【課題】圧力補償型流量制御弁において、上流圧力が急上昇したときの流量のオーバシュートを抑制する。
【解決手段】流入口側に第一の可変オリフィス１１を、流出口側に第二の可変オリフィス１５を備え、上流の流体圧力が上昇したときに流入する流体圧力によりスプール３が初期位置から変位するのに伴って第一の可変オリフィス１１が開度を徐々に減少させる一方、第二の可変オリフィス１５が開度を徐々に増大させるようにした。予め流出口側のオリフィス１５の開度を絞っているため、上流の圧力上昇が急峻であっても所定量以上の流体が下流に流出してしまうことはない。
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【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】圧力変化による流体の変化量を低減させることを可能とする流体制御装置を実現する。
【解決手段】流体の微小流量を制御する流体制御装置において、膜により区切られた第１及び第２の微小流路を有するマイクロチップと、前記第１の微小流路を介して流入される流体を前記第２の微小流路に流出させると共に圧力損失を発生させる圧力損失発生部とを備え、前記膜が、前記流体に発生した前記圧力損失に応じて前記第１及び第２の微小流路の断面積をそれぞれ変化させる。 （もっと読む）

流れ制御室と、ディフューザと、固定長さ止栓とを備える流れ制御装置を提供する。固定長さ止栓は、軸と、栓とを備える。軸は、その長手方向軸に沿って圧縮することができる。流れ制御装置は、流れ制御部本体に取外し可能に取り付けられたインターフェースをさらに備える。固定長さ止栓の固定部分が、インターフェースに取り付けられている。流れ制御装置は、複数の所定の長さを有する複数の固定長さ止栓をさらに備える。装着されると、固定長さ止栓のそれぞれが、流れ制御室を通過する流体にある流速を生じさせるためにディフューザに所定の距離だけ入った状態で位置決めされる。固定長さ止栓は、所定の長さに従って色分けされている。 （もっと読む）

【課題】幅広い流量範囲で安定して精度良く流量を制御でき、コンパクトで、メンテナンスや部品交換が容易で、シール性が良い流体制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測器からの電気信号に基づいて流体制御配管部材の開度をＦＢ制御する制御部とを具備し、流体制御配管部材が、一端にチューブに水密された状態で挿着される挿入部と他端に接続部と中央に鍔部を有する第一、第二連結体と、中央に貫通孔が形成され貫通孔の一端に挿入部に挿着されたチューブが嵌着される拡径部が設けられた保持体を具備する。保持体の貫通孔にチューブを貫通させチューブ両端に第一連結体及び第二連結体の挿入部を挿着したものを保持体の拡径部に嵌着し、第二連結体の鍔部と保持体とが流体制御配管部材と計測器との間で圧接された状態で固定され、第二連結体の接続部と計測器の流体流入口または流体流出口が直接接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】ガス供給量を安定させることができるガス供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローコントローラ１４と、前記マスフローコントローラ１４に接続する第１流体制御弁１５と、前記第１流体制御弁と並列に接続された第２流体制御弁１７と、前記第２流体制御弁の二次側に配置された第３流体制御弁と、を有し、前記第３流体制御弁は、前記第１流体制御弁の二次側圧力と前記第２流体制御弁の二次側圧力との差圧に基づいて弁開度を調整されるものであるガス供給ユニット１である。 （もっと読む）

【課題】管路内を流れる流体の簡易でかつ正確な流量調整を行うことのできる可変オリフィス装置を提供すること。
【解決手段】この可変オリフィス装置では、流体管路ｐ１，ｐ２のフランジ１とフランジ２の間に、固定オリフィス３を配置し、他方隣接して管路中心に回転可能な可動オリフィス４を配置する。各オリフィス３，４には各々少なくとも１つ以上の孔１１，１２があらかじめ設けられており、可動オリフィス４の鍔部に設けられた穴５に用具棒６を挿入し、管路円周方向に回転させることにより、両オリフィス３，４を貫通する孔の形状あるいは大きさを変えることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】プロセス内の構成要素の制御をより大きな中央処理能力に対する要求を減少することを可能とする工業システムを提供する。
【解決手段】流体流量調整装置は、流体流路内で移動可能な絞り要素を有するレギュレータ本体１２と、パイプライン１４，１６、レギュレータ本体１２及び前記絞り要素１８の状態を測定してその状態を示すセンサ信号を出力する複数のセンサ２６，３０，３４と、前記複数のセンサ２６，３０，３４から出力された一又は複数のセンサ信号に応じて複数の外部プロセスコントロール装置を制御するため出力信号を生成するように構成されているプロセッサ２８と、前記複数の外部プロセスコントロール装置と通信し、また前記プロセッサ２８と通信するように構成されている通信ユニット３６とを備える。前記プロセッサ２８は、一又は複数のセンサ信号及び前記装置信号に応じてレギュレータ本体１２を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】給水系に設けられた流量調節弁を長期間使用してその弁特性が変化した場合であっても、特に、給水流量の少ない低流量領域においても給水ポンプから吐出される給水流量が過流量となることを防止することができる給水ポンプ過流量防止装置を提供する。
【解決手段】給水ポンプ過流量防止装置は、条件出力手段２４ｃから入力した条件信号の変化率を制限して出力する変化率制限手段２４と、弁制限開度信号２０ａと変化率制限手段２４から出力された信号とを加算する加算手段２５と、弁制限開度信号２０ａと加算手段２５の出力とを比較して差分を補正弁制限開度信号２７ａとして出力する入力比較出力手段２６と、入力比較出力手段２６の出力信号に基づいた補正弁制限開度信号２７ａを下限値と入力する流量調節弁のローリミッタ２８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ及びバルブが設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 （もっと読む）

【課題】 流量制御のオーバーシュート現象を解消し、且つ集積ユニット化を可能とするコンパクトな質量流量制御装置と、この質量流量制御装置を備えたコンパクトなガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する流量制御弁機構１０と、前記流量制御弁機構に前記バルブ駆動信号を出力する流量制御弁制御手段１８と、を設けてなる質量流量制御装置５０において、前記流量制御弁機構１０の上流側及び／又は下流側に、遮断弁機構５２、５４を介設し、遮断弁機構５２、５４の給排気口をソレノイド弁機構１０２と直接連通させるように、弁ブロック体８０と一体として設け、且つ前記流量制御弁制御手段１８は、前記ソレノイド弁機構１０２を動作させるソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４を出力するとともに、前記バルブ駆動信号Ｓ２と、前記ソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４とを同期させる。 （もっと読む）

【課題】ガス供給源からガス流路を介してガスを安定供給するガスの供給制御装置において、ガス供給系内にバッファータンク等の緩衝装置を設置することなく、ガス供給系に悪影響を及ぼす急激な圧力上昇を防止することができるガスの供給制御装置を提供する。
【解決手段】ガス流路にステッピング・モータ４駆動方式の自動開閉弁５と、この自動開閉弁５の下流側に圧力計８を設け、この圧力計８の検出圧力値Ｐと時間の経過とともに増加する任意の目標圧力値との差分に基づいて自動開閉弁５を間欠的に開閉制御することを特徴とする。 （もっと読む）

医療用流体の流量制御弁を開示する。弁は入口と出口とその間の流路とを含むハウジングを含む。複数の流量制限器（５４ａ−ｃ）が流路内に配置され、流量の異なる複数の液体流を規定する。流量制御部材（４８）が流路内に配置され、第１領域または第１平面に複数の離散した開口を有し、第１平面から離間した第２領域または第２平面に少なくとも１つの開口を有する。流量制御部材は、第１平面における複数の開口のうちの１つが液体流の１つと連通して、弁を通る第１流量を規定する第１位置と、第２平面における少なくとも１つの開口のうちの１つが別の液体流と連通して、第１流量とは異なる弁を通る第２流量を規定する第２位置との間で回転させられ得る。
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導管１０を通過する流体の流れを制御する流量制御装置は、流体の流れに対して抵抗を発生させるウェッジ１２と、前記導管１０の上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記導管の上流側における流入圧力と前記導管の下流側における流出圧力とをそれぞれ検出する圧力センサー２０−１，２０−２と、前記流入圧力と前記流出圧力との間の差圧に対応する流量を検出し、検出流量を設定流量と比較して、前記検出流量と前記設定流量との間の偏差によって計算された開度率で前記導管１０の流出側開度率を調節する流量制御部２２と、前記流量制御部によって調節された開度率を正確に一致させるために前記差圧の不正確な増加を感知する誤謬感知部２８とを含む。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

【課題】検出手段の取付精度による弁開度の個体差を減少させて、高精度な流量制御を可能にした流量制御弁の制御方法を提供すること。
【解決手段】この流量制御弁１の制御方法では、ピストン２２が、弁閉に到達したことをオンからオフになること又はオフからオンになることで検出する検出手段２５を設け、検出手段２５がオンからオフになった又はオフからオンになったときの操作信号値と基準原点に対応する操作信号値との差を個体差値とし、基準曲線を、個体差値によって補整する。 （もっと読む）

【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

流量制御装置１０は、使用時に投入される流体の供給源に連絡する上流端１４と、供給ダクト２６と接続可能に連絡する下流端１６とを有するハウジング１２とを備える。流路１８は、前記ハウジング１２の前記上流端１４と前記下流端１６により規定される。バルブ装置２０は、前記流路１８を通る流体の流れを制御するために、前記流路１８に配置されている。流量制御部２１は前記バルブ装置２０と協働する。前記流量制御部２１は、前記バルブ装置２０の状態に関わらず、前記流路１８を通る流体の流れを促す。
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【課題】流量センサを用いることなく、流量の制御が可能な流量制御方法及び装置を得る。
【解決手段】密閉タンク内においては、その液面高さとタンク内圧力との間に相関が存在することから、吐出ノズルからの液体流量を一定にするための液面高さ-タンク内圧力の関係式を求め、密閉タンク内に液体を封入した状態において、この液面高さ-タンク内圧力の関係式に基づいて密閉タンク内の気体圧力を制御し、吐出ノズルから吐出流量を制御する流量制御方法及び装置。 （もっと読む）