【課題】 内部部品にも、メッキ材にも鉛を使用しないで済む、完全鉛フリーで信頼性の高い圧電振動子や表面実装型圧電振動子とその製造方法を提供する。
【解決手段】 気密端子１０は、ステム１１と、鉛フリーメッキ１５が施されたリード１２と、充填材１３とで形成されている。この気密端子１０のインナーリード１２ａと圧電振動片２０とを接続し、更に、ケース３０をステム１１に圧入して、圧電振動子１が構成される。充填材１３が充填されたステム１１の他方側の端面と、アウターリード１２ｂのうち前記他方側の端面に近い所定の領域には、プラズマ溶射により酸化アルミニウムを堆積した絶縁被膜６０を形成している。この絶縁被膜６０があるため、リフロー時の熱や、樹脂射出成形時の熱により、鉛フリーメッキ１５が溶けても、溶けたメッキ材の流動を抑えられ、２つのアウターリード１２ｂの間の短絡を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 密閉容器の中の気密性を保持しつつ、圧電振動片に電圧を印加するための複数の電極を迅速かつ容易に設けることができる圧電振動子、発振器、電子部品、電子機器、圧電振動子の製造方法、及び電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】 板状の蓋部材６とベース部材７とが重ね合わされて構成された密閉容器２と、この密閉容器２の中に設けられた圧電振動片３と、蓋部材６の重ね合わせ面６ａに設けられるとともに、圧電振動片３に接続部１５を介して電気的に接続され、接続部１５を蓋部材６の重ね合わせ面６ａの縁部へと延在させる引き出し電極１６と、密閉容器２の側面から引き出し電極１６に電気的に接続された外部電極２７と、蓋部材６の重ね合わせ面６ａとベース部材７の重ね合わせ面７ａとの間に設けられた金属からなる接合膜２０と、を備え、引き出し電極１６と接合膜２０との間に、絶縁膜２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスの小型化に寄与して且つ組立性を向上し、高機能化が可能な構造の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 基材３１の両面に、電極及び配線パターンが形成された基板３５の一方の面には、複数の対をなすパターン電極３２ａ〜３２ｌが形成され、それぞれに対応する回路素子５０ａ〜５０ｆを半田接合により接合し、回路モジュール３０を得た。該回路モジュール３０の外部接続端子３３ａ，３３ｂと、それぞれに対応するパッケージ本体１の凹底部に形成されたマウント電極３ａ，３ｂとは、半田によって接合されている。さらに、圧電振動片２０が、その接続電極とパッケージ本体のマウント電極４ａ，４ｂとを導電性接着剤１２０によって接合することにより、略水平に片持ち支持されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片の周波数を調整するとき、圧電デバイスに電気的な悪影響を及ぼさずに、加工レートを高くして圧電振動片に金属膜を蒸着することができる、圧電デバイスの周波数調整方法、その方法を用いて製造された圧電デバイス、及び、その方法に用いられるマスクを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス１１の周波数調整方法は、圧電デバイス１１の圧電振動片１４の形状に合わせた開口孔３１を有するマスク２６を介して、圧電振動片１４のみに金属粒子１９を蒸着させて、周波数の調整を行う。詳しくは、周波数測定器２４を用いて圧電振動片１４の周波数を観測しながら、圧電振動片１４のみに蒸発させた金属粒子１９を蒸着させる。圧電振動片１４の周波数が所望の周波数に達したところで、圧電振動片１４への金属粒子１９の蒸着を停止する。 （もっと読む）

【課題】 組み立て後の圧電デバイスであっても周波数調整ができ、容易に高い周波数精度に合わせ込むことを可能とする圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 配線パターンを有する基板１０と、基板１０の一面側に配置され内部に水晶振動片２２が収容され透明なガラスリッド２３を備えた水晶振動子パッケージ２０と、基板１０の一面側に配置されモジュール基板１６に回路素子１７が実装された回路モジュール１５と、基板１０から水晶振動子パッケージ２０および回路モジュール１５を覆う樹脂部２８と、を備え、少なくとも水晶振動子パッケージ２０の透明なガラスリッド２３の少なくとも一部が外部に露出している。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子や水晶発振器の周波数を安定化させるためには、水晶振動子を恒温槽に入れて高温に維持することにより、周囲の温度の影響を少なくする構造がとられていたが、形状が大きく電力を消費していた。
【解決手段】 本発明では、少なくとも基板や容器に流路を設け、液体媒体を流し循環することで、温度制御して水晶振動子の温度を一定にすることにより周波数を安定化させることができるようになった。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、圧電発振器の発振周波数の高精度化、さらに狭公差の周波数規格に対応可能な圧電発振器を提供することにある。
【解決手段】絶縁基板に形成された圧電振動素子搭載領域には圧電振動子が搭載され、絶縁基板に形成された電子素子搭載領域には、少なくとも発振回路が形成内蔵されている集積回路素子が搭載され、且つ電子素子搭載領域に形成されたコンデンサ接続用電極パットには、チップ型コンデンサが搭載されており、圧電振動素子、集積回路素子及びチップ型コンデンサを電気的に接続してなる圧電発振器において、コンデンサ接続用電極パットの形態が、複数個のチップ型コンデンサを並列に導通固着できる少なくとも一対のコンデンサ接続用電極パットである。 （もっと読む）

【課題】 実用に伴う接着剤の変形や、水晶片からのガスの離脱や吸着を抑え、発振周波数の安定性の高い温度補償型水晶発振モジュールの提供を図る。
【解決手段】 接着剤を配した水晶振動子４２およびサーミスタ４３を配線パターン上に搭載したセラミック基板４１に樹脂基板４９を接合し、樹脂基板４９にベース基板４８を接合する。接続用電極５１Ａを、電極４５にはんだ５２Ａにより接続し、接続用電極５１Ｂを、金属ピン端子４６にはんだ５２Ｂにより接続する。そして、接続用電極５１Ａと接続用電極５１Ｂとを接続することによりセラミック基板４１の配線パターンと金属ピン端子４６とを熱的に離間した温度補償型水晶発振モジュール５０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂基板を用いた圧電デバイスにおいて、圧電素子を配置する空間の気密性を保持しつつ、組み立てが容易で特性の良好な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第１の樹脂基板１０上に形成されたマウント用電極１３と、マウント用電極１３に接続される水晶振動片１４と、樹脂基板１０を貫通する環状の封止用ビア２０と、マウント用電極１３と導通し第１の樹脂基板１０と第２の樹脂基板１１を貫通する導通用ビア２２と、水晶振動片１４の配置される空間を保って封止用ビア２０に密着するシールリング１７と蓋板１８から構成される蓋体と、第１の樹脂基板１０と第２の樹脂基板１１の間で、かつ封止用ビア２０に囲まれる領域に対応し導通用ビア２２の周辺部を除き設けられた金属層２１と、を備え、蓋体と封止用ビア２０および封止用ビア２０と金属層２１が密着することにより蓋体と第１の樹脂基板１０との間に形成される空間が気密に保たれる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の周波数精度と諸特性そしてその信頼性を確保するため、小型でありながらリード端子と圧電振動片の良好な接合ができる圧電振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 リード端子を有する気密端子と、圧電体からなり表面に励振電極とマウント電極とが形成された圧電振動片とを有し、前記リード端子のインナーリードと前記マウント電極とが接合された圧電振動子の製造方法であって、前記インナーリードと前記マウント電極とを接合する際に、前記インナーリードと前記マウント電極との接合部に対してアルゴンガス中でプラズマアーク放電させてハンダ接合するする製造方法とした。これにより、制御された熱量が局所的に供給されるため強固な接合が可能であり、信頼性の高い圧電振動子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
実用に伴う接着剤の変形を抑え、発振周波数の安定性の高い温度補償型水晶発振モジュールの提供を図る。
【解決手段】
接着剤を配した水晶振動子３２と、サーミスタ３３とを、セラミック基板３１上に搭載し、セラミック基板３１に樹脂基板３６を接合する。そして、樹脂基板３６の底面に実装用電極３４を設ける。さらに、樹脂基板３６を複数の層で形成し、少なくとも一つの層間に接続用電極４０ｂを設け、セラミック基板３１の上面の回路電極と樹脂基板３６の実装用電極３４とを、熱的に離間するように接続用電極４０ａ・接続用電極４０ｂ・接続用電極４０ｃを介して接続する。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く品質が安定した小型の表面実装型圧電振動子を、省スペースで高密度に大量生産可能なリードフレーム、及びそのリードフレームを用いた表面実装型圧電振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 位置決め孔を有する一対のサイドフレーム２２と、サイドフレーム間を橋絡するセクションバー２３と、サイドフレーム２２とセクションバー２３とで仕切られたフレームエリア２６内に所定の間隔で配列され、セクションバー２３から延びる複数の第１のリード部２４と、フレームエリア２６内に所定の間隔と同間隔で配列され第１のリード部２４と対峙してセクションバー２３から延びる複数の第２のリード部２５と、を備えたリードフレーム２０の第１のリード部２４と第２のリード部２５それぞれの配列方向が前記リードフレーム２０の幅方向であり、対峙方向がリードフレーム２０の長手方向であるリードフレーム２０とする。 （もっと読む）

【課題】 電気絶縁性を損なうことなく、より小型化できるとともに、振動片のリードへのマウント精度及びマウント強度を向上させ、振動特性の安定化が図れる圧電振動子を提供する
【解決手段】 ２本のリードを有する気密端子と、前記リードに接合された振動片と、前記振動片の周囲を覆い前記気密端子の外周部で密閉するケースと、を有し、前記リードと固定する前記振動片のマウント部に段差を設けた圧電振動子とする。これにより、リードとケース間の距離及び２本のリード間の距離を維持したまま、振動片のマウント位置がケース中心に寄り、ケースと振動片とのクリアランスを大きく確保でき、かつ小型化した圧電振動子とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 生産効率を低下させることなく、高品質な膜構造を有する小型の圧電振動片とその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体ウエハにフォトリソグラフィー技術を用いて圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法であって、圧電振動片の外形を形成する外形形成工程と、外形形成された前記圧電振動片の表面にＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｔｉのうちいずれか1つの金属により第１の金属膜を成膜する第１金属膜成膜工程と、前記第１の金属膜に電極パタ−ンを形成する電極パタ−ン形成工程と、を行った後の次工程で、前記圧電振動片の周波数調整部に重り用の第２の金属膜を成膜する第２金属膜成膜工程か、または、保護膜を成膜する保護膜成膜工程のどちらかを行う圧電振動片の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００は，
Ｒ面サファイア基板１１と、
Ｒ面サファイア基板１１の上方に形成されたニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層と、
を含み、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層は、擬立方晶表示において（１００）配向でエピタキシャル成長しており、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層の（１００）面は、Ｒ面サファイア基板１１のＲ面（１−１０２）に対して、［１１−２０］方向ベクトルを回転軸として傾いている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、発振器の小型化および多機能化に対応でき、回路基板に対して金属ケースの取り付けを容易としながらも、側面端子電極パターンの形成領域を有効利用できるより信頼性の高い発振器を提供する。
【解決手段】 平面視略方形状の回路基板２上に振動子４と他の電子部品５が実装され、これら振動子と電子部品を覆うように回路基板に一体的に組み込まれた金属製のケース６とを備えた発振器において、上記回路基板とケースとにお互いの相対位置を位置合わせしながら係止する係止部を設け、当該係止部を上記回路基板の一側端部と当該一側端部と対向する他側端部に形成し、上記回路基板の一側端部に隣接する側端部に、側面端子電極パターンが形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 表面実装型圧電振動子において、実装時や特性測定時などで外部より力が加わって場合でも特性が安定し、また、経時変化の少ない圧電振動子を提供する。
【解決手段】 励振電極が形成されている圧電振動片と、前記圧電振動片を囲むように前記圧電振動片の基端部を介して一体に形成されている枠体とからなる圧電振動板と、前記圧電振動板の上下両面に接合され、前記圧電振動片を気密封止する一対の蓋体と、を有する圧電振動子であって、前記励振電極に外部からの電気を通電させるための引出電極を前記基端部に形成し、前記引出電極を前記基端部の中心部に配置した圧電振動子とした。これにより、一対の蓋体と圧電振動片の接合により発生する応力に起因する圧電振動子の特性変化を抑制する。
（もっと読む）

【課題】 小型の圧電振動子の品質を向上させるための圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】 気密端子を構成するリードに圧電振動子片を接合して、有底円筒状のケースを用いて前記圧電振動子片を覆うように前記気密端子のステムに圧入する圧電振動子の製造方法であって、気密端子を構成するステムを挟み込んで圧電振動子組立工程を流動させて製造する。これにより、保持体の材質が導電性か絶縁性であるかの区別が不要となり、材料として金属やセラミックスのような低放出ガス特性を有し、耐熱性に優れた材料が選択できるため、気密性の高い圧電振動子が製造できる。 （もっと読む）

【課題】 重り材料のＡｇと下地金属のＡｕとの金属間拡散の影響を受けにくい重りの構造を有する圧電振動子を提供すること。
【解決手段】 励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、前記振動部分の両側の面の下地金属上に同一の膜構造を有するように形成された周波数調整用重り部と、前記圧電振動片を封入する密閉容器と、前記励振電極と接続し前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、を具備した圧電振動子とし、重り材料と下地金属との間に金属間拡散が生じても、振動部分の表裏面で重心移動がキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】 水晶ウェハーのエッチングにおけるマスクの表裏の合わせ精度による加工ばらつきを低減することが可能な、小型水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 水晶ウェハーを表裏からのエッチングにより加工する水晶振動片の製造方法であって、エッチングの際に使用するマスクの寸法を水晶ウェハーの表裏で変え、寸法の小さいマスクを基準マスクとし、寸法の大きいマスクを相対マスクとしてエッチングを行う水晶振動片の製造方法とした。オーバーエッチングにより基準マスクから加工される寸法に統一され、均一な加工精度を得ることができ、小型振動片の製造を可能とし、安価に安定して供給する事ができる。 （もっと読む）