【課題】実プロセスに試験操作を与えることなくプロセス制御装置に適切な制御パラメータを求め、求めた制御パラメータを実プロセスに反映させることができるプラント運転支援装置を実現すること。
【解決手段】実プラントからオンラインで実測データを収集してその内部モデルを更新することにより高精度のシミュレーション結果を得るオンラインシミュレータと、制御性能確認部と制御パラメータ解析部を含む解析部と、これら実プラントおよび解析部に対する操作設定を行う操作設定インタフェースとを備え、
前記解析部は前記オンラインシミュレータから状態変数の値を受け取り試験操作を行ってプロセスの応答を得ることにより前記実プラントに適切な制御パラメータを求め、これら求めた制御パラメータを前記操作設定インタフェースを介して前記実プラントに反映させることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】搬送アクチュエータの振動を抑制すると共に、各駆動軸の回転動作が他の駆動軸に与える影響を低減する。
【解決手段】右搬送アクチュエータ３２が伸縮動作する場合、中央制御装置１０の制御部１２は、縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力し、現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力し、現状を維持するための距離０の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力する。右搬送アクチュエータ制御装置３０は制振制御用の位置ゲインを用いて制振制御を行い、旋回アクチュエータ制御装置４０は駆動軸４２−Ｋが回転しないように維持制御を行い、左搬送アクチュエータ制御装置２０は通常の位置ゲインを用いて駆動軸２２−Ｋが回転しないように維持制御を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のパラメータの同定を適切に行う。
【解決手段】同定パラメータの変化量と表間数の変化量の関係（影響度）を調べる（ステップ１１）。影響度に応じて各パラメータの影響度が所定の関係になるように補正量を求める（ステップ１２）。求めた補正量により修正ゲインを補正する（ステップ１３）。 （もっと読む）

【課題】 少ない同定演算量で特性を同定することのできる特性同定部を備えたモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 モータ制御装置は、駆動指令を受けるモータと被駆動部との間を動力伝達機構で連結した慣性共振系を制御対象とし、該制御対象の状態を計測する計測手段と、前記駆動指令及び前記計測手段で計測された前記制御対象の計測結果に基づいて前記制御対象の特性として前記慣性共振系の少なくとも共振周波数及び反共振周波数を同定する特性同定部を含み、同定された特性に基づいて前記モータへの駆動指令を調整する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を算出する際の処理速度を向上させる。
【解決手段】サーボモータシステム１は、モータ２に接続されるサーボコントローラ３に機械的共振周波数補償装置２１が設けられている。機械的共振周波数補償装置２１は、エンコーダ４から速度フィードバック値が入力されるバンドパスフィルタ２２と、共振周波数推定器２３と、ノッチフィルタ係数発生器２４とを備え、共振周波数推定器２３は共分散行列の逆行列の値を用いた最小二乗理論によって算出される収斂値としてノッチフィルタの係数を求めるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】位置情報の差分値とサンプル時間に依存することなく速度情報を生成して制御帯域を上げることを可能とするリニアアクチュエータを実現する。
【解決手段】面モータを有するスライダの位置検出値と位置指令値との偏差を演算して速度指令値を出力する位置制御手段と、前記スライダの速度検出値と前記速度指令値との偏差を演算して前記面モータに推力指令を出力する速度制御手段とを具備するリニアアクチュエータにおいて、
前記位置検出値及び前記推力指令に基づいて、前記速度検出値を推定演算する状態推定器を備える。 （もっと読む）

【課題】従来のオブザーバ制御演算装置では、ロボット自身の姿勢やアームに取り付ける負荷の変化に対応して制御性能の劣化を防ぐには、負荷イナーシャ、状態オブザーバ、状態ＦＢのパラメータのリアルタイムでの演算が必要であり、演算処理の負荷が非常に多くなる。
【解決手段】アームに取り付けられる複数の負荷に応じて予め調整されたパラメータを持つ複数の状態オブザーバと状態ＦＢの演算を同時に行い、アームに取り付けられる負荷情報に基づいてそれぞれの状態ＦＢ値のモータ電流指令への加算量を調整する際に、各姿勢におけるアーム回転半径の最大値に対する２乗比の１次関数として定義する姿勢ゲインを乗じることにより、リアルタイムで負荷イナーシャ、状態オブザーバ、状態ＦＢのパラメータ演算を行う必要はなく、ロボットの姿勢変化に応じた振動抑制効果が得られる状態で演算時間を削減できる。 （もっと読む）

【課題】 モータ位置検出器を用いずに負荷位置検出器のみで安定且つゲインを大きく設定することができるようにする。
【解決手段】 負荷位置検出器と負荷位置検出値を用いて負荷加速度と躍度を演算する微分器と、それぞれにゲインを乗じて補償信号を算出する補償器と補償器の出力をトルク指令値に加算する加算器を備える。 （もっと読む）

【課題】パラメータの同定を早期に適切に終了する。
【解決手段】非線形な物理モデルを用いてシミュレーションを行い、その出力と最適化対象の出力を比較し、その比較結果に基づき物理モデルのパラメータを繰り返し修正することにより、各パラメータを真値に漸近させていくパラメータの同定を行う。ここにおいて、ｉ回目の前記比較において得られる誤差（誤差の二乗和：ｊａ（ｉ））の変化量に基づいて、パラメータの修正量（勾配ベクトルの各要素Ｓ（ｉ））についての上下限値（±Ｓｍａｘ）を設定する（ステップ２０）。これによって、上下限値が逐次変更され、適切な制限を掛けることができる。 （もっと読む）

【課題】パラメータの同定が適切に行われたかを判定する。
【解決手段】非線形な物理モデルを用いてシミュレーションを行い、その出力と最適化対象の出力を比較し、その比較結果に基づき物理モデルのパラメータを繰り返し修正することにより、各パラメータを真値に漸近させていくパラメータの同定を行う。パラメータを変化させた時の出力評価関数値の変化量について、比較して強い相関の組み合わせがあるかを全てのパラメータ同士の出力評価関数値の変化量について判定する（ステップ１２，１３）。強く相関の組み合わせがある場合に物理モデルまたは最適化対象の出力が物理パラメータを真値に漸近させるための十分な情報を含んでいないと、判断する（ステップ１４）。 （もっと読む）

【課題】操作量が飽和するのを回避して、被処理物を、所望の状態で処理するための調整作業を容易に行えるようにする。
【解決手段】目標温度ＳＰを変化させたときの操作量ＭＶ、ウェハの温度ＷＡＦ、および、熱板の検出温度ＰＶの各変化に基づいて、目標温度ＳＰと操作量ＭＶとの関係を示す第１の行列、および、ウェハの温度ＷＡＦと目標温度ＳＰとの関係を示す第２の行列を取得し、第１，第２の行列を用いて、操作量ＭＶを制限した範囲内で、ウェハの面内の温度のばらつきを最小化する目標温度ＳＰの補正値を求めるようにしている。 （もっと読む）

【課題】離散時間状態空間モデルのシステムにおいて、質や量の不十分な入出力波形データからでも、精度と信頼性の高いモデルパラメータを推定演算してモデルを構築する。
【解決手段】モデルパラメータ推定演算装置１０において、任意の入力データに対する応答波形である出力データに関する制約条件をインパルス応答系列であるマルコフパラメータの関数で構成する。モデルパラメータ推定演算装置１０は、入出力データに基づいて、制約条件の下で、マルコフパラメータベクトルと規範となるマルコフパラメータベクトルとの誤差と、出力データを含む出力データベクトルと、入力データを含む出力データベクトルに離散時間状態空間モデルのモデル関数を乗算してなる乗算ベクトルとの誤差とに関する評価関数を最小化するようにマルコフパラメータベクトルを演算し、マルコフパラメータベクトルに基づいて離散時間状態空間モデルのモデルパラメータを演算する。 （もっと読む）

【課題】逆モデルに依らず、安定したフィードフォワード制御系を構築することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明では、伝達関数Ｐ（ｚ^-1）を、遅延演算子ｚ^-1の多項式Ｎ（ｚ^-1），Ｄ（ｚ^-1）を用いて、Ｐ（ｚ^-1）＝Ｎ（ｚ^-1）／Ｄ（ｚ^-1）で表現可能な制御対象を制御するに際し、次の方法で、制御システムを構築する。即ち、規範モデルＭ（ｚ^-1）を、伝達関数Ｐ（ｚ^-1）の分子Ｎ（ｚ^-1）を含む関数Ｍ（ｚ^-1）＝Ｎ（ｚ^-1）・Ｌ（ｚ^-1）に設定して、所望の規範モデルＭ（ｚ^-1）に対応する関数Ｌ（ｚ^-1）を導出する。そして、フィードフォワード操作量ｕ_ff（ｉ）を、関数Ｌ（ｚ^-1）及び伝達関数Ｐ（ｚ^-1）の分母Ｄ（ｚ^-1）を含む式Ｕ_ff（ｉ）＝Ｄ・Ｌ・ｒ（ｉ）に従って、算出するように、フィードフォワード制御系を構築する。このようにして、本発明では、逆モデルＰ^-1を用いずに、フィードフォワード制御系を実現する。 （もっと読む）

【課題】コンピュータを用いて、Ａｆｆｉｎｅ形式のモデルを自動的に線形形式モデルに変換することである。
【解決手段】Ａｆｆｉｎｅ形式のモデルを自動的に線形形式モデルに変換するために、まず、制御対象に対するＡｆｆｉｎｅ形式モデルを取得し、制御対象から複数のデータセットを取得し、これをトレーニングセットとチェキングセットに二分する（Ｓ１０，１２，１４）。次に状態変数ｘに関する多項式を候補多項式ｚ_kとして複数生成し、トレーニングセットにより、各候補多項式について評価条件Ｊ_Pを最小にするようにして各多項式係数を算出し、チェッキングセットにより評価し、十分でないときは、さらに高次の候補多項式を生成し、これを繰り返す（Ｓ１６，１８，２０，２２，２４）。最小のＪ_Pとなる候補多項式を微分可能同相写像関数Ｔとして、線形形式モデルに変換する（Ｓ２６，２８）。 （もっと読む）

【課題】ステージの機械的な特性に基づく位置決め誤差を補正できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】ＸＹステージにおいて、下軸リニアモータの軸方向及び上軸リニアモータの軸方向の所定距離毎のロール角，ピッチ角，ヨー角を測定して収集する第１データ収集手段及び第２データ収集手段と、前記第１データ収集手段の収集データ及び前記第２データ収集手段の収集データに基づいてロール角，ピッチ角，ヨー角の変化を関数で近似する第１関数化手段及び第２関数化手段と、前記第１関数化手段及び第２関数化手段の関数に基づいて下軸及び上軸の垂直真直度と水平真直度を演算する第１積分演算手段及び第２積分演算手段と、前記位置指令値、前記第１関数化手段及び第２関数化手段の関数データ、前記第１積分演算手段及び第２積分演算手段の垂直真直度と水平真直度データに基づいて、前記上軸スライダの絶対座標位置を演算する絶対座標位置演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】既存のフィードバックループを再構築することなく、必要に応じて外乱の影響を効果的に排除することができるプロセス制御装置を提供する。
【解決手段】プロセス制御装置１は、制御器１１、プラグイン外乱除去制御器１２、及び１次フィルタ１３を備えており、制御対象３０の制御を行う。制御器１１は、外乱の周期を特定しない環境下において設計され、制御対象３０に対する設定値ｒと、１次フィルタ１３を介した制御対象３０の測定値ｙとを用いて制御対象３０のフィードバック制御を行う。プラグイン外乱除去制御器１２は、制御器１１が含まれるフィードバックループに付加され、フィードバックループに加わる外乱を、制御対象３０の測定値ｙを用いて除去するように内部モデル原理を用いて設計されている。 （もっと読む）

【課題】外乱等による特性変動のある制御対象に対し、ＰＩＤ調節計を用い高精度で低コストの制御が可能な制御装置、制御方法および制御プログラムを提供する。
【解決手段】制御装置は、ＰＩＤ調節計の比例要素１１、積分器１１および微分器１２を備え、制御量測定値の制御量設定値からの偏差にリミッタ値を設定する偏差リミッタ１４、そして、偏差調節要素１５、微分リミッタ１６、積分演算出力を初期化する積分初期化手段１７、演算切換器１８を有している。ここで、演算切換器１８は、スイッチ１９等と共に、上記ＰＩＤ調節計による通常のＰＩＤ演算と、制御対象２０の特性変動が生じたときに上記偏差調節要素１５、微分リミッタ１６、積分初期化手段１７が作動するＰｉｄ演算とを、例えば特性変動がある場合に偏差リミッタ１４に従って切り換えるようになっている。 （もっと読む）

【課題】シミューレーション・システムが使い易く且つ更新し易くなる態様でプロセスプラントのプロセス制御環境に統合する。
【解決手段】シミューレーション・システムにより生成されたプロセスパラメータの現在の予測値だけでなく将来的な予測値を、性能評価に利用し、並びにプラントの動作を誘導するために利用することが可能になる。また、該シミューレーション・システムは、プロセスプラントに関する様々なオンライン計測値を受信できるように作動中のプロセスプラントに接続されており、シミューレーション・システムで使用されるプロセスモデルを自動的に更新してシミューレーション・システムをプロセスプラントの実際の作動状態と協調（coordinate）した状態に保つために、これらの計測を使用する。 （もっと読む）

【課題】ユーザによる学習係数の調整作業を不要にすることを目的とする。
【解決手段】制御量の時系列データおよびＰＩＤ制御パラメータを、状態ベクトルとしてデータベース６に蓄積し、新たな状態ベクトルが与えられると、蓄積されたデータベース６の状態ベクトルに基づいて、局所モデルとして新たな状態ベクトルに対応するＰＩＤ制御パラメータを生成してＰＩＤ制御器３のＰＩＤ制御パラメータを調整するとともに、学習係数を用いて、制御誤差が小さくなるようにＰＩＤ制御パラメータを修正してデータベース６に蓄積し、前記学習係数を、予め定めた算出式によって算出するようにしている。 （もっと読む）

【課題】制御量以外の参照パラメータの検出結果の信頼性の低下などに起因して、制御誤差が一時的に増大するような条件下でも、制御誤差を適切かつ迅速に補償でき、それにより、高い制御精度を確保できる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置1の空燃比コントローラ100は、連結重み関数Wcp_iを空燃比誤差推定値Eafなどに乗算して、修正誤差Weaf_iを算出し、この値Weaf_iが値0になるように、値Dlift_bs_iを算出し、連結重み関数Wcp_iを値Dlift_bs_iなどに乗算して、値Dlift_ls_iを算出し、この値Dlift_ls_iの総和である値Dliftを値Liftinに加算することにより、値Liftin_modを算出し、この値Liftin_modに応じて、空燃比をフィードフォワード制御するための第１推定吸気量Gcyl_vtを算出し、空燃比をフィードバック制御するための空燃比補正係数KAFを算出し、これらに応じて燃料噴射量TOUTを算出する。 （もっと読む）