長時間成膜しても長手方向の超電導層膜厚分布が均一となり、超電導特性が長手方向で均一な酸化物超電導線材を製造することができる製造方法及び製造装置の提供。
【解決手段】 蒸着処理室内に設けた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲット１５にレーザ光３０を照射して前記ターゲットから発生させた粒子を前記ターゲット近傍を移動中のテープ基材上に堆積させて超電導層を形成する際に、異なる場所のターゲットの構成粒子が叩き出されるか蒸発するように前記ターゲットをその中心軸を中心に回転させる回転運動と前記ターゲットを前記中心軸と交差する面に沿って移動させる並進運動を併用してレーザ蒸着を行い酸化物超電導線材を製造する方法において、前記ターゲットの並進運動の移動範囲をレーザ蒸着の経時とともに縮小することを特徴とする酸化物超電導線材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 厚膜化に伴う臨界電流の増加量を向上させることができる超電導薄膜材料、超電導線材およびこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面が平滑化処理された第１の超電導薄膜と平滑化処理された第１の超電導薄膜の表面上に形成された第２の超電導薄膜とを含む超電導薄膜材料である。また、基板と基板上に形成された中間層と中間層上に形成された超電導層とを含み、超電導層は上記の超電導薄膜材料からなる超電導線材である。さらに、上記の超電導薄膜材料の製造方法および超電導線材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 超電導特性に優れた酸化物超電導線材を安定して製造可能な製造方法及び製造装置の提供。
【解決手段】 レーザ光２５が入射される透明窓２４を有する処理容器１０と、該処理容器の蒸着処理室１０ａ内に設けられた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲット１２と、蒸着処理室内にターゲットと対向して設けられたテープ基材加熱用の熱板２８と、該熱板上にテープ基材１１をその長手方向に沿って移動させる送出装置１８及び巻取装置１９と、熱板とターゲットの間に窓孔が位置するように設けられたスリット板２７と、透明窓を通してターゲットに向けてレーザ光を照射するレーザ発光装置とを備え、スリット板の窓孔周縁部に、窓孔周縁部により覆われる熱板の局部昇温を防いでテープ基材の表面温度分布を均一に維持する冷却手段を設けたことを特徴とする酸化物超電導体の製造装置。 （もっと読む）

【課題】炭素を含む銅酸化物超伝導体の薄膜が、より高いＴｃを備えた状態で得られるようにする。
【解決手段】結晶基板１０１の表面に酸素ラジカル及び二酸化炭素からなる反応ガス１２１が供給された（吹き付けられた）状態とし、この後、結晶基板１０１が５５０℃程度に加熱された状態とし、また、Ｂａ，Ｃａ，Ｃｕ），及びフラーレンＣ₆₀の各蒸着源を、所定温度にまで加熱して蒸発させ、金属原料１２２が結晶基板１０１の表面に供給された状態とすることで、結晶基板１０１の上に、Ｔｃが８５Ｋと高い超伝導転移臨界温度を示す酸化物超伝導薄膜１０２が形成された状態が得られる。 （もっと読む）

本発明の目的は、叙上の従来の問題を解消し、優れた性能を示す酸化物超伝導体を低い基板温度で成膜した酸化物超伝導体薄膜素子を提供することである。本発明は、少なくとも基板と酸化物超伝導体薄膜から構成され、該酸化物超伝導体薄膜が、Ｙｂ_１−ｘＮｄ_ｘＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_７−ｙであって、ｘが０．０１〜０．３０、ｙが０．００〜０．２０である組成を有し、結晶粒のｃ軸が基板に垂直に配向された酸化物超伝導体薄膜素子に関する。
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【課題】 基板上に形成された膜の特性を向上させることが可能な薄膜材料およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 超電導線材１は、基板２と、基板上に形成された１層または２層以上の中間薄膜層（中間層３）と、中間薄膜層（中間層３）上に形成された単結晶性薄膜層（超電導層４）とを備える。中間薄膜層（中間層３）のうちの少なくとも１つにおいて単結晶性薄膜層（超電導層４）と対向する上部表面（被研磨面１０）は研磨加工されている。 （もっと読む）

基板１０と、該基板１０の上に横たわるバッファ層１２ａと、該バッファ層１２ａの上に横たわる超伝導体層１４ａと、該超伝導体層の上に横たわるキャッピング層１６ａと、該キャッピング層１６ａの上に横たわる電気メッキされた安定化剤層１８ａとを含む超伝導テープ（１）が開示されている。また、超伝導テープを組み込んだ要素、それを製造する方法、及びそれを利用する方法も開示されている。
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コーティングされるべき基板(１１６)上に照射するイオン源(１３２)或いは(２１８)が、ＭＯＣＶＤ、ＰＶＤ或いは超伝導体素材の調整のためのその他の処理を強化するのに用いられる。
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