【課題】モータ起動時から加速初期の速度追従性を向上させることができる振動型モータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３０１は、振動型モータ３１０を目標速度にするための速度指令値を、関数演算値に基づき逐次変化させて生成する速度指令値生成部４０１と、振動型モータ３１０の実速度を検出する速度検出部４０３とを備える。また、速度指令値生成部４０１で生成される速度指令値と速度検出部４０３で検出される実速度とを逐次比較し、両者の差分に対し比例、積分演算を行う比較演算部４０２を備える。 （もっと読む）

【課題】平行配置された２つの圧電素子に接続された梁状本体部に形成された柱状突起の先端に楕円運動を生起させることで駆動対象に送りを掛けるようにした圧電アクチュエータの動作効率を向上させる。
【解決手段】第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２の先端に固着された梁状本体部５の中央から左右に等しい間隔をおいて同一形状同一寸法の２つの柱状突起６，７を設けると共に、梁状本体部５の中央部には柱状突起６，７と逆方向に向けて突出する中央支持体８を設け、第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２および中央支持体８の基部をベースプレート１１に固着し、何れかの圧電素子を正弦波または三角波からなる高速送り用駆動信号で駆動することにより、柱状突起６，７の先端に位相の異なる楕円運動を生起させ、圧電素子の１振動周期の内に柱状突起６，７を利用して２回の送り動作をかける。 （もっと読む）

【課題】目標位置に正確に停止させることができる振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラムを提供する。
また、個体差、負荷条件、環境条件等によらず駆動時に発生する音を低減できる振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラムを提供する。
【解決手段】伝達機構２１０のバックラッシュが解消するまでの超音波モータ２０６の掃引レートと、解消後の掃引レートとを変更する。さらに、加速掃引時の移動量から減速に要する移動量を予測することで、減速開始位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの駆動特性を効率良く取得することができる駆動装置及び光学装置を提供する。
【解決手段】
撮像光学系２を移動させる駆動装置であって、ヨー方向Ｘに撮像光学系２を移動させるアクチュエータ８と、ピッチ方向Ｙに撮像光学系２を移動させるアクチュエータ６と、アクチュエータ８、アクチュエータ６をそれぞれの駆動特性に基づいて駆動させる第１制御部３０と、アクチュエータ８及びアクチュエータ６のそれぞれの駆動特性を取得する第１制御部３０と、を備え、第１制御部３０は、撮像光学系２をヨー方向Ｘ及びピッチ方向Ｙに同時に移動させて移動速度を取得し、取得した移動速度に基づいて駆動特性を取得することにより、駆動特性を効率良く取得することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を阻害することなく、また、装置の複雑化と高価格化を招くことなく、優れた駆動性能を得ることが可能な圧電素子の駆動装置、及び超音波アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】駆動信号により変位する圧電素子の駆動装置において、駆動信号を生成する駆動信号生成部と、駆動信号生成部で生成される前記駆動信号を制御する駆動信号制御部と、圧電素子に流れる電流を時間積算した電流積算値に基づいて、圧電素子の変位量を算出する変位量算出部と、を有し、駆動信号制御部は、変位量算出部で算出された変位量に基づいて、駆動信号を制御する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が異なっても、安定した速度制御が可能な振動アクチュエータの駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ７の駆動装置１０は、周波数が変更可能な駆動信号を発生する駆動信号生成手段１２と、駆動信号生成手段より発生された駆動信号を移相させる移相手段１３と、移相前の駆動信号と移相後の駆動信号を振動アクチュエータに出力する出力手段１２と、周波数を一定で移相手段による駆動信号の移相量を変更することにより、振動アクチュエータによる被駆動物体の駆動速度ｕを制御する制御手段１１と、振動アクチュエータの環境温度を検出する温度検出手段１７とを有し、制御手段は、予め記憶された、環境温度に対応した周波数の補正量のデータに基づいて、温度検出手段による検出結果に対応した補正量により補正した周波数で駆動信号を発生させるように駆動信号生成手段を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より広い範囲で特性の調整を行うことが可能な超音波モータ制御装置を提供する。
【解決手段】マイクロコンピュータは、超音波モータの目標とする目標回転速度に対応した制御信号の周波数を決定するためのコンペアレジスタ値と、振幅値を決定するためのＤ／Ａ変換設定値とを目標回転速度に対応させて記憶する記憶部と、Ｄ／Ａ変換設定値に対応する振幅値を有した振幅制御信号を生成するＤ／Ａ変換部と、コンペアレジスタ値に対応する周波数を有したＰＷＭ信号を生成するタイマ回路と、記憶部から目標回転速度に対応するＤ／Ａ変換設定値とコンペアレジスタ値とを選択して、Ｄ／Ａ変換設定値をＤ／Ａ変換部へ設定し、コンペアレジスタ値をタイマ回路へ設定を行う設定手段と、振幅制御信号とＰＷＭ信号を入力して、振幅制御信号の振幅値とＰＷＭ信号の周波数とを有する制御信号を生成する出力回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 温度センサを設けることなく且つ駆動を妨げることなく超音波モータの温度変化をリアルタイムに検出することができる超音波モータを提供すること。
【解決手段】 超音波振動子4に、所定の位相差及び所定の駆動周波数の2相の交番電圧である駆動信号を印加することで楕円振動を発生させ、該楕円振動から駆動力を得て被駆動体5を摩擦駆動する超音波モータ2を、次のように構成する。すなわち、前記超音波モータ2に、前記駆動信号を生成する信号生成回路25と、前記超音波振動子4の振動状態を検出して振動検出信号を生成する外部電極11と、前記信号生成回路25により生成された駆動信号と、前記外部電極11により生成された振動検出信号と、の位相差を検出する位相差検出回路28と、前記位相差検出回路28により検出された位相差に基づいて、前記超音波モータの温度を算出する温度算出手段22と、を具備させる。 （もっと読む）

【課題】実際の製品として利用可能な形態で超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、製品に組み込まれた後であっても容易に押圧力を再設定できる超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供すること。
【解決手段】内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bが設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子３に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させて駆動力を得る超音波モータに、前記圧電振動子3の出力端を被駆動部材7に押し付ける押圧手段5と、前記押圧手段5による押圧力を検出する押圧力検出手段と、を具備させる。前記押圧力検出手段は、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bと、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bにおいて圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施す積分器101と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動波モータにより、被駆動体を長時間に渡り所望の位置に停止させた状態に保持することができるとともに被駆動体を安定して駆動することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波モータ４４の駆動力は、チルト回転ピニオンギア４３およびチルト回転ギア４２を介して、カメラヘッド５０が取り付けられているチルト回転軸（図示せず）に伝達され、上記チルト回転軸は回転される。チルト回転ギア４２およびチルト回転ピニオンギア４３の間には、遊びＣＬが設けられている。振動波モータ４４は、チルト回転ピニオンギア４３を上記遊びＣＬの範囲内で正転と逆転を交互に繰り返しながら回転させるための特定の動作をするように、制御される。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの圧電素子の伸縮を最適化できる駆動装置を提供する。
【解決手段】伸縮に応じて電荷が誘導される検出電極１１を備える圧電素子２と、圧電素子２に一端が固定された駆動軸と、駆動軸に摩擦係合する移動部材と、圧電素子２に周期的な駆動電圧を印加可能な駆動回路６と、検出電極１１の誘導電荷Ｑの変化の基本周波数成分と第２次高調波成分とを求める検出回路７と、誘導電荷Ｑの基本周波数成分および第２次高調波成分に応じて駆動回路６を制御し、駆動電圧の波形を変化させる制御装置８とを有する。 （もっと読む）

【課題】
位置決めをフィードバック制御にて行う場合において、位置センサの分解能に左右されない停止保持機能を持つリニアステージを提供する。
【解決手段】
図１に示すように超音波モータ１の回転軸にローラー２が固定されていて、ローラー２の回転力を直線運動に変換すべく摩擦力を有するように設置されたシャフト３と、シャフトの突き出し量Aを読み取る目的で設けられたスケール４ａと読み取りヘッド４ｂから成るセンサユニット４で構成される。この構成をステージに組み込んで全体構成となる。 （もっと読む）

【課題】温度変化及び負荷変化等が生じた場合であっても最適な駆動周波数で駆動可能であり、且つ単純な構造でコストダウン及び小型化可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】棒状弾性体11の側面において対向して配置された２個の積層型圧電素子13の伸縮振動を利用して棒状弾性体11に縦振動と捻じれ振動とを同時に励起して棒状弾性体11の端面に設けられた摩擦子15に楕円運動を励起させてロータを回転させる超音波モータ1における前記積層型圧電素子13を、第１圧電板31と第２圧電板32とを交互に積層して構成する。ここで、前記第１圧電板31は、複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板31の周縁部へ露出している第１内部電極A+,B+を備え、前記第２圧電板32は、前記第１内部電極A+,B+とは逆の極性の内部電極であって複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板の周縁部へ露出している内部電極A-,B-を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化および構造の簡略化を図ると共に、効率および精度の高い動作を行なう。
【解決手段】矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとし、ｗ／Ｌを変数として、ｗ／Ｌと拡がり振動モードの共振周波数とを対応させると共に、ｗ／Ｌと曲げ振動モードの共振周波数とを対応させた場合、圧電振動子１は、ｗ／Ｌの値が実質的に０．８５となるように形成されており、圧電振動子１のいずれか一方の主面上に並設された２枚の電極４ａ、４ｂと、少なくとも一方の電極に対して交流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる共振駆動装置３２と、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して直流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる直流駆動装置３３と、共振駆動装置３２または直流駆動装置３３のいずれか一方を選択して動作させる制御部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高め、位置決めの精度を向上させる。
【解決手段】ステージの位置決めを制御する位置決め制御ユニット１２０であって、１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を、１制御周期の積分値が等しくなるように、時間的に分割して所定分解能で出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ所定分解能で変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させることで、ステージの位置決めを制御する。これにより、Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】回転速度に対する湿度の影響の少ない振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータの駆動制御装置は、振動アクチュエータ１０の周囲の湿度を検出する湿度検出部３７を備え、前記湿度検出部３７により検出された湿度に応じて、前記振動アクチュエータ１０の速度を制御する。又、湿度検出部３７により検出された湿度が基準となる温度より低い場合に、前記振動アクチュエータ１０の速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、効率が高く、構造が簡単であり、精度の高い動作を行なう。
【解決手段】圧電振動子１が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをＬとし、圧電振動子１が第一次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをｗとした場合、圧電振動子１は、前記ｗ／Ｌの値が実質的に１．０５となるように形成されており、圧電振動子１のいずれか一方の主面上に並設された２枚の電極４ａ、４ｂと、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して交流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる共振駆動装置３２と、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して直流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる直流駆動装置３３と、共振駆動装置３２または直流駆動装置３３のいずれか一方を選択して動作させる制御部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置に組み込まれた状態で各振動子の出力特性を揃えることができる多自由度駆動装置を提供する。
【解決手段】複数の振動子１１〜１３が、複数のパラメータα，β，γにそれぞれ設定された値に基づいて生成された駆動電圧ＶＡ，ＶＢで駆動され、移動体１０が移動される。このときの移動体１０の移動方向および移動量は、制御部５０により、位置センサ２１〜２３の出力値に基づいて検出される。そして、制御部５０は、検出された移動体１０の移動方向および移動量に基づいて、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性間に差異があるか否かを判別する。ここで、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性間に差異があると判別された場合、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性が揃うように、少なくとも１つの振動子に対するパラメータ例えばパラメータγに設定された値を変更する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの摩擦力によって被駆動部を駆動する超音波モータなどとして実現され、フィードバック制御手段およびフィードフォワード制御手段を共に備える高応答な圧電アクチュエータの制御装置において、高精度・高安定性な追尾特性を実現する。
【解決手段】フィードバックループをオープンループに切離すスイッチ４ｄに、第１のオブザーバー演算器１１を設け、フィードフォワード制御部４ａの補償器において制御対象２（圧電アクチュエータ）２ａを同定する制御対象モデルの状態パラメータを前記第１のオブザーバー演算器１１でオブザーブ（推定）し、チューニング（最適化）する。したがって、フィードフォワード制御の補正量の誤差を少なくでき、高速・高精度・高安定性な追尾特性を実現できる。 （もっと読む）