【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】 背圧室の容積を必要最小限として、一次圧及び流量などの過渡的な変動に対する応答性、二次圧安定性に優れたピストン式減圧弁を提供すること。
【解決手段】 ハウジング２内で軸線方向に摺動し、一次ポート３の弁座口１０を閉鎖するシート部２１を有するピストン２０と、ピストン２０によって仕切られた一次圧室６及び二次圧室８と、一次圧室６及び二次圧室８と連通するよう形成された弁室７と、二次圧室側からピストン２０に嵌入されるロッド１２とを備え、ピストン２０は、ロッド１２が嵌入される嵌入孔３０と、嵌入孔３０と一次圧室６とを連通させるように形成される連通孔３２とを有し、嵌入孔３０は、嵌入されるロッド１２に面する部分に形成される凹状のシール溝３６を有し、シール溝３６に設けられるシール部材３７によりロッド１２とピストン２０との間をシールすることによってピストン２０内に形成される背圧室３１を備える。 （もっと読む）

【課題】 小形で、出力ロッドを押し出す出力圧力を応答性良く制御できる小形押圧レギュレータを提供すること。
【解決手段】 内部空間１７を有するシリンダブロック１４と、前記内部空間１７に配置されて圧力制御室１７ａを形成するダイアフラム１８と、前記シリンダブロック１４に往復直線運動可能に保持され、前記ダイアフラム１８に連結される出力ロッド１５と、を有するエアシリンダ部１０と、前記エアシリンダ部１０に連結されるものであって、前記圧力制御室１７ａの圧力を制御する圧力制御部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基本機能を犠牲にすることなく、確実に、調節弁の開度制御の速応性や整定性などの制御性を向上させる。
【解決手段】供給電流Ｉが取り得る電流の範囲を複数の電流範囲に区分し、この電流範囲の区分毎に基本機能回路部７が実施する調節弁２の開度制御の制御形態（単ループ制御、二重ループ制御など）を定めたテーブルＴＢ１をメモリ５に格納しておく。ＣＰＵ４は、供給電流Ｉの実際値を検出し、基本機能回路部７に振り向けることが可能な余剰電流があるか否かを判断する。この場合、４ｍＡを超える供給電流を余剰電流とみなし、その余剰電流を基本機能回路部７に配分するように、電流調整部８へ指令を送る。また、供給電流Ｉの区分に応じ、テーブルＴＢ１に定められている制御形態で開度制御を実施するように、基本機能回路部７に指示する。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】パイロット式の整圧器１において、良好な静特性を維持しつつ、動特性の改善を図る。
【解決手段】整圧器１は、供給路２上に介設された主ガバナ３、一次側調整路４１上の絞り部４３、６６を含み、駆動圧を主ガバナ３の圧力感知室（第１室）３３に供給する駆動圧供給機構、二次側調整路４２上のパイロットガバナ５を含み、主ガバナ３の作動を制御する制御機構、及び、駆動圧供給機構の圧力降下に係る絞り特性を変更する絞り特性変更手段、を備える。絞り特性変更手段は、一次圧Ｐ１と駆動圧Ｐｃとの差圧が所定値以上のときには、流量変化に対する圧力降下が相対的に小さい絞り特性にし、差圧が所定値よりも小さいときには、流量変化に対する圧力降下が相対的に大きい絞り特性にする。 （もっと読む）

【課題】 応答性、耐久性及び信頼性に優れ、安定した出力特性を得ることができる減圧弁を提供する。
【解決手段】 減圧弁１は、ハウジング２を備え、このハウジング２は、一次ポート１７と二次ポート１８とに繋がる弁通路１９を有している。また、ハウジング２内には、弁体３が設けられており、この弁体３は、弁通路１９を閉じる閉位置と弁通路１９を開く開位置との間で移動して弁通路１９の開度を調整可能になっている。また、弁体３は、二次圧ｐ_２により閉位置に向かって押されており、この二次圧ｐ_２に抗して弁体３を開位置に向かって付勢するようにばね部材５が設けられている。更に、弁体３には、転がり軸受４が設けられ、この転がり軸受４によって弁体３が移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】現物サイズの大容量の圧油タンクを備えた圧油供給制御装置を用いて圧油確立訓練を実施する際に、個々の研修者が圧油確立訓練を修了するのに要する時間を大幅に短縮できる。
【解決手段】油槽３と、圧油タンク５と、圧油タンクと配管接続された小型圧油タンク７と、圧油タンクと小型圧油タンクとの間の油供給用配管に設置される油用バルブ１１と、油槽から小型圧油タンクを経由して圧油タンクに油を供給するポンプ１５と、を備え、小型圧油タンク内の油圧を高める場合には、油用バルブを開放することによって圧油タンク内の圧油を小型圧油タンク内に供給する。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力からＯリング４９のリーク開始位置を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力から予圧圧力値（Ｏリング４９のリーク開始位置）を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】チャタリング現象を防止できる真空弁制御装置を提供する。
【解決手段】液体の液位変動によって真空弁を開閉させる真空弁制御装置２である。
そして、液位変動を検知する検知管内の圧力変動によって弾性変形する検知ダイヤフラム２２が配置される検知空間２３と、検知ダイヤフラム２２の弾性変形に伴うプランジャ２４の移動によって開閉される検知弁２５と、検知弁２５が開閉されて導入される真空圧によって弾性変形する切替ダイヤフラム２６が配置される切替空間２７と、切替ダイヤフラム２６の弾性変形に伴って移動されて真空弁に真空圧又は大気圧を選択的に導入する切替弁２８と、を備えるとともに、検知空間２３と切替空間２７とは連通されないで分離される。 （もっと読む）

フロー制御弁は、流体入口、流体出口、第１作業ポート及び第２作業ポートを包含するハウジングを含む。ハウジングは、スプール孔及びパイロットスプール孔を形成する。主段階用スプールはスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは前記パイロットスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは、主段階用スプールと選択的に流体連通されている。マイクロプロッセサは、制限され構造化された制御器及び補償制御器を持つ制御器を含む。制限され構造化された制御器及び補償制御器の出力は合計され、パイロット段階用スプールに通信される電気信号を形成する。 （もっと読む）

ガス調整器は、アクチュエータ、レギュレータバルブ、および圧力負荷装置を備える。圧力負荷装置は、ダイヤフラムの反対側表面に印加されレギュレータにより制御される下流側圧力に対抗するために、アクチュエータのダイヤフラムの表面に圧力負荷を提供する。下流側圧力を調整するために、下流側圧力が変化しダイヤフラムが制御要素を動かすようにずれても、圧力負荷装置は特定の負荷圧力を維持する。レギュレータは、制御要素にかかる上流側圧力の力を打ち消すために、バランス力を印加するバランストリムをさらに備えてもよい。
（もっと読む）

【課題】メンテナンスを容易に行うことができる止水栓装置を提供する。
【解決手段】流入口34bが形成された止水栓装置本体20と、止水栓装置本体20内に螺合された第１回転軸部材46と、第１回転軸部材46に取り付けられ、第１回転軸部材46が回転されると、軸方向に移動され、流入口34bを開閉する弁部材56とを備えた止水弁ユニット2aと、止水栓装置本体20内の止水弁ユニット2aの下流側に配置され、第１回転軸部材46と同軸に延びかつその一方の端に第１回転軸部材46の端部と係合可能な係合端が形成された第２回転軸部材48と、第２回転軸部材48の他方の端に取り付けられ、回転操作することにより第１回転軸部材46を回転させる操作部48cとを備え、止水栓装置本体20に組み込まれた調圧弁ユニット2bとを有し、調圧弁ユニット2bは、弁部材56が流入口34bを閉鎖したままの状態で止水栓装置本体20から取り外し可能である。 （もっと読む）

【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）