【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力から予圧圧力値（Ｏリング４９のリーク開始位置）を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム式の調圧弁と同等の機能を、より安価な構造で確保することのできる調圧弁を提供する。
【解決手段】流入口Ａから弁室Ｂ、弁孔Ｃ及び調圧室Ｄを経由して流出口Ｅへ到る流路が形成されたボディ１０と、このボディ１０における弁室Ｂと反対側のシリンダ部内に移動可能に配置され調圧室Ｄの容積を増減する調圧ピストン２０と、弁孔Ｃの端部に形成された弁座１１ｃと接離可能であって弁室Ｂ内に移動可能に配置され流出口Ｅ側の二次圧が背圧として与えられた調圧シャフト３０と、この調圧シャフト３０を弁孔Ｃの開放方向へ調圧ピストン２０を介して付勢する調圧スプリング２２と、調圧シャフト３０を弁孔Ｃの閉塞方向へ付勢するサポートスプリング３２を備える。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】圧力調整やリリーフ時の設定を軽いハンドル操作で行うことができるようにする。
【解決手段】ケーシング１の内部に形成されたシリンダ部４と、シリンダ部４に摺動可能に配設されたピストン５と、ピストン５から弁体３側に延設され、先端部を弁座６１として内部にエア通路６を形成したピストン小径部５１と、弁体３を保持するとともに、ピストン小径部５１が摺動可能に挿入される弁室１２と、弁座６１が弁体３から離隔する方向にピストン５を付勢する圧力調整ばね７と、先端部が弁体３に当接するようにピストン小径部５１に挿入された中空のロッド８と、ロッド８の先端部が弁体３から離隔したときにロッド８を介して２次側通路２ｂを大気に開放するリリーフ通路９とを有する圧力制御弁において、２次側圧力を調整する圧力調整ハンドル１０をケーシング１に回転可能に配設し、圧力調整ハンドル１０の回転によりロッド８を軸方向に移動可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】 流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。
【解決手段】 流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ₂と制御圧の設定値Ｐｓｔとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器の開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、各整圧器の開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃと、該パイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃの設定圧力を調節する調節器７Ａ、７Ｂ、７Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて他の整圧器のパイロット整圧弁の設定圧力を調節するように調節器に指示する制御手段１１とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

【課題】シール性を損なうことなく、調整弁本体に対する管継手の着脱が容易であって且つ繰り返し行われる着脱に対し十分な耐久性を有する圧力調整弁を提供すること。
【解決手段】液体を大気圧基準で減圧供給する調整弁本体２に、チューブ接続用の管継手を接合して成る圧力調整弁１であって、調整弁本体２のバルブケーシング１１に形成した雌型の接続ポートと、管継手に形成され、接続ポートに差込み接合される雄型の接続口部１０４と、接続口部１０４の外周面と接続ポートの内周面との間に介設したシールリング５３と、接続口部１０４の接続ポートからの抜け落ちを阻止する抜止め部材１２５と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】止水状態を長時間継続しても、減圧動作を確実に行うことができる止水機能付減圧弁を提供すること。
【解決手段】
止水機能付減圧弁１の弁箱２内に、流入口１１から弁口１４に至る１次流水路Ａ１と、弁口１４から流出口１２に至る２次流水路Ａ２を形成する。１次流水路Ａ１の外周側にシリンダ室１６を形成し、スライダ３の摺動部材３１とコイルバネ５を収容する。２次流水路Ａ２内に、スライダ３の棒部材３２の先端に固定された受圧部材４を配置する。受圧部材４と弁座１５との間に、スライダ３の棒部材３２に挿通される貫通孔６３を有して弁座１５の接離方向に移動可能な弁体６を配置する。操作ハンドル７２の閉じ操作により、弁軸７１から弁体接続部材７３を介して弁体６に押圧力が付与され、弁体６が弁口１４を閉じて止水状態となる。止水状態においてコイルバネ５に圧縮力が作用しないので、止水状態が長期間継続してもコイルバネ５が劣化しない。 （もっと読む）

【課題】 流体制御弁を高温の圧力流体を供給する流体供給源と接続する場合に、外部に熱交換器を設けなくても、部材の熱膨張による影響がなく、圧力や流量を精度よく制御できる流体制御弁を提供することである。
【解決手段】 ボディ１に、弁部材１１，１３を組み込むとともに、この弁部材１１，１３に対して圧力流体を導く流入ポート７と、弁部材１１，１３によって圧力もしくは流量を制御された流体を流出させる流出ポート８と、流体供給源からの圧力流体を導く導入ポート６とを設け、上記導入ポート６と流入ポート７とを接続する冷却用迂回路９を、上記弁部材よりも外側におけるボディ１内に設ける。そして、この冷却用迂回路９を通過する過程で、高温の圧力流体がボディ１外の空気と熱交換して冷却されるようにした。 （もっと読む）

【課題】一次圧が低下しても取出しガス流量が低下せず、ガス容器内に残圧を確保しながら、ガス充填時に簡単に開弁でき、しかも減圧したガス圧力を所定の二次圧に精緻に制御できるようにする。
【解決手段】減圧部材(16)を開弁バネ(18)で開弁方向へ付勢する。減圧部材(16)を挟んで減圧弁座(15)とは反対側に受圧室(19)を形成し、減圧部材(16)に透設した減圧連通路(20)を介して出口路(11)に連通させる。出口路(11)に残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)に対し進退自在に配置する。残圧保持弁箱(24)の外面に閉止操作部(31)を設けて減圧連通路(20)に臨ませる。残圧保持弁箱(24)とハウジング(２)との間に戻しバネ(34)を配置して、残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)から離隔したガス取出し姿勢(Ｙ)へ付勢する。残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)に近接したガス充填姿勢に切り換えると、閉止操作部(31)で減圧連通路(20)を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】小風量の場所にも容易に適用できると共に、ハンチングの発生を確実に抑制する。
【解決手段】本発明は、高圧側から低圧側へ流通する空気量の変化に関係無く該両側間の差圧を一定に保持するための差圧保持ダンパ１０であって、前記高圧側に連通する下側開口１１から前記低圧側に連通する上側開口１２に向かって拡幅された筒状のテーパー管１３と、テーパー管１３内に設けられたガイド棒１６に沿って上下方向に浮遊可能な浮き子１７とを備え、浮き子１７の上下方向の浮遊によって浮き子１７とテーパー管１３の内面との隙間の面積が変化することにより下側開口１１から上側開口１２へテーパー管１３内を流通する空気量の変化に関係無く差圧を一定に保持可能なように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成を有し、小型化が容易であり、二次圧の設定を容易に行うことができる、空気圧レギュレータを提供する。
【解決手段】空気圧レギュレータ１は、二次側の設定圧を変更するとき、ハンドル部材４とアダプタ部材３の相対的な回転角度が０乃至３６０度の範囲内で、二次側の設定圧の変更が完了するように、ハンドル部材４とアダプタ部材３の間の螺合部１１を構成するネジのピッチとリードを設定した。ピッチとリードの関係は、ピッチとリードが等しい場合と、リードがピッチの整数倍の場合とを含む。いずれの場合も、ハンドル部材４とアダプタ部材３を相対的に回転させると、ハンドル部材４とアダプタ部材３は軸方向に相対的に変位し、圧力調整バネ２６の圧縮量を変化させる。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器の異常を、短時間で、かつ簡単な作業で検査し見出すことができるようにする。
【解決手段】この発明の圧力調整器異常検出装置１は、圧力調整器２の異常を検出する装置であり、圧力調整器２に冠着し内部が密閉状態となる蓋体３と、その蓋体３の内周面に取り付けられた内部検出用センサ４と、その内部検出用センサ４からの検出情報に基づいて圧力調整器２の異常の有無を判別する圧力調整器異常判別手段５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ１６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計１２で計測した流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成すると共に、流入流量と圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値とに基づいて等温化圧力容器１３から流出する流出流量を推定するオブザーバを構成し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】二次側に対するガスの供給、停止を簡単に行えるようにし、且つ二次側に供給するガスを安定した圧力とする。
【解決手段】減圧機構１１を内蔵し一次側から供給された高い圧力を持ったガスを減圧して二次側に供給し得るように構成した圧力調整器Ａに於いて、一次側のガス供給源に対し着脱可能に構成された一次側着脱部２と、高い圧力を持ったガスを減圧する減圧機構１１と、減圧されたガスを二次側に供給するために二次側作業部材を着脱可能に構成した二次側着脱部８と、一次側着脱部２と減圧機構１１との間に形成された一次側通路４と、減圧機構１１と二次側着脱部８との間に形成された二次側通路７と、減圧機構１１と一次側通路４と二次側通路７を内蔵したケーシング１と、を有し、一次側通路４又は二次側通路７に開閉弁５を設けると共に、開閉弁５を開閉する開閉ハンドル９をケーシング１の外周に回動可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の応答性を向上させるとともに調圧精度を高める。
【解決手段】ハウジング１１には一次側ポート１５と、一次側ポート１５に連通孔１７を介して連通する二次側ポート１６が設けられ、連通孔１７の弁座１８は弁体２１により開閉される。弁体２１に対向してハウジング１１内に設けられたダイヤフラム２５と弁体２１との間に配置されるステム４１は、ガイド孔４３に摺動自在に支持されており、リリーフ孔３０を開閉する先端の当接面４５と、弁体２１に当接する突き当て面４７とを有し、ガイド孔４３にフローティング状態となって支持されている。弁体２１にはこれを閉じる方向のばね力が弁ばね２３により加えられており、弁ばね２３から弁体２１にこれを傾斜させる方向の偏角荷重が加わっても、突き当て面４７と弁体２１との間で偏角荷重が遮断されてステム４１には軸方向のばね力のみが伝達される。 （もっと読む）

【課題】給気の停止過程又は開始過程や排気の停止過程又は開始過程において、室圧を設定値に保つことが可能な室圧制御システムを提供する。
【解決手段】回転数をインバータ制御可能な空調機１０によって空気が供給される各区画からの、定風量の排気ファン２３及び還気ファン２６による排気量を、ＶＡＶ弁２によって制御して、各区画の室圧を設定値に維持する。各区画への給気量を停止する場合では、給気通路１０１に設けられたＶＳＴ弁３を、給気通路１０１における通気量の変化の速度がＶＡＶ弁２による通気量の変化の速度を下回るような所要時間をかけて閉じる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で使用する真空圧力制御システムにおいて、給気したガスを正確な真空圧力値で迅速に保持できると共に、このガスを真空容器外に迅速に排気可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空圧力制御システム１は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、真空チャンバ１１と真空ポンプ１５との間に接続し、動力源として、エア供給源２０から供給される駆動エアＡＲにより、弁開度ＶＬを変化させて真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空開閉弁３０と、真空開閉弁３０を制御する真空圧力制御装置７０と、真空開閉弁３０の弁開度ＶＬを制御するサーボ弁６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。
【解決手段】本システムでは、液体を流通させる主供給ライン１２と、その主供給ライン１２の途中に設けられたポンプ１３と、主供給ライン１２から分岐させて設けられた複数の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎとを備えており、開閉弁２１により各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎが個別に開閉されて当該各ラインにおける液体の流通が許可又は禁止される。圧力制御部３０内のコントローラ３５は、各分岐ラインの開閉が要求される場合に、その開閉に伴う分岐ラインの流量変化分に相当する電空レギュレータ３２の制御量を算出するとともに、分岐ラインの開閉に同期させて、前記アクチュエータ制御量に基づいて電空レギュレータ３２の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】弁体に流体通路の外部の圧力が作用する外圧受圧面を形成した減圧弁において、流体通路の２次側に残圧が残らない減圧弁を提供する。
【解決手段】減圧弁１の１次側ポート７に供給された流体の圧力によって、弁体４２が弁座１９に押し付けられる力を減殺するように、弁体４２に弁室４１の外部の圧力が作用する大気圧受圧面４４を形成する。バルブスプリング４３には、大気圧受圧面４４を形成することによって減殺されたシート圧力を補完するバネ荷重を付与する。減圧弁１の流体通路の２次側を１次側に連結するバイパス通路２３を形成し、弁体４２が１９弁座に密着することによって流体通路が閉鎖され、かつ、１次側の流体圧力が２次側の流体圧力よりも低圧であるときに、バイパス通路２３を介して、流体通路の２次側から１次側に流体を吐出させるように構成する。 （もっと読む）