【課題】３自由度以上の回転が可能な球面モータの動作制御を直感的に把握し易い状態で行う。
【解決手段】任意の方向に回転が可能な概球回転体の運動に係る信号出力に基づき、球面モータ３００のロータを動作させるために、球面モータ３００の界磁コイル３０９への通電パターンを生成する界磁コイル通電パターン生成部２０１と、前記通電パターンに基づく駆動信号を出力する駆動信号出力部２０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】電力変換器の切替え時の出力電圧振幅制限に伴う推力リプルを低減させることができるリニアモータ制御装置を提供する。
【解決手段】固定子巻線が界磁可動子の移動方向に複数区分されたリニアモータを、位置センサが検出する界磁可動子位置に基づいて区分毎に備えられた電力変換器を切替えて、界磁可動子を移動させるように固定子巻線に電力を供給するリニアモータ制御装置であって、電力変換器を切替える際、電力変換器の出力電圧制限または出力電流応答遅れを防止するように構成した。 （もっと読む）

【課題】異常を早期に検出することのできるリニアアクチュエータの駆動方法を提供する。
【解決手段】振幅制御部４０は、固定子１１に対して往復動される可動子１２の振幅を検出し、その検出した振幅の時間的変化に応じて負荷の経時的な変動を検出し、その変動から異常を検出する。また、振幅制御部４０は、検出した振幅を制御出力部５０に出力する。この制御出力部５０は、制御出力部５０からの振幅情報に基づいて、可動子１２を往復動させるための駆動電流Ｉｄを制御する。 （もっと読む）

【課題】逆転暴走状態を誤認することなく正確に検出可能なドア駆動制御装置、及び、従来よりも安全性を向上させたドア駆動制御方法を提供する。
【解決手段】ドア１の駆動用のモータ２に電力を供給する電力変換器１４を備え、ドア１の速度検出値と速度指令値とを用いたフィードバック制御により電力変換器１４を運転し、ドア１の速度を制御するドア駆動制御装置に関する。速度検出値を用いてドアの加速度を演算する加速度演算手段と、この加速度演算手段から出力された加速度検出値と前記速度検出値とから所定時間後のドアの速度を予測し、その予測速度が正または負の第３の設定速度を超えた場合に、予測速度異常信号を出力する異常判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置フィードバック機構を用いたモータの制御において、整定時間を短縮することができる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、外部より一定間隔ごとに入力される位置指令値から位置指令値の変化量を算出し、算出した変化量に基づいて、モータにおいて生じる位置指令値に対する動作の遅れを補正する補正値を算出する位置指令補正部と、補正値により位置指令値を補正した補正位置指令値に応じた電力をモータに供給する駆動部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールを用いずにリニアモータの位置決め精度を改善することができるリニアモータの制御装置を提供する。
【解決手段】リニアモータの制御装置は、リニアモータの電機子が有している磁気センサであってリニアモータの駆動用磁石より生じる磁界の方向に応じた信号を出力する磁気センサから出力される信号の変化に基づいてリニアモータの可動子の位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した可動子の位置と外部より入力される位置指令値とに基づいて速度指令値を算出する位置制御部と、リニアモータに備えられている複数のコイルに流れる電流値から可動子が移動する速度を推定する推定部と、位置制御部が算出する速度指令値と推定部により推定する可動子の推定移動速度とに基づいて電流指令値を算出する速度制御部と、速度制御部が算出した電流指令値に応じて複数のコイルに電力を供給する電力変換器とを備えている。 （もっと読む）

【課題】固定子と可動子との間の距離の変化を検知可能な検知方法、この検知方法による検知結果に基づいて基板にパターンを転写露光する露光方法、及びこの露光方法を利用してデバイスを製造するデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】検知方法は、第１方向に沿って配列された複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第１の推力の大きさを検出し、複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度とは異なる第２の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第２の推力の大きさを検出し、第１及び第２の速度と、第１及び第２の推力の大きさとを用いて、固定子と可動子との間に作用するコギング力の大きさを算出し、算出ステップによって算出されたコギング力の大きさに基づいて、固定子と可動子との間の距離の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】磁気センサが出力する信号に周期的な変動成分が含まれる場合においても、リニアモータを安定して制御する。
【解決手段】リニアモータを制御する制御装置は、外部より入力された単位時間当たりに可動子を移動させる距離を示す位置指令に基づいて、可動子を等速にて移動させる等速制御と、可動子の速度を加速させる加速度制御とのいずれか一方を選択し、等速制御を選択した場合、可動子の速度に対する平均である平均速度と、速度指令とに基づいて、リニアモータに印加する電流値を示す電流指令を算出し、加速度制御を選択した場合、可動子の速度と、速度指令とに基づいて、電流指令を算出し、算出した電流指令に基づいてリニアモータに電流を印加する。 （もっと読む）

【課題】磁極位置検出手段の情報を簡単に確認する方法を提供する。
【解決手段】磁極位置情報を出力する磁極位置検出手段と、磁極位置情報から磁極位置表示データ情報を出力する表示データ作成手段と、前記磁極位置表示データ情報を表示するデータ表示手段とを有することを特徴としたモータ駆動装置とする。 （もっと読む）

【課題】リニア振動モータがどのような状態であっても、その固有振動数にできるだけ近い周波数で駆動する。
【解決手段】駆動信号生成部１０は、コイルＬ１に正電流と負電流とを非通電期間を挟んで交互に流すための駆動信号を生成する。駆動部２０は、駆動信号生成部１０により生成された駆動信号に応じた駆動電流を生成し、コイルＬ１に供給する。誘起電圧検出部３０は、非通電期間において、コイルＬ１に発生する誘起電圧を検出する。ゼロクロス検出部４０は、誘起電圧検出部３０により検出された誘起電圧のゼロクロスを検出する。駆動信号生成部１０は、ゼロクロスの検出位置からリニア振動モータ２００の固有振動数を推定し、駆動信号の周波数を、当該固有振動数に近づける。 （もっと読む）

【課題】１台の電圧形インバータで誘導電動機と同期電動機の双方を所望の速度に制御する。
【解決手段】誘導電動機速度制御器１２は、誘導電動機１の回転速度指令値ωIM^＊と、誘導電動機１の回転速度ωIMとの偏差から比例積分制御等により磁極方向電流指令値Ｉｄ^＊を演算する。同期電動機速度制御器１３は、同期電動機２の回転速度指令値ωSM^＊と、同期電動機２の回転速度ωSMとの偏差から比例積分制御等により磁極直交方向電流指令値Ｉｑ^＊を演算する。ｄｑ軸電流制御器１４は、磁極方向電流指令値Ｉｄ^＊と磁極方向電流値Ｉｄとの偏差、および、磁極直交方向電流指令値Ｉｑ^＊と磁極直交方向電流値Ｉｑとの偏差から、比例積分制御等により磁極方向電圧指令値Ｖｄ^＊および磁極直交方向電圧指令値Ｖｑ^＊を演算する。 （もっと読む）

【課題】 モータドライブ装置の移動子の位置情報の再現性を維持しつつ、速度リップルを低減することができるモータドライブ制御装置、モータドライブ制御方法を提供する。
【解決手段】 モータドライブ装置における移動子より出力される位相のずれた２つの正弦波状信号に基づくリサージュ曲線に近似する楕円を示す楕円パラメータを算出する楕円算出部と、前記楕円パラメータにより示される楕円が真円となるように前記２つの正弦波状信号を補正する補正部と、前記補正された２つの正弦波状信号に基づくリサージュ曲線を前記移動子の移動速度を示す速度情報に変換する変換部と、前記速度情報とに基づいて、前記モータドライブ装置を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】各固定子巻線における相間電圧の不平衡を正確に推定し、固定子巻線の温度変化に伴うリニアモータのモデル化誤差やセンサ測定誤差の影響を抑制し、相間電圧の不平衡に起因する推力リプルを低減させることができるリニアモータ制御装置を提供する。
【解決手段】固定子巻線が界磁可動子の移動方向に複数区分されたリニアモータを、位置センサが検出する界磁可動子位置に基づいて区分毎に備えられた電力変換器を切替えて、界磁可動子を移動させるように固定子巻線に電力を供給するリニアモータ制御装置であって、界磁可動子が移動する際、全ての固定子巻線の相間電圧が平衡するように構成した。 （もっと読む）

【課題】リニアアクチュエータを高速駆動可能な制御装置を提供することである。
【解決手段】上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、複数の永久磁石５を備えた界磁保持部材４と、界磁に対向するように配置されるコイル７を保持するコイル保持部材３とを備えて、界磁保持部材４とコイル保持部材３を相対変位させる推力を発生するリニアアクチュエータ２をベクトル制御する制御装置１において、界磁保持部材４とコイル保持部材３の相対速度に基づいてｑ軸電流指令値Ｉｑ*とｄ軸電流指令値Ｉｄ*を求めてコイル７に流れる電流を制御する制御手段を備え、界磁保持部材４とコイル保持部材３の相対速度が上限閾値αから下限閾値βの間の範囲外となるとｄ軸電流指令値Ｉｄ*を負の値とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】モータで生ずる推力リップルの解析及び補正を精確に行うことができる推力リップル解析方法及び補正方法を提供する。
【解決手段】平面モータ１は固定子としての格子プラテン１０と可動子としてのスライダ部２０とを備えており、モータ制御装置３０の制御によってスライダ部２０が格子プラテン１０上で移動されるとともに位置決めされる。平面モータ１で生ずる推力リップルを解析する場合には、格子プラテン１０に対するスライダ部２０の位置を変えながらスライダ部２０を微小振動させたときの平面モータ１の応答特性を測定し、格子プラテン１０に対するスライダ部２０の位置に応じた平面モータ１の応答特性の変化から推力リップルを求める。 （もっと読む）

【課題】高速応答性を備えかつ加速性を向上させるモータ制御方法を提供する。
【解決手段】モータを駆動するモータ駆動手段に電力を供給する電源を用意し、モータの加速または減速の開始に基づき、電源からの供給電力の電圧を上げ（Ｓ１、Ｓ２）、モータの加速または減速の終了に基づき、供給電力の電圧を下げる（Ｓ３、Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】 リニアモータの推力リップルが多周期成分を含んでも、制御ゲインが低くても、高精度に推力リップルを補償し、モータの送りむらを減少させるリニアモータの推力リップル補償装置を提供する。
【解決手段】 リニアモータの推力リップル補償装置において、推力リップル補償部２０は、可動子位置を入力しフーリエ基本波の位相を出力する位相計算器２５と、可動子位置に基づいてフーリエ変換機能信号と係数更新機能信号を出力する操作器２４と、フーリエ変換機能信号が有効となった際にフーリエ基本位相および補償推力指令に基づいてフーリエ変換を行い第１フーリエ係数を算出するフーリエ変換器２３と、係数更新機能信号が有効となった際に第１フーリエ係数を入力してデータ更新し第２フーリエ係数を出力するバッファ２２と、第２フーリエ係数を用いてフーリエ基本位相に基づいて逆フーリエ変換を行いリップル補償値を算出する逆フーリエ変換器２１とで構成した。 （もっと読む）

【課題】非常時であっても確実に可動部を停止させることができるとともに装置に損傷を与えること防止する移動装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、可動部としてのリニアステージ１２を移動させるリニア搬送部１１と、電力の供給を受けてリニア搬送部１１を駆動する駆動手段としてのサーボドライバ１３と、サーボドライバ１３に電力を供給する電力供給手段としての電力装置１４と、強制停止指示が入力される強制停止入力部１６と、前記強制停止指示の入力に応じてサーボドライバ１３の駆動状態を制御し、リニアステージ１２を停止させる制御コンピュータ１９と、前記強制停止指示の入力に応じて、前記入力から所定時間の経過後に、サーボドライバ１３への電力の供給を停止する電力遮断部３２とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の周波数成分を含む高調波トルクリップルの補正が可能であり、また、トルク指令からコギング等のトルクリップルを正確に求めることができるモータ制御装置及びそのトルクリップル補正方法を提供する。
【解決手段】 設定したサンプリング条件に従って、サンプリング部１０へサンプリング実行指令を出力するサンプリング判定部９と、複数箇所でのモータ位置Ｐ_ｍでサンプリングした補正後トルク指令Ｔ_ｒ^＊を使って求めた複数のフーリエ係数ａ_ｎ，ｂ_ｎから、平均化処理した平均値フーリエ係数ａ_ｎ^＊，ｂ_ｎ^＊を算出する平均化処理部１３とを備え、補正値演算部１２は、設定した繰り返し回数Ｋだけ更新するフーリエ係数ａ_ｎ，ｂ_ｎまたは平均値フーリエ係数ａ_ｎ^＊，ｂ_ｎ^＊を使ってトルクリップル補正値Ｔ_ｈを算出する。 （もっと読む）

【課題】電磁接触器等が作動してモータへの電力供給が遮断されたような場合でも、ベクトル制御を利用することにより、電源遮断時の惰性による移動距離を可及的に減少させ得るモータの制御装置及び制御方法を提供する。
【解決手段】目標とするモータの動作に対応して設定されるｄ軸電流指令とｑ軸電流指令に従ってインバータからモータに供給されるモータ電流のｄ軸成分であるｄ軸電流とｑ軸成分であるｑ軸電流を制御する制御部１８２，１８３とを備えたモータ制御装置において、交流電源１１０からコンバータ１３０への電力供給が遮断されると、平滑コンデンサ１２２に蓄えられていた電気エネルギーをインバータ１４０に供給すると共に、ｄ軸電流を制御する制御部１８２，１８３に対して所定の大きさの緊急停止用のｄ軸電流指令を出し、リニアモータ１にｄ軸電流を印加して緊急停止させることを特徴とする。 （もっと読む）