【課題】移動装置の位置決め制御の精度の向上と加工速度の向上とを両立できる位置決め装置およびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】座標平面におけるレーザビームＢの加工予定軌跡と目標軌跡との間で距離の最も近い２点の組が探索され、その２点間の各々の距離が算出される。算出された各々の距離に基づいて加工予定軌跡を作るための指令が補正されるので、加工予定軌跡を目標軌跡に近づけることができる。これらの処理は被加工物ＷにレーザビームＢを照射する前に実行されるので、レーザ加工時における移動装置の位置決め速度（移動速度）を低下させることなく移動装置の位置決め制御の精度を向上できる。また、変位にヒステリシスをもつピエゾアクチュエータ等の移動装置であっても、ヒステリシスを考慮した補正ができる。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

本発明は、平面３自由度ステージに関するもので、並進２自由度を有する並進運動機構部と、並進運動機構部と独立的に運動する回転１自由度を有する回転運動機構部と、並進運動機構部と回転運動機構部が設置され、内側の固定部及び外側の駆動部を備えるステージベースを含むことを特徴とし、これによると、並進運動と回転運動が独立的に行われるので、運動誤差を減少させることができ、制御及び設計を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決め制御装置に比べて位置決めステージの位置と制御装置の位置が遠く離れておりノイズが発生しやすい劣悪な環境下においてもノイズの影響を受けない安定な位置決めが可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】デジタル出力の位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値と１回前の制御サイクルにおいてデジタル出力の位置センサが検出した位置決めステージが位置した前回値との差が設定値以内の場合は位置決め演算に現在値を採用し、設定値より大きい場合は位置決め演算に前回値を採用する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】試料と副ステージを確実に密着させても、試料を破損する危険の少ないステージ装置の制御方法を提供する。
【解決手段】試料９を載置する主基台１と、主基台１に対向配置された副基台７と、副基台７上のアクチュエータ６と、副基台７からバネで吊り下げられるアクチュエータ６によって制御される副ステージ８と、副基台７と前記副ステージ８との間の距離を計測する距離センサとを備え、試料９の厚さ方向の公差を接触時最大位置決め誤差と定義したとき、アクチュエータ６の各出力推力制限値ＦＬ[ｐ]を、予め求めた試料が存在しない場合の各出力推力に試料９が許容する押し当て力を加えた値とするステップと、副ステージ８の位置許容偏差を副ステージ８に設定された位置許容偏差に接触時最大置決め誤差を加えた値とするステップ等の５ステップより試料９にアクチュエータ６が接触したと判断する。 （もっと読む）

【課題】位置決め過程の位置精度を向上させる位置決め制御ユニット、位置決め制御方法および位置決め制御プログラムを提供する。
【解決手段】位置決め制御ユニット１００は、特定の位置決め速度に基づいて１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させ、位置検出を伴う閉ループでステージの位置決めを制御する。１制御周期あたりの操作量を制御することで、位置決め動作による振動を抑制することができる。その結果、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】傾動台の中心を傾動中心とすることが可能であり、しかも傾装置を大型化させずに傾動台の傾動角度を大きくすることができる。
【解決手段】傾動装置１は、基台３に対して傾動台２を傾動可能に支持する傾動台支持部４と、基台３の上面３ａに対して略平行となる方向に延在し、その延在方向に伸縮可能な一対の圧電素子５と、各圧電素子５の伸縮による第１の変位を自身の変形により基台３の上面３ａに略直交する方向に拡大させるとともに、この拡大による第２の変位を傾動台２に伝えるＶ溝部６６を有する変位拡大部材６とを備えている。傾動台支持部４は、支柱４１と、支柱４１に対して第１軸線を中心にして回転可能に支持された回動リングとを有し、傾動台２が回動リングに対して第２軸線を中心にして回転可能に支持される構成とした。 （もっと読む）

【課題】ガイドに移動可能係合したステージの位置決め装置に関し、ステージの可動範囲の全域にわたってｎｍオーダの位置決めが可能なステージ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘステージ１３に設けられた送りナット（ナット部材）８と、送りナット８に螺合するボールねじ７と、ボールねじ７を回転駆動する超音波リニアモータ３７とで構成する。更に、ナット８と、ボールねじ７のねじ軸７ａとの間に予圧が発生するように、予圧発生手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子の基準位置のずれによる移動体の位置決め誤差の小さい位置決め装置を提供する。
【解決手段】印加した電圧に応じて伸縮する電気機械変換素子と、電気機械変換素子の一端に固定され、電気機械変換素子の伸縮によって往復移動する振動部材と、振動部材に摩擦係合し、振動部材上で滑り変位可能な摩擦係合部材と、振動部材を摺動可能に保持する軸支部と、電気機械変換素子の他端を保持する固定部とを備えるベース部材と、電気機械変換素子に、駆動電圧を印加できる駆動回路とを有する位置決め装置において、駆動電圧を、摩擦係合部材を振動部材に対して滑り変位させずに所望の位置に位置決めするのに必要な直流電圧成分に、交流電圧成分を重畳したものとする。 （もっと読む）

本発明は固定ベース（２）、物体のためのサポート（３）、固定ベース（２）に対してサポート（３）を配置するのに力を加えるためのアクチュエータ（４）、サポート（３）上の荷重を測定するためのセンサ（５）、およびサポート（３）の位置を制御および／またはシステム（１）の少なくとも１つの共振周波数を減衰するために測定された荷重を処理するための制御装置（６）を含む物体を位置決めするためのシステム（１）を提供する。本発明はまた、システム（１）を制御するための方法（１０）を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置決めの正確性を低下させずに処理速度を迅速化可能なワーク位置決め装置及び円柱状ワークの調芯装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係わるワーク移動装置は、ワークを一の方向に移動させるためのワーク移動装置であって、ワークを一面に載置する載置手段と、空気圧で押圧され一の方向に移動する推進部材を有するとともに推進部材の先端がワークを望む状態で配置された空気圧アクチュエータと、推進部材に取り付けられた圧電素子と、ワークに当接可能に圧電素子に取り付けられた衝撃体と、ワークの位置を検出する検出手段と、空気圧アクチュエータへ供給される空気の空気圧を調整する空気圧調整手段とを備え、空気圧調整手段は、位置検出手段の検出したワークの位置とワークが位置すべき所望の位置との偏差に基づいて前記一の方向に推進部材を押圧する場合の空気圧を調整することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ステージの傾きを高精度に調整できるとともに、ステージに加えることのできる加圧力の増大を図ることのできる技術を提供する。
【解決手段】少なくともステージ２１の傾斜調整時には、半球体２２と球面軸受２３とが離間するように各圧電素子２４ａ，２４ｂ，２４ｃを伸縮するため、圧電素子の伸縮によりステージ２１の傾きを調整するときに、球面軸受２３が半球体２２と接触することに起因する摩擦力等の外乱が生じることが一切ないので、滑らかな動作により非常に高精度にステージ２１の傾きを調整できる。また、球面軸受２３が半球体２２と接離自在に面接触してステージ２１を支持しているため、ステージ２１に高加圧力が加えられたとしても、球面軸受２３が半球体２２を下方から面で支持することにより確実にステージ２１を支持することができ、ステージ２１に加えることのできる加圧力の増大を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高め、位置決めの精度を向上させる。
【解決手段】ステージの位置決めを制御する位置決め制御ユニット１２０であって、１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を、１制御周期の積分値が等しくなるように、時間的に分割して所定分解能で出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ所定分解能で変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させることで、ステージの位置決めを制御する。これにより、Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】摩擦駆動方式の駆動装置によって、誤差のないウォブリングを行い、検出出力が最大となるように移動部材を正確に位置決めできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】圧電素子の伸縮により振動部材を往復変位させて摩擦係合部材をすべり変位させる駆動装置によって、移動部材を駆動し、移動部材の位置に応じて変化する検出出力を最大にするように移動部材を駆動する位置決め装置において、摩擦係合部材が振動部材に対してすべり変位しないように緩慢に電圧を変化させて正方向および負方向に所定の電圧を印加し、正方向の電圧を印加したときの検出出力と負方向の電圧を印加したときの検出出力との差分に所定の係数をかけた移動量だけ摩擦係合部材を振動部材に対してすべり変位させられる駆動電圧を圧電素子に印加する。 （もっと読む）

【課題】低振動でドリフトが小さく高精度の位置決めを行える電子顕微鏡用ステージ機構を実現する。
【解決手段】ステージの駆動機構に超音波モータを用いるとともに、停止剛性を高める固定機構をモータと一体化する。すなわち、与圧機構に超音波モータと共に固定機構のピエゾ素子をマウントする構造を用い、ステージの加速減速及び位置決めを駆動機構で行った後、固定機構によりステージを固定する際、ステージの両側に位置するピエゾ素子が伸長し、ステージを押圧するように構成する。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子２２の一方側に取り付けられる慣性体２１と、圧電素子２２のもう一方側に取り付けられる衝撃体２３と、慣性体２１と衝撃体２３の移動方向に予圧を与え、ケース２７に取り付けられた衝撃体移動方向予圧手段２４と、慣性体２１及び衝撃体２３をガイドする案内手段２５、２６と、圧電素子２２に外部より電圧パターンを与える手段と、を具備し、ケース２７がベース２９に固定されている。 （もっと読む）

【課題】被案内体の案内体に対する位置決め精度を向上することができる位置決め装置、及び位置決め方法を得る。
【解決手段】位置決め装置１０は、ガイドブロック２８がガイドレール２６に対し所定軌道を運動可能となるように転動体を介して支持されて構成されたリニアガイド１４と、ガイドブロック２８に移動力を付与するサーボ機構１８と、ガイドレール２６及びガイドブロック２８に超音波振動を付加するための加振装置２２と、加振装置２２及びサーボ機構１８を制御する制御装置２４とを備える。制御装置２４は、ガイドブロック２８のガイドレール２６に対する位置決めが完了する前に、加振装置２２を作動してガイドレール２６、ガイドブロック２８に超音波振動を付加させ、かつガイドブロック２８のガイドレール２６に対する位置決めが完了する直前に、ガイドレール２６、ガイドブロック２８への超音波振動の付加を停止する。 （もっと読む）

本発明は、主操作方向についてはそれぞれの位置を高分解能センサにより測定可能で閉ループ制御回路のＰＺＴ固体アクチュエータを用い、ＰＺＴ固体アクチュエータがジョイント２を介してプラットフォームに接続している、数マイクロメートルから数１００ミリメートルの移動距離でサブナノ〜ナノメートル範囲の高位置分解能を有する調節装置に関する。本発明によれば、各位置での垂直方向の位置誤差の補正のため、圧電体単結晶を用いた追加アクチュエータ５が設けられる。単結晶はエラーテーブル内に保存された値に従って駆動され、各制御値は主制御軸の、勾配符号が反転された関数として算出され、追加アクチュエータは補正プレート４にて調整装置のプラットフォームに接続されている。
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