【課題】 機械的な特性に基づく位置決め誤差を補正することができるリニアモータを実現する。
【解決手段】 与えられた位置指令値に基づいて移動軸方向に直線的に移動制御されるスライダを有するリニアモータにおいて、
前記移動軸方向の所定距離毎のロール角，ピッチ角，ヨー角を測定して収集するデータ収集手段と、
このデータ収集手段の収集データに基づいてロール角，ピッチ角，ヨー角の変化を関数で近似する関数化手段と、
この関数化手段の関数に基づいて前記移動軸の垂直真直度と水平真直度を演算する積分演算手段と、
前記位置指令値、前記関数化手段の関数データ、前記積分演算手段の垂直真直度と水平真直度データに基づいて、前記スライダの絶対座標位置を演算する絶対座標位置演算手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 加速度を上げても振動が発生せず、なめらかに指令に追従できるリニアパルスモータを実現する。
【解決手段】 電流指令値と、位置指令値より変換される電気角指令値とに基づいてマイクロステップ駆動するリニアパルスモータにおいて、
前記電気角指令値と前記電流指令値とが入力され、前記マイクロステップ駆動を模擬する仮想化モータモデルと、
この仮想化モータモデルで算出した仮想的な移動子位置を機械角に変換する機械角変換手段と、
この機械角変換手段で変換した機械角と前記電気角指令値との偏差に基づいて補正値を算出する補正値演算手段と、
前記補正値を前記電気角指令値に加算する指令値補正手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】電磁アクチュエータのステップ駆動をオープンループ制御で速やかに安定的に行わせることの出来るアクチュエータ駆動装置、並びに、オープンループ制御のＶＣＭを用いて短時間でフォーカスサーチを行うことのできるカメラ装置を提供する。
【解決手段】可動部が弾性部材に支持されてなる電磁アクチュエータをオープンループ制御で駆動するアクチュエータ駆動装置である。そして、可動部を所定量変位させる場合に、電磁アクチュエータの駆動電流Ｉを第１電流値から一定の勾配で変化させて第２電流値にするとともに、前記一定の勾配で駆動電流を変化させる期間がｎＴ（Ｔは前記弾性部材の弾性力に基づく前記可動部の固有振動周期、ｎは自然数）に設定されている。 （もっと読む）

【課題】一つのストロ−クを構成する固定子上には一つの可動子が備えられ、その固定子に電流を供給するための電流ドライバも一つの構成では、二以上の可動子に対応することはできない。また、そのまま可動子を複数個搭載し、ストロ−ク上の一連の配設固定子コイルに電流を供給した場合には、供給電力ロスが大きくなったり、あるいは、選択的に固定子に電流供給する場合には、電流供給の可否を制御するスイッチや配線が多数必要になったりする問題が懸念される。
【解決手段】複数の可動子と、複数のコイルからなる励磁切り替え型固定子と、コイルに励磁電流を供給する通電手段を備えるリニアモ−タ装置であって、通電手段が、複数の可動子のうち少なくとも二以上の可動子が移動可能な共用コイル部へ、複数の可動子の位置に応じて、複数の励磁電流を選択的に供給するリニアモ−タ装置とする。 （もっと読む）

【課題】外乱などに起因する変動を効果的に抑えること。
【解決手段】制御装置は、制御対象を駆動する駆動部と、前記制御対象の位置を計測する位置計測部と、前記制御対象の位置と前記制御対象を駆動するための駆動制御値とが関連付けられた参照テーブルを作成するテーブル生成部と、前記参照テーブルを参照して前記位置計測部で計測された前記制御対象の位置に対応する参照値を出力する参照部と、前記参照部から出力された前記参照値を補正するための補正係数を生成する補正係数生成ユニットと、前記補正係数を用いて前記参照値を補正し補正指令値を生成する補正部と、前記補正指令値を前記駆動制御値に加算する加算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出誤差が小さく検出時間も短い永久磁石型同期機の初期位相検出方法、永久磁石型同期機の制御方法、移動装置、電子部品の製造装置、電子部品の検査装置、精密部品の製造装置、精密部品の検査装置を提供する。
【解決手段】永久磁石型同期機の初期位相の検出方法であって、コイルに直流電流を供給して可動子を振動させ、前記振動の振幅端の位置を測定し、前記位置の測定値と、前記振動の振動特性とに基づいて初期位相の検出を行うこと、を特徴とする永久磁石型同期機の初期位相検出方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ部材の等速運動時のヨーイング角を抑制する姿勢フィードバック制御手段を利用して、機械的共振に起因する振動を抑制する。
【解決手段】 平行に配置されたマスタ軸リニアモータ１０及びスレーブ軸リニアモータ２０と、リニアモータの軸方向にスライドして位置制御されるマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１と、スライダ間を結合し軸方向と同一方向に移動制御されるブリッジ部材３０と、ブリッジ部材３０の高さ方向の軸に対する回転角を検出してこれを抑制する姿勢フィードバック制御手段とを有するステージにおいて、ブリッジ部材３０上のマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１との結合部近傍に取り付けられた一対の加速度センサ１０２と、姿勢フィードバック制御手段のフィードバックループ内に設けられ、一対の加速度センサの検出値の差分値に基づく角加速度信号を入力して演算する角加速度フィードバック手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ピストンのストロークを検出することができないことに起因する不具合の発生が抑制されたリニアモータ制御システムを提供する。
【解決手段】ストローク制御部は、リニアモータが起動した後、相対的に低いキャリア周波数の指令値を出力するとともに、予め実験結果から決定された値であってピストンのストロークを算出することができる所定値まで変調率を大きくする。その後、ストローク制御部は、実際のストロークの値がストローク指令値以下の値である場合に、変調率を増加させ、一方、実際のストロークの値がストローク指令値よりも大きい場合に、変調率を減少させる。さらに、ストローク制御部は、変調率が所定値と所定値よりも大きな特定値との間の値である場合に、相対的に低いキャリア周波数の指令値を出力し、一方、変調率が特定値以上である場合に、相対的に高いキャリア周波数の指令値を出力する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減し、かつ装置故障を防ぐことが可能な交流電力生成装置およびスターリング冷凍機を提供する。
【解決手段】交流電力生成装置１００は、入力交流電圧を直流電圧に変換し、入力交流電圧を第１の変換倍率に基づいて直流電圧に変換するか、入力交流電圧を第１の変換倍率より大きい第２の変換倍率に基づいて直流電圧に変換するかを切り替える整流回路１と、整流回路１で変換された直流電圧を交流電圧に変換するインバータ回路２と、インバータ回路２で変換された交流電圧に基づいて駆動されるリニアモータＭと、整流回路１を制御する制御回路３とを備え、制御回路３は、整流回路１の変換倍率を第２の変換倍率から第１の変換倍率に切り替えた時点から所定期間経過前に整流回路１の変換倍率を第２の変換倍率に切り替えた場合、所定期間経過前は第２の変換倍率から第１の変換倍率への切り替えを行なわない。 （もっと読む）

【課題】各ドア間で高出力トルクを出力しているかの情報を伝達できない場合でも電源電圧の低下を招くことなく、各ドアで高出力トルクを出力してドアを動作させることができ、ドアの施錠も確実に行うこと。
【解決手段】個々にリニアモータ２で駆動される複数のドア１の開閉駆動を各ドア１の実装位置を識別して制御する際に、ドア１の駆動速度が所定速度以下となった場合、ドア１の開閉駆動用のトルクを高出力トルクに切り替えてドアの閉駆動を行う。この場合、運転指令演算部４１によって、高出力トルクでのドア１の閉駆動の時間が各ドアＱ又は予め定められた駆動組のドアで重ならないようにドア毎にドア高出力設定時間Ｓ６を設定し、この設定時間にのみ高出力トルクでドア１の閉駆動を行うように指令する。 （もっと読む）

【課題】 従来のリニアソレノイドの駆動装置では、リニアソレノイドの電流をモニタする電流モニタに１種類のゲイン特性が備えられているだけだったので、リニアソレノイドの仕様によっては制御範囲を超えてしまい、各仕様のリニアソレノイドに対応することが困難であった。
【解決手段】 リニアソレノイド駆動装置１であって、リニアソレノイド３に流れる電流値を制御するソレノイド駆動手段１１・１２・１３と、前記ソレノイド駆動手段により駆動されるリニアソレノイド３に流れる電流値をモニタして、モニタした電流をソレノイド駆動手段にフィードバックする電流モニタ１４とを備えており、前記電流モニタ１４には、該電流モニタ１４のゲイン特性の補正手段である外付け素子６が外付けされている。 （もっと読む）

本発明は製紙産業などで用いられる線形トラバースキャリッジに関し、空隙誘導モチベーターを組み込んで電力供給とトラバース機構の間の全ての機械装置を除去する。
特に、本発明は電気固定子巻線を有する誘導型線形モーターと、装置のトラバース長全体に渡って伸びる導電プラテンと、導電プラテンに取り付けられた強磁性体と、固定子巻線と導電プラテンとの間の空隙を維持し装置を支持するための支持手段と、前記装置を駆動するためのユーザーに選択されたフィードフォワード速度マップと、ユーザーに選択されたフィードフォワード速度マップに従って装置の動きを制御するコントローラとを備える線形トラバース装置に関する。
（もっと読む）

【課題】リニアモータの低コスト化と小型化及び低騒音化を達成することができるリニアモータの制御方法及びその制御方法が実行可能な制御装置並びにその制御装置を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】リニアエンコーダ２１からの位置情報に基づいて、リニアモータ２０の相切替を行う。これにより、リニアモータに内蔵されていた磁極検出手段を不要とすることができるので、リニアモータの低コスト化と小型化を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】 シャフト型リニアモータの位置決め制御システムにおける大幅なコストダウンを可能にし、シャフト型リニアモータの用途を飛躍的に拡張することができるだけでなく、シャフト型リニアモータにおける位置検出装置の一体化を容易にし、コンパクト化が求められる分野での利用を促進する。
【解決手段】 複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフト２と、該シャフト２にスライド自在に外嵌する可動子３とを備え、該可動子３の内部に設けられるコイルの励磁により、可動子３を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータ１の位置検出装置４であって、可動子３に、シャフト２の磁束を検出する磁気センサＳを設けると共に、該磁気センサＳの検出信号に基づいて可動子３の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】加減速時に重心軸周りに回転（ヨーイング）を起こしてもコイルと磁石の位置関係を正確に求め位相を補正することができ、カウンタマスを搭載したステージ装置に容易に対応可能で、大加速で駆動しても推力誤差による振動が発生しない、高精度な位置決めできるリニアモータ、ステージ装置およびリニアモータの位相補正方法、露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】多相コイルユニットと、磁石ユニットと、を備えるリニアモータであって、前記多相コイルユニットおよび前記磁石ユニットの各々の位置を検出するための位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記多相コイルに与える電流の位相を補正する補正手段と、を備えるリニアモータ。このリニアモータを用いるステージ装置およびリニアモータの位相補正方法。このステージ装置を用いる露光装置。この露光装置を用いるデバイス製造方法。 （もっと読む）

【構成】 力覚提示装置１０はデスクトップ装置１２を含み、デスクトップ装置１２はデスクプレート１４およびリニアインダクションモータ（ＬＩＭ）１６を備える。ＬＩＭ１６は、複数の固定子コア１６ａを含み、それぞれ、個別の固定子コイルＬが巻かれている。各固定子コイルＬには、個別にコントローラ２４が接続され、コントローラ２４はコンピュータ２０の指令情報に従って固定子コイルＬを駆動するか否かを判断する。固定子コイルＬを駆動する場合には、コントローラ２４は、指令情報が示す基準位置および力に応じて、位相およびパルス幅の調整された駆動電圧を生成して、固定子コイルＬに付与する。各コントローラ２４でこのような駆動処理が実行され、局所的に進行磁界が生成される。この進行磁界に従ってデスクプレート１４上の磁性体１８ａが移動され、磁性体１８ａを含むポインティング装置１８を把持するユーザに力が提示される。
【効果】 複数の場所で進行磁界を発生させれば、異なる力を同時に提示できる。 （もっと読む）

【課題】 トラッキング時における磁気ヘッドの位置決め制御の高精度化とシーク時間の短縮によるアクセスの高速化を同時に達成可能にするボイスコイルモータの駆動制御技術を提供する。
【解決手段】 磁気ヘッドを移動させるボイスコイルモータ（１０８）と、該ボイスコイルモータの駆動電流をＰＷＭ方式で駆動しコイルの電流を検出してフィードバック制御することにより上記磁気ヘッドの位置決め制御を行なうボイスコイルモータ駆動回路（１１０）とを有する磁気ディスク記憶装置において、上記ボイスコイルモータのコイル電流を検出するアンプ（１１３）の出力をサンプル・ホールドせずに誤差アンプ（１１４）に供給する。また、ＰＷＭ駆動時にボイスコイルモータのコイルの端子に印加される駆動電圧のスルーレートを制御する回路（ＰＷＭコンパレータ）を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置に高精度で位置決めでき、かつ、迅速に整定できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のオープンループ制御によりステージ３は所望位置まで迅速に駆動され、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のクローズドループ制御によりステージ３は所望位置に高精度に整定される。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置まで高速度で円滑に駆動できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、ステージ３の瞬時目標位置と速度フィードフォワード出力値と加速度フィードフォワード出力値との合算値によりフォーサをフィードフォワード制御するため、フォーサは、その瞬時目標位置に対し遅れを発生することなく、しかも振動を発生することなく円滑に駆動される。その結果、ステージは、所望位置まで高速度で円滑に駆動される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でコイル体の駆動制御が容易にでき且つ騒音を低減できるリニアモータ、レンズ駆動装置及びデジタルカメラを提供する。
【解決手段】 本発明のリニアモータ７は、ヨーク１７と、マグネット１９と、コイル体２３と、駆動制御部３１とを備え、コイル体２３を構成するコイルに通電して生じる電磁力によりヨーク１７に対してコイル体２３が相対的に直線駆動するリニアモータであって、駆動制御部３１はコイル体２３にパルス電流を供給し且つ供給するパルス電流の周波数を可聴帯域外の周波数としている。 （もっと読む）