【課題】調圧シャフトの往復動に伴って発生する摺動抵抗を低減させることができ、もって製品の小型化とともに製品特性の高精度化を実現する。
【解決手段】給水配管に用いられる減圧弁１であって、流出側２次圧Ｐ_２とこれに対抗するよう配置した調圧スプリング１５のバネ力との均衡点を求めて作動する調圧ダイアフラム１４に連結されて往復動することにより弁体部２０を弁座部２１に対して接近離反させる調圧シャフト１６を有し、シャフト１６には２次圧Ｐ_２が背圧として作用する減圧弁１において、シャフト１６はホルダー２２により摺動自在に支持されるとともにホルダー２２はフローティング状態にて弁ケース２に保持される。また流入側１次圧Ｐ_１が背圧室２６に流入しないようシャフト１６およびホルダー２２間に設けられる内側シール３２は、ホルダー２２の内周面に設けた装着溝３３に装着されてシャフト１６の外周面に摺動自在に密接する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体の遮断が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 加圧流体を調圧機構を解して減圧する圧力調整器において、小型化を可能にし、さらに溶解性の高いガス等の流体に対しても長時間使用可能とする。
【解決手段】 圧力調整器は、流体供給源から１次圧力の加圧流体が供給される入口孔２１および減圧された２次圧力の加圧流体が排出される排出孔２２を有するとともに入口孔２１から排出孔２２に至る流路が内部に形成されたハウジング２と、流路の途中に配置されて、１次圧力を２次圧力に減圧する調圧機構とを備える。調圧機構が、流体の圧力変動に応じて変位するダイヤフラム８を含む移動体７を有する。入口孔２１と移動体７が、前記ダイヤフラムの変位する方向と略直交する方向に並んでいる。 （もっと読む）

本発明は、反応器（１）と、それに接続されかつ供給原料を反応器（１）に導入するために設けられた供給装置（２）との間の圧力差を維持するための圧力制御システムにおいて、圧力制御システムが加圧ライン（５）および圧力解放ライン（６）を備え、各ライン（５、６）が制御弁（７、８）を有し、両ライン（５、６）は結合して１つのメインライン（３）となって供給装置（２）に至り、メインライン（３）にはフィルタユニット（４）が設けられることを特徴とする圧力制御システム；ならびにそのような圧力制御システムを有する反応器および特定の圧力制御システムを有する反応器を用いる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムを複数枚有する制御弁において、腐蝕性かつ高清浄度が要求される流体の流通に対応可能とし制振機能を有する流量制御弁を提供する。
【解決手段】流入部１２側に配された第一ダイヤフラム５０と、流出部１５側に配された第二ダイヤフラム６０とを有し、各ダイヤフラムは、その外周部がボディ本体に固定されてチャンバ２０内に取り付けられ、チャンバを第１ダイヤフラム外側の第一外室２１、第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ流入部及び弁座１６並びに流出部を有する弁室２５、第二ダイヤフラム外側の第二外室３０に区分し、少なくとも第一又は第二外室のいずれかに加圧手段Ｍを備える制御弁において、第一外室内又は第二外室内のボディ本体１１に弁機構体の進退方向と同一方向に穿設した摺動孔８０を形成し、弁機構体に摺動孔の内面８１と空隙部８５を介して圧接摺動する樹脂弾性体よりなる制振部材９０を設ける。 （もっと読む）

【課題】チェインバを大気中に解放したときにパーティクルが流入するのを防止する。
【解決手段】入口ポート２２、出口ポート２４及びパイロット室を具えた本体２０と、ばね４８によって本体２０上部に取付けられ、滑り面２９ａ，２９ｂに対して軸方向に摺動可能に保持されたスプールと、入口ポート２２の気体の圧力を検知する絶対圧センサＳＡ及び入口ポート２２の気体の圧力と大気圧との差を検知する差圧センサＳＢと、パイロット室に圧力調整用ガスを供給する制御バルブＶと、各センサＳＡ，ＳＢの切換信号を送り、各センサＳＡ又はＳＢの出力に基づいて制御バルブＶを駆動する制御回路からなる。成膜時には、絶対圧センサＳＡで検知した入口ポート２２の圧力Ｐ１を用いて入口ポート２２の絶対圧が制御され、チェインバ解放時には、差圧センサＳＢの出力を用いて、チェインバ内部の圧力が大気圧に戻される。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの振動を抑制するのに有利な圧力調整バルブおよび燃料電池発電システムを提供する。
【解決手段】圧力調整バルブは、ダイヤフラム室をもつハウジングと、ダイヤフラム室を第１室と第２室とに区画するダイヤフラム３と、１次側通路と、２次側通路と、絞り開度調整機構とを具備する。ダイヤフラム３は、受圧部３０を示す断面において、弾性率または単位投影面積当たりの質量が他の部分よりも異なる振動抑制部３６を備えている。振動抑制部３６は、好ましくは、弾性率または単位投影面積あたりの質量が相対的に低い第１部分３７と、第１部分３７よりも弾性率または単位投影面積あたりの質量が相対的に高い第２部分３８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 装置自体の大幅なコンパクト化を図ると共に、流水路内を流れる水の摩擦損失を小さくする。
【解決手段】 同一軸線上に配置した流入口２ａと流出口２ｂとの間に直線状の流水路Ａを有し、当該流水路Ａの途中に弁口２ｃ及び弁座２ｄを形成した隔壁２ｅを設けてその上流側に一次側流水路Ａ１を、又、その下流側に二次側流水路Ａ２を夫々形成した筒状のボディ２と、ボディ２の一次側流水路Ａ１内に気密状態で軸線方向へ移動自在に配設した略筒状のスライダー３と、スライダー３の下流側端部に設けられ、ボディ２の二次側流水路Ａ２内に位置して弁座２ｄに当離座するスライダー３の受圧面積と同等の受圧面積を有する弁体４と、ボディ２とスライダー３との間に介設され、弁体４が弁座２ｄから離座する方向へスライダー３を附勢すると共に、その附勢力を調整可能な弾性体５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 延長ホ−ス先のノズル等の閉開が，元栓側に設けた弁が連動する様に装置した自動弁装置を提供する。
【解決手段】 元栓に取付けた，メンパイプ（１）を貫いて自動弁室（２），副自動弁室（３）を設け，圧力の変化で両方の内側を移動する様に設けた，動弁体（４）の往復運動が，弁の閉開をする様にした「請求項１」の自動弁装置。 自動弁室（２）の隣に補助弁室（１５）を設け，内部に設けた補助弁（１６）の往復運動が，動弁体（４）の運動を後押しする様にした，「請求項２」の自動弁装置。 自動弁室（２），副自動弁室（３）の装置の代わりに，ベロ−ズ（２４）の弾性力を利用しての，動弁体（４）の往復運動が弁の閉開をする，「請求項３」の自動弁装置。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で燃料電池への燃料ガス供給量を適正化することのできる燃料電池システム及びその運転方法を提供すること。
【解決手段】 水素供給源と、水素ガスを用いて発電を行う燃料電池２と、水素供給源から供給される新たな水素ガスと燃料電池２から排出された水素オフガスとを合流させて燃料電池２に送るエゼクタ２４とを備えた燃料電池システムに、水素供給源とエゼクタ２４との間に、パイロット圧に応じて水素供給源からエゼクタ２４に供給される水素ガスの流路面積を制御するレギュレータ３２を設ける。このレギュレータ３２には、燃料電池２から排出された水素オフガスのガス圧をパイロット圧として与える。 （もっと読む）

【課題】ガス圧力調整器および調整器の組立および分解方法
【解決手段】ガス圧力調整器（１）は、第１のガス入口管（４）および第２のガス出口管（６）、ガスが第１管（４）から第２管（６）に流れる校正ガス通路（８）、本体（２）に少なくとも部分的に収容され、校正通路（８）の開口を調整するために第１定義線（Ｄ）に沿って長手方向 に移動するシャッタ（９）、シャッタ（９）を駆動するためのデバイス（１４）およびシャッタ（９）の運動に対抗する調整器ばねユニット（３０）を有する本体（２）を備えている。 （もっと読む）

調整弁が、ベース（１４）に接合されているキャップ（１２）を有する外部ハウジング（１０）を備える。ハウジングの内部は障壁（２２）によってヘッド部（２４）とベース部（２６）とに分けられており、後者は調整アセンブリ（３２）によってさらに流体チャンバ（２３’）とばねチャンバ（２３”）とに分けられている。キャップ内の流入口（２８）と、流入口と９０°ずれている流出口（３１）とは、流体チャンバを介して接続されている。可変圧の流体が流入口から流体チャンバに流れ、流体が実質的に一定の圧力で流出口を通って流体チャンバから出ていくように調整アセンブリが設けられている。
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【課題】 給湯装置の利用の度に、給湯路側から湯水が出てしまうといった使い勝手の悪さをなくし、かつ、給湯装置の寿命も長くできるようにする。
【解決手段】 弁本体ボデイ内２に、弁室３と、弁室３に流体が流入する一次側流路４と、弁室３から流体が流出する二次側流路５とを設ける。弁室３に収容された弁体８には開弁方向の付勢力をメインばね９により印加し、二次側流路５の二次圧が設定圧よりも大のときには二次圧によりメインばね９の付勢力に抗して閉弁方向に移動して弁部７により弁孔６を閉止する。二次側流路５の圧力が給湯熱交換器の後沸き現象等によってさらに高くなると、導圧路１０を介して二次側流路５から水が膨張タンク室１１に流れ込む水の力によって、弁体８に係止した可動部材１３が押圧ばね１５の付勢力に抗して弁体８の係止部１２と反対側に移動しながら膨張タンク室１１内に流入し、膨張タンク室１１を広げる構成とする。 （もっと読む）

【課題】別配管に安全弁を設けなくても安全を確保することができるとともに、省スペース、コストの削減を可能とすることができ、さらに単品でホースなどに接続するときも、同様に減圧弁の入力側の圧力を規制する。
【解決手段】圧縮装置から送られて高圧に設定された圧力タンク５の一次圧の圧縮空気を、減圧弁２０によって一次圧よりも低い二次圧に減圧させる減圧調整装置であって、減圧弁２０のハウジング２２には、圧縮空気の一次圧側の通路２３と、減圧後の二次圧側の通路２４と、一次圧側の通路からの圧縮空気を絞って二次圧側の通路２４に供給する弁体２６とを備え、ハウジング２２の一次圧側の通路に、弁口３９を開口し、この弁口には一次圧が所定の圧力以上になったときに一次圧側の通路２３を大気に開放する安全弁２１を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ピストンの過移動を抑制して、供給側のガス圧が急峻に変動する環境においても高精度の調圧を行うことができる減圧弁を提供すること。
【解決手段】 減圧弁１は、ピストン２５の外周面２５ａに配設されたリップシール３７により減圧室２６と圧力調整室３２との間のそのシール性を確保する。そして、ピストン２５の外周面２５ａに環状部材としてのＯリング３８を配設し、このＯリング３８をシリンダ２４の内周面２４ａに摺接させることにより、ピストン２５の過移動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 逆止弁構造および逆止弁用弁体並びに弁体の製造方法において、流体の供給が停止した際に、流体の逆流や漏出を確実に防止する。
【解決手段】 逆止弁構造の弁体６００ａは、通常状態では加圧流体の通過を許容し圧縮された状態では加圧流体の通過を阻止する被圧縮層６０８と、被圧縮層６００ａを隔壁５４２との間に挟んで配される、加圧流体を通過させない非透過層６０６とを有する２層構造からなり、空間６０２には、弁体６００ａの移動を所定範囲内に規制する規制部５３３が設けられ、加圧流体の供給時には被圧縮層６０８が通常状態となって加圧流体の通過を許容し、非供給時には、弁体６００ａが他方の空間６０２の圧力により隔壁５４２に押し付けられて被圧縮層６０８が隔壁５４２に圧接されて圧縮する。 （もっと読む）

【課題】 内蔵する弁体付勢ばねまたは負圧保持ばねを簡単に交換することができる圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 ダイヤフラム１７５が受ける大気圧を基準調整圧力として、機能液を機能液タンク９１から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１６１において、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する弁体１７６に付勢する弁体付勢ばね２６７は、蓋体１９０のハウジング本体１９２からの離脱に伴って共に離脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 人手が掛からず、ビール温度に近似の室温を感知してその温度に適応する炭酸ガス圧を自動で調整できる感温式自動減圧弁の提供。
【解決手段】 バネ部材１の伸縮により弁棒２を作動してガス流路の開度を調整する弁部３を有し、二次側のガス圧力を一次側のガス圧力よりも低い所望の圧力に調整する感温式自動減圧弁であって、弁棒２への押圧力を加減してガス流路の開度を調整する前記バネ部材１に作用する押圧力調節用螺子部材の代りに温度変化に追従して体積が膨張収縮する液体を封入した感温ベローズ体４を前記バネ部材１の頭部に嵌合載設して成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 仕切弁と自動減圧弁を兼用することで、低コストかつコンパクトな構成にて常に適正な放水圧が得られる消火栓用弁装置を提供する。
【解決手段】 流入口１１と流出口１２とを結び流路１３の途中に設けた弁口１３ｂと、流入側の水圧と流出側の水圧とに基づいて前記弁口１３ｂの開閉度を自動設定して流出側の水圧を所定水圧に自動調整する弁体１８を備えたステム２０と、前記ステム２０の一端に離接可能に当接して、ハンドル３３の回転操作により前記ステム２０を強制的に押動して前記弁体１８を前記弁口１３ｂに着座させて弁口１３ｂを閉じる締切り軸３０とを、備えたことを特徴とする。 （もっと読む）