【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 小形で、出力ロッドを押し出す出力圧力を応答性良く制御できる小形押圧レギュレータを提供すること。
【解決手段】 内部空間１７を有するシリンダブロック１４と、前記内部空間１７に配置されて圧力制御室１７ａを形成するダイアフラム１８と、前記シリンダブロック１４に往復直線運動可能に保持され、前記ダイアフラム１８に連結される出力ロッド１５と、を有するエアシリンダ部１０と、前記エアシリンダ部１０に連結されるものであって、前記圧力制御室１７ａの圧力を制御する圧力制御部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で容易に高圧側と低圧側に作動バネのバネ荷重を大幅に変更可能とする安全弁を提供する。
【解決手段】安全弁１は、二つの口部１３，１５を備えた弁箱１０と、弁箱１０内を一次室１４と二次室１６とに区画するダイヤフラム２と、ダイヤフラム２に結合されたダイヤフラム押さえ３と、一次室１４と二次室１６とを連通する弁孔３４と、弁孔３４を開閉自在とする弁体５と、ダイヤフラム押さえ３に受け止められてダイヤフラム２を付勢して一次室１４内の超過圧力によりダイヤフラム２が応動して弁体５が開弁する圧力の設定を行う作動バネ４とを備える。弁箱１０は、ダイヤフラム２を収容するダイヤフラムケース１１と、作動バネ４を収容し作動バネ４の支点側となる端部を支持するバネケース１２とにより構成され、バネケース１２は、ダイヤフラムケース１１に対して作動バネ４のバネ圧方向に移動可能に螺合接続されている。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】分離向上等の目的で分析条件を時間変化させる測定においても圧力変動の小さい超臨界流体用圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 超臨界流体が通る流路に設けられた弁室１２と、
該弁室１２に配置され、弁閉時に弁室１２へ先端部が嵌め合わされ、弁開時に弁室１２より退避するよう電気的に操作された弁体１６と、を備えた弁と、
前記弁室１２の上流側又は下流側の流路内超臨界流体圧力を検出する圧力検出手段２２と、
前記圧力検出手段２２により検出された圧力が、目標圧力となるように制御する開閉制御手段２４と、
前記超臨界流体の状態により開時の弁開度を調整する弁開度調整手段３０と、
を備えたことを特徴とする超臨界流体用圧力制御装置１０。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構を収容するボディに、減圧室の圧力が所定圧以上となるのに応じて開弁して減圧室の圧力を外部に解放するリリーフ弁が配設されるガス用減圧弁において、ガスの排出位置を任意に設定することを可能としつつ部品点数および組付工数の増大を回避した安価な構成で、リリーフ弁をボディに配設する。
【解決手段】リリーフ弁２１が、摺動孔７５を有してボディ１６に一体に設けられる円筒状の継手部７４と、摺動孔７５に摺動可能に嵌合されるリリーフ弁体７６と、摺動孔７５の外端部に嵌合、固定されるキャップ７７と、リリーフ弁体７６およびキャップ７７間に設けられるコイルばね７８とを備え、リリーフ弁体７６を着座させることを可能とした環状のリリーフ弁座８１が、減圧室に通じるリリーフ弁孔８０を中央部に開口させて前記摺動孔７５の内端に形成される。 （もっと読む）

【課題】構造を単純にすることにより小型化を容易にし、腐食性のある流体を流しても劣化しにくいバルブおよびそれを用いた燃料電池を提供する。
【解決手段】流体の導入口１および導出口２と、前記導入口および導出口を結ぶ流体流路２９と、前記流体流路中に設けられた弁体４を有するバルブであって、前記流体流路２９の内部と外部とを隔てて配置され、前記流体流路の内部の圧力と外部の圧力の差圧によって変形するダイアフラム３と、前記ダイアフラムに設けられ、かつ前記ダイアフラムを変形させる形状記憶合金、熱膨張物質、電磁石から選ばれた少なくとも１種からなるアクチュエータ７を有し、前記ダイアフラム３はバルブ軸５を介して弁体４と連結し、前記ダイアフラムの変形により弁体が変位して開閉するバルブおよびそれを用いた燃料電池。 （もっと読む）

【課題】圧力調整を精度良く行うことができると共に、高速の吸引流速で、機能液を強制吸引することができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する圧調整用連通流路２０２を開閉する圧調整用弁機構２２１と、１次室と２次室とを連通する吸引用連通流路２０１を開閉する吸引用弁機構２１１と圧調整用弁機構２２１および吸引用弁機構２１１を大気圧基準で開閉動作させるダイヤフラム１７１と、を備え、圧調整用弁機構２２１は、ダイヤフラム１７１の小さな凹変形によってのみ圧調整用連通流路２０２を開放し、吸引用弁機構２１１は、ダイヤフラム１７１の大きな凹変形によって吸引用連通流路２０１を開放することを特徴とする圧力調整弁。 （もっと読む）

【課題】 受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】小型な構成で、開閉動作に伴う圧力変動（脈動）を抑制することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】圧力調整弁２７において、流入ポート７１に連通する１次室６７と流出ポート８１に連通する２次室６８との連通流路を１次室６７側から開閉する弁体７０を、２次室６８の１の面を構成し弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体８４と拮抗しつつ閉弁方向に付勢するマグネット７２を備え、マグネット７２は、同極同士を対面配置され、互いの反発力で弁体７０を付勢する。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、１次室６７は、弁体７０の開閉動作をガイドする弁ガイド壁６７ａを有し、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持すると共に、弁ガイド壁６７ａに対し開閉動作方向にスライド自在に係合する保持部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、弁体８４の開閉動作により圧力調整して２次室７６に供給し、２次室７６からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、弁体８４は、１次室７５に配設され弁座８３に対し直接開閉動作する弁体本体９４と、弁体本体９４を保持する保持部９７、および保持部９７から連通流路７８を同軸上に挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部９９から成る弁ホルダー９５と、を有し、作動軸部９９は、受圧膜体７３に向って先細りのテーパー形状に形成され、連通流路７８は、作動軸部９９に対し相補的形状に形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、１次室と２次室とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持する保持部８２ａと、保持部８２ａから連通流路６９を挿通して延びる作動軸部８２ｂと、作動軸部８２ｂの先端に設けられ、受圧膜体７３に当接し、且つ平行に対面する当接板部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】チャタリング現象を防止できる真空弁制御装置を提供する。
【解決手段】液体の液位変動によって真空弁を開閉させる真空弁制御装置２である。
そして、液位変動を検知する検知管内の圧力変動によって弾性変形する検知ダイヤフラム２２が配置される検知空間２３と、検知ダイヤフラム２２の弾性変形に伴うプランジャ２４の移動によって開閉される検知弁２５と、検知弁２５が開閉されて導入される真空圧によって弾性変形する切替ダイヤフラム２６が配置される切替空間２７と、切替ダイヤフラム２６の弾性変形に伴って移動されて真空弁に真空圧又は大気圧を選択的に導入する切替弁２８と、を備えるとともに、検知空間２３と切替空間２７とは連通されないで分離される。 （もっと読む）

【課題】主弁、排気弁にガイド機構を設けながら、潤滑剤を不要とし、弁自体の芯出しも可能な減圧弁を提供する。
【解決手段】１次圧力室１３と２次圧力室３２間を開閉する開閉弁１６と、２次圧力室の圧力変動に応じて変位するダイアフラム体２４と、ダイアフラム体に設けられた、２次圧力室と外気間を連通する排気穴及びこの排気穴２３を開閉する排気弁２６と、開閉弁及び排気弁を連動して開閉動作させる連動部材を備えた減圧弁であって、連動部材は、上記第１圧力室と２次圧力室を連通する弁通路１５を有する弁ガイド４０と、弁通路を貫通し、弁ガイドに形成されたピントル軸穴４１に摺動自在にガイドされたピントル３０を有し、ピントルの下端部に開閉弁を、上端部に排気弁を設け、弁通路及びピントル軸穴の延長上に排気穴を形成し、弁ガイド及び上記ピントルの一方は樹脂で形成し、他方は金属で形成した。 （もっと読む）

【課題】弁本体部が開成状態から閉成状態へと復帰する際にチャタリングが発生せず、安定した開閉状態を実現する真空弁制御装置を提供する。
【解決手段】水位検知用コネクタＣ１内の空気圧が大気圧以下の場合には、吸引口Ｍを大気圧側コネクタＣ２に連通させることにより、シリンダ内の上側空間の空気を吸引して真空弁本体を開成状態とし、水位検知用コネクタＣ１内の空気圧が大気圧より大きい場合には、吸引口Ｍを大気圧側コネクタ２に連通させることにより、空間に空気を導入して真空弁本体を閉成状態に復帰させる空気圧回路が形成されて、真空弁本体部が開成状態から閉成状態へと復帰する途中で開成状態と閉成状態との中間状態になった際に、空気圧回路駆動用の通路Ｐ２Ａ，Ｐ２ａから真空弁本体部７の閉成状態復帰用の通路Ｐ２Ｂ，Ｐ２ｃ，Ｐ２ｄへの空気吸入を防止するための隔壁ＰＷが設けられている。 （もっと読む）

【課題】分解作業を必要とせずに中圧減圧室の異常圧力状態が確認でき、ダイヤフラムなどの劣化を未然に防ぐことを可能にする圧力調整器を提供する。
【解決手段】中圧ダイヤフラム１１側に直接接して、ダイヤフラムの変位に追従して動作する検出用レバー４０の他端４２ａを目視できる目視窓４６をカバー４５に設けた。中圧ダイヤフラム１１の異常を、中圧ダイヤフラム１１側に直接接している検出用レバー４０の端部４２ａの変位を見ることで容易に検知できるようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で使用する真空圧力制御システムにおいて、給気したガスを正確な真空圧力値で迅速に保持できると共に、このガスを真空容器外に迅速に排気可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空圧力制御システム１は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、真空チャンバ１１と真空ポンプ１５との間に接続し、動力源として、エア供給源２０から供給される駆動エアＡＲにより、弁開度ＶＬを変化させて真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空開閉弁３０と、真空開閉弁３０を制御する真空圧力制御装置７０と、真空開閉弁３０の弁開度ＶＬを制御するサーボ弁６０とを備えている。 （もっと読む）