【課題】 スペース効率の良い圧力調整弁、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク９１からバルブハウジング１７１に形成した１次室１７２に導入した機能液を、バルブハウジング１７１に形成した２次室１７３を介して機能液滴吐出ヘッド４１に供給すると共に、２次室１７３の１つの面を構成すると共に、大気に面した円形のダイヤフラム１７５が受ける大気圧を調整基準圧力として、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する圧力調整弁１６１において、２次室１７３は、ダイヤフラム１７５と同心の略円柱状に形成され、２次室１７３を形成したバルブハウジング１７１の２次室形成部１９２は、２次室１７３と同心の略円柱状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、気泡の発生を抑制した圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 圧力調整弁７は、機能液タンク９１から１次室１２２に導入した機能液を、２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給し、２次室１２３の円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、機能液タンクに連なる流入口１４７と１次室１２２の上端部１５３に開口した１次室側開口１４９とを連通する流入流路１４８を下り勾配に流路形成し、２次室１２３の下端部１７５に開口した２次室側開口１７９と機能液滴吐出ヘッド１１に連なる流出口１７８とを連通する流出流路１８０を下り勾配に流路形成している。 （もっと読む）

【課題】 油圧アクチュエータにより動作制御される制御対象の位置制御を行う位置制御システムにおいて、ポペット型電磁弁を用いて油の流量制御を行い、弁からの油漏れを抑制すると共に制御対象の位置制御を精度よく行うことのできる位置制御システムを提供する。
【解決手段】油圧アクチュエータ１０１により動作制御される制御対象１０５の位置制御を行う位置制御システム１００であって、前記油圧アクチュエータ１０１の駆動制御を行う電磁弁１〜４と、前記電磁弁１〜４を介して前記油圧アクチュエータ１０１に油を供給するポンプ８と、前記電磁弁１〜４の開閉動作をパルス幅変調制御により行う弁作動手段１２、１３と、前記制御対象１０５の位置を検出する位置検出手段６と、前記電磁弁１〜４に供給される油の温度を検出する油温度検出手段１０と、前記位置検出手段６が検出した位置及び前記油温度検出手段１０が検出した油温度に基づき前記弁作動手段１２、１３が制御するパルス幅のデューティ比を決定する制御計算手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】排出側からガス流入が可能な圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 二次圧を受ける受圧面を備えた第１のピストン５と、弁体４と、ピストン５と弁体４とを接続する接続部材６を備え、減圧作動中には、接続部材６を介して、ピストン５と弁体４とが一体として駆動する圧力調整弁１において、接続部材６の挿脱部６１がピストン５の挿脱穴５４に挿脱自在に挿入されており、二次圧室２５に形成された排出口２５１側からガスが送入された場合、挿脱部６１が挿脱穴５４から弁体４の方向へ移動し、弁体４がピストン５から離れて開閉口２３１を開放する。この弁体４の移動により、排出側からのガスの送入が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 急速開放できると共に二次側圧力を目的とする圧力以下に制限することができる簡単な構造の急速開放調圧弁を提供する。
【解決手段】 急速開放調圧弁を本体１、弁体部材２、バネ受け３、バネ４、封圧機構５、弁作動機構６等で構成し、弁作動機構６の作動で尖端６５が封板５２を破って開受圧面２５に入口１１ａの圧力をかける。この状態で、弁座１３の当たり面直径、閉受圧面２４及び開受圧面２５の受圧面積、並びにバネ４の力を、出口１２ａの圧力が所定圧力以下になる関係に定める。弁作動機構６の不作動時は、弁キャップ２２に作用する入口圧力による力がバネ４に勝って弁を閉じる。弁作動機構６の作動時は、開受圧面２５に作用する力が弁キャップ２２に作用する力を相殺してバネ力で弁を開く。出口圧力上昇時には、閉受圧面２４に作用する力がバネ力に勝って弁を閉じ、出口圧力を一定以内に制限する。これによって管、弁等の耐圧は、低くてすむ。 （もっと読む）

【課題】 真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等のシステムにおける異常を早期に検知することができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】 ポテンショメータ１８を介して取得される真空比例開閉弁１６のバルブ開度が予め設定された設定値Ｘ１に到達したときに（Ｓ２２：ＹＥＳ）、圧力センサ１４，１５を介して取得される反応室１０の真空圧力が予め設定された設定値Ｘ２よりも大きい場合（Ｓ２４：ＮＯ）、真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等のシステムにおける異常が発生していると判断し異常時処理を行う（Ｓ２５）。そして、設定値Ｘ１，Ｘ２は、真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等の各異常を適切に検出することができるように実験などにより予め求めておく。 （もっと読む）

【課題】半導体又はフラットパネルディスプレイ製造アセンブリの真空チャンバのための圧力制御方法を提供する。
【解決手段】本発明は、チャンバをガス抜きするためのポンプと、チャンバ内へのガスの流入を可能にするための流量コントローラとを含む圧力制御システムを備えた真空システムのチャンバ内の圧力を所要圧力に設定する方法に関し、本方法は、圧力増加率を増大させるために、圧力が所要圧力を超過することを許さない過渡期間にわたって発生するチャンバに入る及び／又はそこから出る初期流量を所要圧力を超える圧力を達成するように設定する段階と、過渡期間が経過した後のチャンバに入る及び／又はそこから出る事前設定流量を所要圧力を達成して維持するように設定する段階とを含む。所要圧力を達成して維持するために、Ｉｐｅｒｉｏｄが経過する。 （もっと読む）