【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ独立して制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力がそれぞれ独立して制御される。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】 船舶用エンジン発電機の減圧ラインなどに設置され、減圧弁にストレーナー、安全弁、圧力ゲージ及び排気バルブを一体的にユニット化して原価低減及び管理効率性の向上を達成し、減圧弁関連所要装置の設置重さを減らして軽量化し、設置空間を最小化し、組立作業を容易にした減圧弁を提供する。
【解決手段】 減圧弁１ボディ２の一側に形成された流体流入孔３と開閉孔７の間には円筒膜型のストレーナー４が設置され、前記流入孔３の一側に連通するパイロット管１２を通じて調節ノブ１３で排出圧力値をセットすることができるようにしたパイロットバルブ１０がボディ２の上部に設置され、前記パイロットバルブ１０を通じて圧力が連通するようにボディ２の上部に形成されるダイアフラムチャンバー１４と、前記ダイアフラムチャンバー１４の内部に設置されるダイアフラム１１と、前記ダイアフラム１１の下部に連接するようにボディ２に上下方向に設置されるピストン９と、前記ピストン９の下部に連結され、スプリング８によって上方に弾支されることにより、流入孔３から排出孔５に排出される流体を開閉断続するディスク６と、前記ダイアフラム１１とピストン９の上部の連接部に設置される安全弁１５と、前記排出孔５には圧力ゲージ１６が設置されて、排出される流体の圧力をチェックすることができるようにし、前記ボディ２の下端部に設置される残存水排出バルブ１７を含む。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】構造を単純にすることにより小型化を容易にし、腐食性のある流体を流しても劣化しにくいバルブおよびそれを用いた燃料電池を提供する。
【解決手段】流体の導入口１および導出口２と、前記導入口および導出口を結ぶ流体流路２９と、前記流体流路中に設けられた弁体４を有するバルブであって、前記流体流路２９の内部と外部とを隔てて配置され、前記流体流路の内部の圧力と外部の圧力の差圧によって変形するダイアフラム３と、前記ダイアフラムに設けられ、かつ前記ダイアフラムを変形させる形状記憶合金、熱膨張物質、電磁石から選ばれた少なくとも１種からなるアクチュエータ７を有し、前記ダイアフラム３はバルブ軸５を介して弁体４と連結し、前記ダイアフラムの変形により弁体が変位して開閉するバルブおよびそれを用いた燃料電池。 （もっと読む）

【課題】初期充填の際、２次室内に液体を円滑に充填させることができる共に、液体を２次室内全域に行き渡らせることできる。
【解決手段】２次室の内面壁１８５は、最大マイナス変形したダイヤフラム１７１が倣うように接触する形状に形成され、内面壁１８５には、中心部に開口した連通流路１７３の２次室側開口部１８６と、下部に開口し流出ポート１９０に連通する流出開口部１８７と、２次室側開口部１８６から上方に延びる上昇溝部２２２、および上昇溝部２２２の頂端から内面壁１８５の周縁部に倣って流出開口部１８７まで延びる下降溝部２２３から成る流路溝２２１と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整を精度良く行うことができると共に、高速の吸引流速で、機能液を強制吸引することができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する圧調整用連通流路２０２を開閉する圧調整用弁機構２２１と、１次室と２次室とを連通する吸引用連通流路２０１を開閉する吸引用弁機構２１１と圧調整用弁機構２２１および吸引用弁機構２１１を大気圧基準で開閉動作させるダイヤフラム１７１と、を備え、圧調整用弁機構２２１は、ダイヤフラム１７１の小さな凹変形によってのみ圧調整用連通流路２０２を開放し、吸引用弁機構２１１は、ダイヤフラム１７１の大きな凹変形によって吸引用連通流路２０１を開放することを特徴とする圧力調整弁。 （もっと読む）

【課題】小型な構成で、開閉動作に伴う圧力変動（脈動）を抑制することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】圧力調整弁２７において、流入ポート７１に連通する１次室６７と流出ポート８１に連通する２次室６８との連通流路を１次室６７側から開閉する弁体７０を、２次室６８の１の面を構成し弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体８４と拮抗しつつ閉弁方向に付勢するマグネット７２を備え、マグネット７２は、同極同士を対面配置され、互いの反発力で弁体７０を付勢する。 （もっと読む）

【課題】弁体を、円滑且つ精度良く開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、機能液供給装置に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室７６と、隔壁７７に直線状に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通すると共に、少なくとも１次室７５側の一部に同軸上に弁座８３を形成した連通流路７８と、同軸上において１次室７５側から弁座８３に進退自在に臨み、連通流路７８を開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、を備え、弁体８４は、先細りのテーパー形状に形成され、弁座８３は、弁体に対し相補的形状に形成されている圧力調整弁である。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体への気流の影響を排除することができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バルブハウジング７１の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、流入ポート８１を介して１次室７５に供給した液体を、圧力調整して２次室７６から流出ポート８６を介して供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３の挙動を許容すると共に大気に連通する空間を存して、受圧膜体７３を覆う風防カバー５１を備えた。 （もっと読む）

【課題】弁体の直進性を維持しつつ、連通流路の流路面積を十分に確保することができると共に、軸部が流路壁に引っかかるのを抑えることができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３と、連通流路１７３を１次室１６７側から開閉する弁体２１１と、弁体２１１を開閉動作させるダイヤフラム１７１と、弁体２１１を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２１７と、を備え、弁体２１１は、弁座Ｓに対し直接開閉動作するＯリング２１４と、Ｏリング２１４を保持する保持部２１２と、保持部２１２から延びてダイヤフラム１７１に当接する軸部２１３と、を有し、連通流路１７３は、軸部２１３が挿通する第１連通流路２２１と、弁座Ｓと第１連通流路２２１との間に穿孔した第２連通流路２２２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】初期充填の際、液体を２次室内全域に行き渡らせることができる圧力調整弁を提供する。
【解決手段】１の面を除いた２次室１６９の内面壁は、中心部に前記連通流路の２次室側開口部１８６が開口した平面壁部１８５ａと、平面壁部１８５ａの外側に連なり、最大マイナス変形したダイヤフラムが倣うように接触すると共に下部に流出ポートに連通する流出開口部１８７が開口した倣い壁部１８５ｂ、１８５ｃと、上方に向って平面壁部１８５ａから倣い壁部１８５ｂ、１８５ｃに切り込むように延設した流路溝２２１と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作可能な圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポートに連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、隔壁７６に貫通形成され、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、連通流路６９の１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、２次室６８の１の面を構成すると共に弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、を備え、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、それを保持する保持部および保持部から連通流路６９を挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部８２ｂから成る弁ホルダー８２と、を有し、少なくとも連通流路６９を形成した隔壁７６の流路形成部が、合成樹脂で形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、１次室と２次室とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持する保持部８２ａと、保持部８２ａから連通流路６９を挿通して延びる作動軸部８２ｂと、作動軸部８２ｂの先端に設けられ、受圧膜体７３に当接し、且つ平行に対面する当接板部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、１次室６７は、弁体７０の開閉動作をガイドする弁ガイド壁６７ａを有し、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持すると共に、弁ガイド壁６７ａに対し開閉動作方向にスライド自在に係合する保持部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 圧力制御システム及びその圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 圧力調整弁を含む圧力制御システムであって、圧力調整弁は、チャンバーを有し、前記チャンバーは、入口端及び出口端を有するバルブ本体を含み、移動できる方式で前記チャンバーに設置し、前記入口端と相対応し、且つ第一接触表面を有する第一ピストンと、前記第一ピストンと接続し、且つ前記出口端と相対応し、第二接触表面を有し、前記第一ピストンと同時に移動し、且つ前記第一接触表面は、前記第二接触表面より小さい第二ピストンとを含むピストンアセンブリを含む圧力制御システム。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気あるいは真空雰囲気に切り替え可能な室の内圧を切り替える際の開閉バルブの開動作に伴う発塵、あるいは開閉バルブ連通時の断熱膨張に伴う結露を防止する。
【解決手段】真空処理室１にウエハを搬入出するためのロック室３と、カセット内のウエハを、大気ローダ５、前記ロック室および真空搬送室７を介して前記真空処理室に搬入し、前記処理室で真空処理された処理済ウエハを搬出するための搬送制御を行う制御手段を備えた真空処理装置において、前記搬送制御手段は、前記ロック室内の圧力を大気圧に切り替えるとき、不活性ガス供給ライン１１の開閉バルブを一旦開放してロック室内の圧力を圧力計で設定した所定値に設定した後、大気連通ライン１８を開放したときロック室内に結露が生じるか否かを判定し、結露が生じると判定したとき大気連通ラインを介して供給される大気の流量を前記大気連通ラインに挿入された流量制御手段で制限する。 （もっと読む）

【課題】止水時において減圧弁体によるゴミ等の異物の噛込みを防止できる小型で安価な減圧弁装置を提供する。
【解決手段】減圧弁装置１０において、減圧弁体２２には止水用弁部９２と調圧用弁部９０とを設ける一方、弁シート７２には対応する止水用シート部７４と調圧用シート部７６とを設けて、１つの減圧弁機構に、ダイヤフラム３６と２次圧調節ばね３８とを含む駆動機構３４にて共通に駆動される、止水用弁部９２と止水用シート部７４とを含んで構成される止水弁機構と、調圧用弁部９０と調圧用シート部７６とを含んで構成される調圧弁機構とを具備させ、調圧時には調圧用弁隙間Ｓを止水用弁隙間よりも小さく保持し、止水動作時には減圧弁体２２を閉弁させた後に止水用弁部９２を止水用シート部７４に当接させて閉弁させ、止水を行う。 （もっと読む）