【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ２０と、パイロットレギュレータ２０に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ１８とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ２０と電空レギュレータ１８とを接続してエアを流通させるエア通路１５と、電空レギュレータ１８による操作圧の調整を可能としつつエア通路１５からエアを排出させるオリフィス４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、流体の圧力及び／又は流量を制御する方法に関する。この方法のため、パイプライン（１５）を流れる流体から流れエネルギーが引き出される。このエネルギーは、そのうちの少なくとも一部が電気エネルギーに変換され、流体の流量及び／又は圧力の電気制御（６５）に使用される。パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を制御する装置は、流れる流体から流れエネルギーを引き出し、このエネルギーのうちの少なくとも一部を電気エネルギーに変換するように構成された、少なくとも１つの発電機（３５）を備える。本装置は、パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を、発電機（３５）によって給電される電気駆動機構をもって制御する手段（６５）を備える。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高くメンテナンスも容易な、流量制御装置を提供する。
【解決手段】液体供給装置１０は、水を貯留する貯留槽１２、および貯留槽１２に取り付けられる流量制御装置１４を備える。流量制御装置１４は、貯留槽１２の水中に配置されるパイプ２０、パイプ２０の入口２０ａ側の端部に接続されるキャップ２２、キャップ２２に対して揺動可能に設けられる取り付け部材２４、取り付け部材２４に取り付けられる２つの浮き２６、およびパイプ２０を矢印Ｄ方向に揺動可能に支持する支持部材４４を含む。浮き２６の昇降によって、パイプ２０は、水面に対する傾きが変化するように軸Ｓを中心として矢印Ｄ方向に揺動する。パイプ２０が揺動しても、水面から入口２０ａまでの深さは略一定に保たれ、貯留槽１２からの水の流量を略一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御動作を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の勾配の逆数と、勾配を制御弁２の最大開度における最大流量により除して得られる正規化比例定数Ｋｚと、最大開度での制御弁２の固有抵抗Ｒ０を初期値として設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の入口４と出口５間の第１の圧力損失△Ｐと、流量計３による流量Ｆとから成る複数のデータを逐時に測定して、第１の圧力損失ΔＰと流量Ｆとから、制御弁２と流量計３の間に生ずる第２の圧力損失ΔＥと制御弁２の最大開度での全抵抗ｒとを演算により求め、予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚとから新たな比例勾配Ｋｅを求め、その逆数から適切な比例ゲイン（１／Ｋｅ）を求めて比例制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】商用電源を用いることなく流量を正確に制御すること。
【解決手段】流体が流れる管の途中に回転装置であるタービン１を設置する。タービン１は流路の高圧側と低圧側を完全に隔絶し、その圧力差を利用して回転する。発電機２は、タービン１の回転力を動力にして発電し、整流回路３で整流して蓄電素子４へと蓄積する。周波数カウンタ７は、蓄電素子４を電源に駆動し、タービンの回転数を監視する。制御回路６は、蓄電素子４を電源に駆動し、周波数カウンタ７からの情報を取り込んで目的の周波数になるように蓄電素子に流れる電流を調整することで、流路での流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】応答性に優れ、かつ高精度・広範囲に流量を制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置１０は、圧力調整手段としてのパイロットレギュレータ２０とその下流側に配置されたエアオペレートバルブ４０とを備えている。エアオペレートバルブ４０は、カバー４１、シリンダ４２、ボディ４３からなる。ボディ４３には吸入通路５８と、排出通路５９と、各通路５８，５９を連通する円形溝６７と、吸入通路５８と円形溝６７とを連通する固定オリフィス６４とが形成されている。吸入通路５８の円形溝６７側端部は弁座オリフィス５８ａとなっており、その開口部周囲は弁座６３となっている。ダイアフラム弁体５５は圧縮コイルバネ４８の付勢力により常時弁座６３に着座されており、圧力制御室５１が操作エアにより加圧されると弁座６３から離れる。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を択一的に選択切換して供給する際に、簡易な構成で連続して流体を供給することができる流体の切換制御方法及び切換制御装置を提供する。
【解決手段】複数の流体を切換手段によって択一的に選択切換して流体使用部１２に所定の流量を供給する方法において、複数の流体のうち選択切換されて使用部１２に流通している流体の流量を測定して圧力調整手段９０による制御信号を当該流体の圧力制御弁部２０（２０ｘ，２０ｙ，２０ｚ）に送り所定の流量の制御をなすとともに、複数の流体のうち選択切換されず使用部１２に流通していない他の流体の圧力制御弁部に対しても圧力調整手段９０による制御信号を送り、選択切換時に即時に所定の流量を確保できる待機状態となるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）