【課題】 物体の押圧又は牽引を精密に行うことができるリニアアクチュエータおよび当該リニアアクチュエータを備える中ぐり加工装置を提供する。
【解決手段】 本体ケース２内に配置された直線状に延びるスライダ３と、スライダ３の軸方向に沿って当該スライダ３に固定された複数の磁石６と、磁石６が固定されたスライダ３の周囲を囲むように本体ケース２に支持された複数のコイル４と、を備え、通電時のコイル４と磁石６との相互作用により本体ケース２に対してスライダ３が軸方向に相対移動するリニアアクチュエータ１であって、スライダ３の軸方向の一端部および他端部をそれぞれ支持する複数の板バネ７を備え、各板バネ７は、スライダ３の軸方向の移動に対して弾性変形するリニアアクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの固定子と可動子との衝突を防止する。
【解決手段】Ｘボイスコイルモータ１８ｘの固定子７３に、ストッパブロック７０を固定する。ストッパブロック７０と可動子７１のヨーク７５との間のＹ軸方向に関するクリアランスは、コイルユニット７８と磁石ユニット７７とのＹ軸方向に関するクリアランスよりも狭く設定されている。従って、コイルユニット７８と磁石ユニット７７が接触するよりも前にストッパブロック７０とヨーク７５とが接触し、これによりコイルユニット７８及び磁石ユニット７７が保護される。 （もっと読む）

【課題】直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出すること。
【解決手段】モータ部の界磁部へ取り付けられた出力軸と、出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する検出器部と、出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する軸受部とを備えるように直動回転アクチュエータを構成する。そして、モータ部は、出力軸の反負荷側に、検出器部は、出力軸の負荷側に、それぞれ配置されるように直動回転アクチュエータを構成する。 （もっと読む）

【課題】固定子の熱膨張による伸びを吸収するとともに、可動子が発生する推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持する。
【解決手段】リニアスライダ１は、固定子１０を固定するための固定ベース３０と、固定子１０の長手方向両端部をそれぞれ支持するための２つの支持機構５０，６０とを有し、２つの支持機構５０，６０は、固定子１０の長手方向端部に固定された第１支持部７０と、固定ベース３０に固定された第２支持部８０とを有し、第１支持部７０は凸部７３を備えており、第２支持部８０は、凸部７３を軸線方向に移動可能に係合する凹部８３と、凹部８３の最奥部に設けられた突き当たり部８４と、突き当たり部８４と凸部７３との間に介在するように、凹部８３に収納配置されたばね９０とを備える。 （もっと読む）

【課題】中実状の永久磁石を用いた往復動ロッドの組み立てを容易に行うことが可能なリニアモータ、およびその往復動ロッドの製造方法を提供することにある。
【解決手段】一端部に突出軸部１４が固定され他端部に環状部材１５が固定されたパイプ１３内に、組立治具４０の磁石案内孔４１から複数の中実状の永久磁石１８を挿入する。そして、挿入工具４４により磁気反発力に抗してねじ軸部材１６を環状部材１５に挿入するとともに、挿入工具４４の回転によりねじ軸部材１６を環状部材１５にねじ結合し、複数の永久磁石１８を端面相互が突き当てられた状態の磁石組立体１７に締結することで、リニアモータの往復動ロッド１１を組み立てる。 （もっと読む）

【課題】薄型化、小型化および可動体のスムーズな移動のいずれをも実現することのできる直線駆動装置、および当該直線駆動装置を備えた光学素子駆動装置を提供すること。
【解決手段】直線駆動装置１００において、固定体２は第１ガイド軸４１および第２ガイド軸４２を備えている。可動体５は、第２ガイド軸４２に対して可動体本体部５０が位置する側とは反対側で光学素子１を保持する素子保持部５２４と、可動体本体部５０から突出して第１ガイド軸４１と係合する第１軸受部５１２と、第１軸受部５１２とは反対側に突出して第２ガイド軸４２と係合する第２軸受部５２２および第３軸受部５２３とを備えている。素子保持部５２４、第１軸受部５１２、第２軸受部５２２および第３軸受部５２３は、可動体本体部５０の移動方向における長さ範囲Ｌ０に設けられ、素子保持部５２４は、第３軸受部５２３から延在する部分に設けられている。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動機構を採用した場合でも、外部からの衝撃によって可動体が大きく変位するという事態を回避することのできる直線駆動装置、および当該直線駆動装置を備えた光学素子駆動装置を提供すること。
【解決手段】光学素子駆動装置２００および直線駆動装置１００において、固定体２と可動体５との間には、磁気駆動機構７により可動体５が変位した際に抗力を発生させる第１バネ部材９１および第２バネ部材９２が設けられている。第１バネ部材９１および第２バネ部材９２には、弾性材料からなるダンパー材が付されている。第１バネ部材９１および第２バネ部材９２は、第１ガイド軸４１において突出部５１２と側板部２２、２３との間に位置する部分の周りに設けられており、磁気駆動機構７に用いた駆動コイル８０に対する給電部材である。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置等のＸＹステージや精密位置決め装置を大型化することなく、振動抑制を効果的に行う。
【解決手段】ベース１上のステージ３をガイド２に沿って駆動するリニアモータ５の可動子は、上部ヨーク１０と一体化された箱形のヨーク６の内側に一対の磁石７を備える。各磁石７は、コイル固定部材８に固定されたコイル９の両側面に対向し、ローレンツ力によって推進力Ｒａを発生する。コイル固定部材８の上面には、可動子との間の間隙に粘性流体を保持する保持部材１１が固定され、ベース１には、可動子との間の間隙に粘性流体を保持する保持部材１３が固定される。これらの粘性流体による減衰力Ｄａ、Ｄｂによって振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】バウンド荷重の磁石への伝達を抑制できる電磁サスペンション装置を提供する。
【解決手段】可動子５の縮みきり時に、固定子側筒部底部９に固定されたバンプラバー１７に当接するようにセンターヨーク４１の一端部に配置され、当接により受ける力をセンターヨーク４１に直接伝達するメタルホルダ３５を設けた。可動子５が縮んでバンプラバー１７と接触し、この接触によりバウンド荷重が発生した場合、バウンド荷重はメタルホルダ３５に作用し、センターヨーク４１に直接、伝達され、動子側磁力部材５３（永久磁石５１）に伝達されないので、バウンド荷重による動子側磁力部材５３（永久磁石５１）の破損を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】機械的な回転トルクに起因する可動子の回転動作を規制することができる電磁アクチュエータ及び関節装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る関節装置は、可動子１と、固定子２と、支持機構Ｄ３Ｓとを具備する。出力軸（駆動軸）８は、第１の電磁トルクによって当該出力軸のまわりに回転し、第２の電磁トルクによって当該出力軸と直交する軸のまわりに回転力を受けて傾動する。支持機構Ｄ３Ｓは、出力軸８に作用する上記傾動方向への回転トルクを弾性的に支持するコイルスプリング６１を含む。したがって、コイルスプリング６１の弾性力を適宜の値に設定することによって、出力軸８に作用する機械的な回転トルクに起因する、可動子１の固定子２に対する傾動動作を規制あるいは制限することが可能となる。また、当該回転トルクの大きさに応じて、可動子１の傾動角度を制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 モータの取付姿勢が変化してもモールド樹脂とキャンの間に位置する冷媒通路内の間隙部における冷媒の流れによる澱みの発生を抑え、冷却性能の低下を防ぐと共に、冷媒通路の変形を防止することができるコアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータを提供する。
【解決手段】 コアレスリニアモータ電機子において、電機子巻線５を構成するコイル列とコイル列の間の表面および隙間部には、モールド樹脂７を充填してあり、モールド樹脂７は、キャン２ａ、２ｂとの間に位置する隙間部に該モールド樹脂７の表面から該キャン２ａ、２ｂの内壁に向けて突出し且つ冷媒通路１３における冷媒の流れ方向に向かって流路断面積を部分的に絞る流路絞り部となる突起１１ａを形成してある。 （もっと読む）

【課題】ロッドに曲げ荷重が作用しても永久磁石を保護できるともに、発生推力にムラを生じないリニアアクチュエータを提供することである。
【解決手段】上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、アウターチューブ２と、アウターチューブ２内に移動自在に挿入されるロッド３と、複数の永久磁石５を備えてロッド３に保持される界磁４と、界磁４に対向するようにアウターチューブ２に保持される複数のコイル７とを備え、アウターチューブ２とロッド３を軸方向に相対変位させる推力を発生するリニアアクチュエータ１において、ロッド３は、インナーロッド３ａと、インナーロッド３ａの外周を覆ってインナーロッド３ａとの間に環状の空隙を形成するパイプ３ｆとを備え、各永久磁石５は、環状であって内径をインナーロッド３ａの外径より大径に設定されて外周をパイプ３ｆの内周に当接させつつ上記空隙内に軸方向に並べて収容されてなり、ロッド撓み時に永久磁石５の端部外周に荷重が作用することを防止する磁石保護手段５ａを設けた。 （もっと読む）

【課題】 基台の揺動を抑制して制御ゲインの高ゲイン化を図ることができる小型のリニアモータ駆動送り装置を提供する。
【解決手段】 リニアモータ駆動送り装置１は、基台７に対して移動可能に案内され可動ベース体１１１に対して相対移動可能な支持ベース体１２１と、支持ベース体と基台との間に支持ベース体の移動方向に作用するように取付けられたバネ要素およびダンパ要素２０とを備えている。これにより、バネ要素およびダンパ要素が小型の反動相殺振動系を構築しているので、装置を小型化することができる。そして、反動相殺振動系の振動周波数はリニアモータの駆動周波数よりも大幅に小さくなるので、基台へ伝達される反動力はリニアモータの推力の数十分の一と極めて小さくなるので、基台を揺動させる力を非常に小さく抑えることができ、高精度な送り制御が可能となる。 （もっと読む）

本発明は、非円形のワークのための工作機械に設けられる工具送り装置（１）であって、工具及の受容のための工具支持体（２）、及び衝撃遮断のために用いられる補償部材（３）を有し、工具支持体の作業運動が、工具支持体（２）と補償部材（３）との間で作用する駆動部（４）によって形成される形式のものに関する。本発明の構成によれば、工具支持体（２）は、転動体（５）により支承され、補償部材（３）は、弾性変形可能な案内要素（６）を介して工具送りユニット（１）のケーシング部分（７）に懸架され、かつ補償部材（３）の質量は、工具の支持のための工具支持体（２）の作業運動に対応して発生する補償行程が、案内要素（６）の弾性変形の範囲内にあるように、工具支持体（２）の質量よりも大きくなっている。これにより、案内要素（６）は、補償部材（３）の案内及び戻しを行うようになっている。
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【課題】長期間使用に伴う部品交換時の着脱を効率よく行なうことができる円筒型リニアモータを提供する
【解決手段】円筒型リニアモータ１の可動子２に設けたセンターヨーク６のセンターヨーク内側所定領域２２を覆う筒状体２０を交換可能に設け、センターヨーク側環状部６ｃに切欠２３を形成した。センターヨーク６のセンターヨーク内側所定領域２２が筒状体２０に覆われることから、円筒型リニアモータ１を長期間、使用してもセンターヨーク６の磨耗が抑制される。このため、長時間使用時の部品交換に際してもセンターヨーク６を交換せずに対処できる。また、筒状体２０の交換に際し、使用していた筒状体２０を取り出す場合、切欠２３を通して筒状体２０の筒状体右側端部２０ａに力を加えて筒状体２０を容易に取り出すことができ、この分、交換作業性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】ベースプレートに設けられた固定子と、可動部に設けられた可動子を幅方向で対向させながら両者で発生する磁束の相互作用により可動部を移動方向に移動させるリニアモータおよび該リニアモータを用いる部品移載装置において、幅方向および移動方向の両方に直交する厚み方向へのリニアモータの薄型化を図る。
【解決手段】可動子（ヨーク５＋永久磁石６）、電機子（固定子）３およびリターンスプリング（付勢部材）１５が幅方向Ｙに配置されている。このため、可動子と固定子の配置方向から外れた位置に付勢部材（コイルばね）を配置したリニアモータと比べ、リニアモータＬＭの薄型化が可能となっている。また、リターンスプリング１５の厚み方向Ｘの高さＨsがモータ本体の高さＨmよりも低くなるように設定しているので、リターンスプリング１５によりリニアモータＬＭが厚肉化するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】リニアアクチュエータの可動子をはじめとする運動体に作用する動推力を正確に測定することができる力の測定方法を提供する。
【解決手段】試験用リニアアクチュエータ１の可動子３と負荷用リニアアクチュエータ２の可動子４との間に力センサ５を装着する。試験用リニアアクチュエータ1の可動子３の加速度を加速度センサ６によって測定する。試験用リニアアクチュエータ１の可動子３の変位を変位センサ７によって測定する。そして、力センサ５の出力と加速度センサ６の出力とに基づいて、または、力センサ５の出力と加速度センサの出力と変位センサ７の出力とに基づいて試験用リニアアクチュエータ１が発生する動推力（電磁力）を推定する。 （もっと読む）

【課題】軸受部に磁性体粉が入り込むのを防いで、滑らかな摺動性と耐久性を確保できる信頼性の高いリニアモータを提供する。
【解決手段】平板型リニアモータ１Ａの軸受ハウジング１８を非磁性体で構成し、ハウジング本体２０の他端部に、所定距離の空間部２５を空けて配置される第１、第２先端側垂設部２６ａ，２６ｂを設け、空間部２５にスクレーパ２７を磁石保護カバー７と摺動するように配置し、ハウジング本体２０に孔２８を形成した。軸受ハウジング１８が非磁性体であり、軸受２４の磁化を防止する。スクレーパ２７が磁性体粉を磁石保護カバー７から分離して、磁性体粉が軸受２４側に進むことを阻止する。分離された磁性体粉は、孔２８を通って外部に排出される。スクレーパ２７が磁性体粉の軸受２４側への入り込みを防止することにより、滑らかな摺動性と耐久性が確保され、信頼性の高い安定した摺動を実現できる。 （もっと読む）

リニアモータのための固定子（１）が記載される。該固定子（１）が、固定子部分（１０）と接続部分（２０）と保持部分（１００）とを有しており、固定子部分（１０）がコイル装置（１１）を備えており、接続部分（２０）が、複数の外部の接続部と、少なくとも１つのホールセンサを有するセンサ装置と、該センサ装置のための接続部（２１）とを備えている。保持部分（１００）が、接続部分挿入区分（１０８）と固定子部分挿入区分（１０９）とに分割されていて、固定子部分（１０）と接続部分（２０）とを位置固定的に、互いに対して位置正確にかつ着脱可能に配置するための保持装置（１０５，１１２）を有している。
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【課題】クランプ体５２をシャフト２の変形に追従させる３次元的な遊動押圧を可能ならしめ、変形シャフトの円弧面に対して、ブレーキシュー５２ａを常に適正な位置に保持した状態で面接触させて可動子３のブレーキ制動を行うことを可能とする。
【解決手段】 ハウジング５１に上下一対の板バネ５４ａ、５４ｂを片持ち状に支持して設け、この板バネ５４ａ、５４ｂ間に、クランプ体５２をブレーキ制動時に板バネ５４の弾圧力に抗して遊動可能に介装しておき、シャフト２へ押圧される際にブレーキシュー５２ａとシャフト２中心との位置ズレを吸収するように構成する。 （もっと読む）