【課題】ワイヤーで接続されるカウンターウェイト、機械式ストッパを設けることなく、リニアモータの駆動電流が途絶えた際、リニアモータの可動子が自由落下することを防止することができるリニア駆動装置を提供する。
【解決手段】上下方向に直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第１可動子、及び該第１可動子に対して逆向きに直線移動する第２可動子を有する移動方向変換機と、前記第１可動子、前記第２可動子又は前記リニアモータの可動部に設けられており、前記リニアモータが駆動した場合に前記移動方向変換機の前記第１可動子及び前記第２可動子に働く反作用力を均衡させる重りとを備える。 （もっと読む）

【課題】 固定子の製造コストを低減して、磁気損失の少ないリニア同期モータを提供する。
【解決手段】 一方の端部磁極部３３の第１の一対の被連結部分４７と、エンドブラケット３５の第１の一対の被連結部分５１と、端部磁極部３７の第１の一対の被連結部分５５と、５個の磁極部３９の第１の一対の被連結部分５９とを一対の磁性筒体４１によって接続する。一方の端部磁極部３３の第２の一対の被連結部分と、端部磁極部３７の第２の一対の被連結部分と、５個の磁極部３９の第２の一対の被連結部分とを一対の導磁性成形品４３により接続する。一対の磁性筒体４１にリニア軸受６５を介して一対のガイド軸９をスライド可能に嵌合する。一対の磁性筒体４１及び一対の導磁性成形品４３によりヨークを構成する。５個の磁極部３９のそれぞれを、複数枚の磁性鋼板を軸線方向に積層して構成する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化及び高価格化を防止できるシャフトモータを提供する。
【解決手段】軸体６０と筒体７０との一方に発磁体６１が設けられ、軸体と筒体との他方にコイル体ＣＬが設けられる。軸体の軸線位置と、筒体の軸線位置とを同軸となるように調整する位置調整装置ＣＤ、ＣＯＮＴを有する。 （もっと読む）

【課題】バウンド荷重の磁石への伝達を抑制できる電磁サスペンション装置を提供する。
【解決手段】可動子５の縮みきり時に、固定子側筒部底部９に固定されたバンプラバー１７に当接するようにセンターヨーク４１の一端部に配置され、当接により受ける力をセンターヨーク４１に直接伝達するメタルホルダ３５を設けた。可動子５が縮んでバンプラバー１７と接触し、この接触によりバウンド荷重が発生した場合、バウンド荷重はメタルホルダ３５に作用し、センターヨーク４１に直接、伝達され、動子側磁力部材５３（永久磁石５１）に伝達されないので、バウンド荷重による動子側磁力部材５３（永久磁石５１）の破損を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】推力の低下や変動を抑えると共に、製造工程の簡易化及び製造コストの低減を実現することができるモータ装置を提供する。
【解決手段】移動磁界を発生する歯状突極を有する可動部と、前記可動部に対向して配置されるプラテンとを備えるモータ装置であって、前記プラテンは、凸部及び第１の凹部が周期的に配列された表面を有する基材と、前記第１の凹部の内側に第２の凹部が形成されるように前記基材の前記表面の上に溶射によって形成された第１の溶射層と、前記第２の凹部を充填する樹脂と、を含むことを特徴とするモータ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】リニアアクチュエータの可動子をはじめとする運動体に作用する動推力を正確に測定することができる力の測定方法を提供する。
【解決手段】試験用リニアアクチュエータ１の可動子３と負荷用リニアアクチュエータ２の可動子４との間に力センサ５を装着する。試験用リニアアクチュエータ1の可動子３の加速度を加速度センサ６によって測定する。試験用リニアアクチュエータ１の可動子３の変位を変位センサ７によって測定する。そして、力センサ５の出力と加速度センサ６の出力とに基づいて、または、力センサ５の出力と加速度センサの出力と変位センサ７の出力とに基づいて試験用リニアアクチュエータ１が発生する動推力（電磁力）を推定する。 （もっと読む）

【課題】指針の指示精度を向上させることができる省スペース化した計器装置を提供する。
【解決手段】スピードメータ８は、正極Ｎと負極Ｓとが直交方向Ｃに沿って並ぶ向きで配された磁石３２が、延在方向Ｂに沿って複数等間隔に並べられた磁石集合体３と、指針７を取り付け、磁石集合体３上を移動する一対の電磁石を有した移動体２と、を有している。これら一対の電磁石は、それぞれ、磁石３２の一方の磁極と直交方向Ｃに沿って相対するとともに磁極を形成する第１電極部と、この磁石３２の他方の磁極と直交方向Ｃに沿って相対するとともに磁極を形成する第２電極部と、これら第１電極部と第２電極部とを連結する連結部と、を有したコ字状のコアを有しており、延在方向Ｂに沿って互いに間隔をあけて並べられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡素な構造で精密な回転動作と直進動作を一つのアクチュエータで実現するθＺアクチュエータを提供するものである。
【解決手段】界磁とする永久磁石２０３もしくは鉄心歯を備えた可動子２００と、回転θ軸方向に回転磁界を発生するθ軸電機子巻線１０２と直進Ｚ軸方向に進行磁界を発生するＺ軸電機子巻線１０３を備えた固定子１００とで構成されるとともに、前記θ軸電機子巻線１０２と前記Ｚ軸電機子巻線１０３に電流を通電し、θ軸方向にトルクを、Ｚ軸方向に推力を発生させて前記可動子２００の回転動作と直進動作を行うθＺアクチュエータにおいて、前記θ軸電機子巻線１０２の空芯部を、前記θ軸電機子巻線１０２および前記Ｚ軸電機子巻線１０３の渡線処理スペース１１０ａとしたものである。 （もっと読む）

【課題】非通電時において、可動体（シャフト又はコイルモジュール）を静止させるのに十分な保持力を発生することが可能であり、通電時において、大きな推力を有し、周辺への漏れ磁束が少ないリニアモータを提供すること。
【解決手段】複数の円筒状永久磁石が同極同士が対向するように非磁性材料からなる外周パイプ１１２中に組み込まれて成るシャフト１１０と、シャフト１１０に外挿されたコイルモジュール１２０とを有するリニアモータにおいて、コイルモジュール１２０が、磁性材料からなるコイル間ヨークを介して軸方向に密接して配置された所定数のリング状コイルを有していることによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】装置全体が軽量化され、メンテナンス性を向上させた位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め対象物を搭載して移動する第１ステージである微動ステージ４と、前記第１ステージを搭載して移動する第２ステージである粗動ステージ２１と、前記第２ステージを駆動するリニアモータ１，２とを備え、前記第２ステージである粗動ステージ２１は少なくとも一対に非接触に分割して配置され、前記リニアモータの可動子は分割された第２ステージの各々に設けられる。 （もっと読む）

【課題】複数リニアモータ装置を軽量化する。
【解決手段】移動磁界を発生させるコイルを有し、直線の移動通路を移動し得る電機子と、
電機子の移動通路の両側に移動通路に沿って電機子と空隙を介して永久磁石列をそれぞれ配置し、各永久磁石列はその各永久磁石列を構成する永久磁石における隣り合うその永久磁石同士が異極性で等ピッチで配置され、対向する前記永久磁石列の対向する面のその各永久磁石同士は異極性である固定子とで単位リニアモータを構成し、単位リニアモータの複数個を、電機子の移動通路を互いに並行にして並べ、単位リニアモータ間では、対向するその永久磁石列の対向する面のその各永久磁石同士が異極性である複合リニアモータを構成し、複合リニアモータの最外側の前記永久磁石列の反移動通路側に沿わせてバックヨークを配置した。 （もっと読む）

【課題】 推力の向上と位置決め精度の向上を図ることが可能なリニアモータとアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 ベースと、永久磁石と、複数個のコイルと、を具備してなるリニアモータにおいて、上記複数個のコイルに略同位相の電流を流すようにした構成になっており、全てのコイルが推力の発生に寄与することになり、それによって、推力の向上を図ることができる。
又、そのようなリニアモータを使用したアクチュエータである。 （もっと読む）

【課題】円筒型リニアモータにおいて、シャフトの曲りによって発生するシャフトと可動子との接触の問題を、円筒型リニアモータ本来の特長である非接触駆動の性能を損なわずに解決できるようにする。
【解決手段】シャフト１２の両側の支持構造部１７Ａ，１７Ｂは、それぞれ上下方向及び水平方向の曲げモーメントを調整する２自由度の回動方向調整機構を備えている。シャフト１２の自重によりシャフト１２の中央側が下がるように撓み変形している場合は、シャフト１２に対してシャフト１２の中央側を持ち上げる方向に曲げモーメントを作用させて、その曲げモーメントの大きさを調整することで、シャフト１２の自重による撓み変形を矯正する。シャフト１２の水平方向への曲りを矯正する場合は、シャフト１２に対して水平方向の曲げモーメントを作用させて、シャフト１２の水平方向への曲りを矯正する。 （もっと読む）

【課題】加減速時に重心軸周りに回転（ヨーイング）を起こしてもコイルと磁石の位置関係を正確に求め位相を補正することができ、カウンタマスを搭載したステージ装置に容易に対応可能で、大加速で駆動しても推力誤差による振動が発生しない、高精度な位置決めできるリニアモータ、ステージ装置およびリニアモータの位相補正方法、露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】多相コイルユニットと、磁石ユニットと、を備えるリニアモータであって、前記多相コイルユニットおよび前記磁石ユニットの各々の位置を検出するための位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記多相コイルに与える電流の位相を補正する補正手段と、を備えるリニアモータ。このリニアモータを用いるステージ装置およびリニアモータの位相補正方法。このステージ装置を用いる露光装置。この露光装置を用いるデバイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】容易に高速回転が得られ回転特性も良く、さらに、構造が簡単であり小型のマイクロマシーン化が可能な回転駆動装置を提供する。
【解決手段】筒状のステータ１１０内で、ステータ１１０の軸線方向に沿って延び、かつ、ステータ１１０の内周面との間に所要のクリアランスを有する棒状または筒状のロータ１２０を回転させる回転駆動方法である。ステータ１１０の軸線と交差し、かつ、互いに交差する少なくとも２つの軸線まわりに、ロータ１２０の位相の異なる揺動モーメントを発生させる。 （もっと読む）

【課題】従来のリニアコンプレッサの欠点を改善することにある。
【解決手段】シリンダボアを備えたシリンダ部品を有するリニアコンプレッサ。ボア内にはピストンが配置されかつ該ボア内で摺動可能である。シリンダ部品は主スプリングによりピストンに連結されている。主スプリングとピストンとの間は連結部材により連結されている。連結部材はリニア電気モータのステータのエアギャップを通っている。リニア電気モータの少なくとも１つのアーマチャ連結部材に沿って配置されている。ステータはエアギャップを横切って対向する複数のステータ部品を備えている。シリンダ部品は各ステータ部品用のテーパ状クランプを備えている。テーパ状クランプはエアギャップから外方に向かって幅広になっている。各ステータ部品はマッチングテーパを有しかつテーパ状クランプ内に係合している。 （もっと読む）

【課題】可動梁が熱膨張を起こした場合であっても、熱膨張による影響を受けることなく、可動梁を常時一定の形状に保持し、常に対象物の製造や検査を正確に行うことが可能なテーブル装置を提供する。
【解決手段】一対のリニアガイド６と、当該リニアガイドに沿って移動する可動梁４と、可動梁を移動させる駆動装置１３とを備えたテーブル装置であって、リニアガイドは、ガイド部材７と、スライダ８と、ガイド部材とスライダとの間にそれぞれ対向して形成された少なくとも２列の軌道溝7a,8a間及び7b、8b間を循環する複数の転動体９と、複数の転動体を循環させる少なくとも２列の転動体通路１０とを備え、転動体とスライダ及びガイド部材のそれぞれの軌道溝との接触点相互を結んだ複数の接触線のうち、少なくとも２本の接触線がガイド部材側で交差するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 このスライド装置は，ＸテーブルとＺテーブルとをリニアモータでそれぞれ駆動し，装置自体の厚み即ち嵩高さを抑えて装置自体をコンパクトに構成する。
【解決手段】このスライド装置は，Ｚテーブル５がＸテーブル４に対してベッド１と同一の面に配設され，ベッド１とＸテーブル４との間にリニアモータ４９を配置し，Ｘテーブル４とＺテーブル５との間にリニアモータ４６を配置する。Ｘテーブル４は，リニアモータ４６，４９のヨークをそれぞれ構成している。 （もっと読む）

【課題】 高トルク低回転の出力を、簡易な構成で偏心することなく得ることができるモータなどのアクチュエータの提供。
【解決手段】 出力軸４は、本体ケース１に保持された軸受２，３により、軸心の位置を変えずに回転可能に保持される。円筒状のステータ６は、本体ケース１に対し位置決めされると共に、その外周部に周方向等間隔に、コイル８を有する磁極７が複数設けられている。円筒状のロータ５は、ステータ６が緩やかにはめ込まれ、各磁極７の励磁タイミングが操作されることで、ステータ６の外周部に沿ってサイクロイド転動する。ロータ５の回転は、内歯歯車１０および外歯歯車１１を介して、出力軸４を同一軸線上で回転させる。 （もっと読む）

【課題】可動子の温度上昇を抑え、可動子の熱変形などの影響を低減でき、周囲温度の変化への影響を低減することにより、高精度な位置決めを可能とする。
【解決手段】磁石を有する可動子９ａ、１０ａと、当該磁石に対向配置されたコイルを有する固定子９ｂ、１０ｂとを備え、当該コイルに通電することで前記可動子を少なくとも２次元方向に駆動し、所定の位置に位置決めする位置決め装置において、前記可動子は、被移動物体を保持する保持機構が設けられた第１の構造体３ａと、前記磁石が設けられた第２の構造体３ｂとを備え、前記可動子の内部に、前記第２の構造体を冷却する冷媒を流通させるための流路５を形成した。 （もっと読む）