【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体の遮断が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁４と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器３と、該流量計測器３からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁４の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁４または該流体制御弁を操作する機器５６へ出力する制御部６と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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本発明は、流量圧力の緩慢低減を経時的に測定可能な流量に変える磁気式流量制御装置に関する。閾値差圧に到達すると、流量制御装置を通る流路は、相対的に大きな開口部に向け急激に開き、その結果、特に、従来の水量計における流体容量の測定を可能にするために流路を通る高流量にて流体容量が生成される。本発明の装置は、この低流量を統合して、測定可能な流体流量に変えることで、流体を流量計によって最適な誤差範囲で測定することができるようにする。これは、許容標準値内である流量計の圧力降下を維持しながら達成される。したがって、本発明は、パルスと同様の方法で、実質的に高流量と無流量との間で相対的に著しい変化を実現する。
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単一の質量流量を少なくとも二つの流れライン（１２２ａ、１２２ｂ）に分割するための流量比率制御装置（１０６）を含むガス送出システム用の反対称最適制御アルゴリズムを提供する。各流れラインは、流量計（１２４）及びバルブ（１２６）を含む。流量比率制御装置の両バルブは、単一の入力信号出力ＳＩＳＯ制御装置と、インバーターと、二つの線型飽和器とを含む反対称最適制御装置によって、比率フィードバックループを通して制御される。ＳＩＳＯ制御装置の出力を、二つのバルブに加えられる前に分割し変更する。二つのバルブ制御コマンドは、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に対し、実際上、反対称である。これらの二つのバルブコマンドが、夫々の線型飽和器を、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置で二つの飽和限度の一方として通過するため、一方のバルブが、任意の時期に、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に保持されると同時に、他方のバルブが、流量比率を維持するように能動的に制御されるという正味の効果が得られる。
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【課題】蒸発材料の移送管において、管内の流れをスムースにするとともに、弁開閉時においても、蒸発材料の濃度が変化するのを抑制し得る蒸発材料の流量制御装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料移送管６内の途中に配置されて且つ連通用開口穴１２が形成された中段鉛直部１１ｂを有する仕切部材１１と、上記中段鉛直部の連通用開口穴に対して水平方向で移動自在に設けられて当該連通用開口穴を開閉し得る円錐状部１５ｂが先端に形成されたニードル弁体１５と、このニードル弁体を上記連通用開口穴に対して移動させてその円錐状部により当該連通用開口穴を開閉させる開閉手段１８と、上記ニードル弁体を挿通されて先端部が円錐状部の中心から外方に突出するように設けられるとともに先端部にガス放出穴１６ａが形成されたガス放出管１６と、上記ニードル弁体側と蒸発材料移送管側との間に設けられた密封用のベローズ２１とから構成したもの。 （もっと読む）

本体の中に、流入室と、流出室と、前記流入室と前記流出室の間に配置され、一方の側で前記流入室の圧力を受けるとともに他方の側で前記流出室の圧力を受けるピストンとを含み、前記ピストンは前記流入室に向って変位した第１の位置および前記流出室に向って変位した第２の位置の間で可動であり、前記ピストンは前記第１の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭め、前記ピストンは前記第２の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭めず、さらに、前記ピストンを前記第１の位置に向って付勢する復帰ばねを含んでいる、流れの動的制御をする装置。本発明によれば、前記ピストンには前記流入室から前記流出室へ向って延びる貫通部が貫通しており、前記貫通部を貫流する流れを制限するための流量制限手段が設けられており、前記復帰ばねは、前記流量制限手段により許容される最大の流れが排出されるときに前記ピストンを前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させようとする力に、その作用が実質的に一致するように設定されている。前記ピストンは、第１の端部では前記流入室の中に、また第２の端部では前記装置の本体に固定されたシリンダの中に、スライド可能なように取り付けられており、前記流出室と連通するとともに、前記流出室に対してアライメントされているのが好ましく、前記流量制御手段は定置のシリンダの中に取り付けられるのが好ましい。
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【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための手段を備えている減圧装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ、コンプレッサ又はガス発生装置のようなガス源１に接続するための入口側接続部と、別のガス管路系に接続するための出口側接続部とを備える減圧装置２が高圧チャンバと低圧チャンバとを備え、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるようにこれらの高圧チャンバと低圧チャンバは減圧弁で相互に連結されており、減圧装置は交換可能な表示器用の接続部を備え、この接続部はガス源から来るガスが表示器を通って流れる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、スラリーを使用してもスラリーが固着しにくく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６０に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】 可変オリフィス部での騒音の発生の抑制が可能な圧力補償付きの流量制御弁を提供する。
【解決手段】 流量制御弁１は、流体の流路２０に上流側から順に、軸方向に移動可能に支持されつつバネ３５によって一端へ向けて付勢され可変オリフィス部Ｅを形成するための互いに段差端面３０ｄを介して連続する大径軸部３１及び小径軸部３２を有するバランスピストン３０と、絞り弁４０とを備えて成る。バランスピストン３０が、バネ３５の反発力Ｋ及び絞り弁４０の下流の流体の圧力Ｐ３を一端へ向けて受けるとともに、バランスピストン３０の下流且つ絞り弁４０の上流の流体の圧力Ｐ２を他端へ向けて受けることで軸方向に釣り合いながら移動し、大径軸部３１の周囲から小径軸部３２の周囲に至る可変オリフィス部Ｅの開口隙間が調整される。大径軸部３１が小径軸部３２へ向けて１段縮径された縮径軸部５０を有する。 （もっと読む）

【課題】市場で調達可能な各方式のディスペンサを用いて、流体媒体の配量システムの配量精度を改善する。
【解決手段】制御信号を伝送するためのインタフェース３６、及び、センサ出力信号を伝送するためのインタフェース５０を有する制御装置１０と、インタフェース３６からの制御信号により制御され、所定量の流体媒体を吐出させる流体媒体用ディスペンサ３０と、インタフェース５０からの制御信号により制御され、ディスペンサ３０に配送される流体媒体の流量率を連続的に検出し、その流量率に対応するセンサ出力信号４４を出力するセンサ・ユニット４０とを備え、制御装置１０は、センサ出力信号４４を検出して該センサ出力信号４４から配送された流体媒体の流量を演算し、その流量に従って設定された流体媒体の所定量に合致するように、ディスペンサ３０から吐出される流体媒体の量を制御する。 （もっと読む）

この発明の実施例は、複数流路バルブ制御のためのシステムおよび方法を提供する。この発明の一実施例は、バルブ制御のシステムを含み、これは、プロセッサ（５０４）と、プロセッサ（５０４）によってアクセス可能なコンピュータ読取可能な媒体（５１８）と、アクチュエータによってバルブに適用されるべき初期力を示す第１の信号を第１の流路（５０６）で出力するため（８０６）、およびバルブに適用されるべき制御力を示す第２の信号を第２の流路（５０８）で出力するため（８１０）にプロセッサによって実行可能なコンピュータ命令（５１６）のセットとを含む。
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少なくとも１つの導入部、少なくとも１つの導出部、及び流路を有する第１のディスクと、流路を有さない第２のディスクとを備えるフローリストリクタであって、第１のディスク及び第２のディスクは互いに積み重ねられる。また、マスフローコントローラは、入力部、出力部、流路、圧力トランスデューサ及び上記フローリストリクタを備えている。
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