【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、（ａ）各々が第１方向へ向けて配置された第１面(11a,13a)と当該第１面と対向配置された第２面(11b,13b)とを有し、上記第１方向と交差する第２方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、（ｂ）上記複数の腕部の各々の上記第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、（ｃ）上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、（ｄ）上記複数の腕部の各々の上記第２面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、シリコン等の半導体で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第１面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することが可能な振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、各々が第１面を有する３個の腕部(11,12,13)と、３個の腕部の各々の第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,16,17)と、３個の腕部のそれぞれの一端を連結する基部(14)と、を含む。圧電体素子の各々は、第１面上に配置された下部電極膜と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜と、を含む。これらの圧電体素子のうち、外側に配置された２つの腕部に設けられた各圧電体素子の下部電極膜と、内側に配置された１つの腕部に設けられた圧電体素子の上部電極膜と、が相互に電気的に接続され、かつ、外側に配置された２つの腕部に設けられた各圧電体素子の上部電極膜と、内側に配置された１つの腕部に設けられた圧電体素子の下部電極膜と、が相互に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、（ａ）各々が第１方向へ向けて配置された第１面(11a,13a)と当該第１面と対向配置された第２面(11b,13b)とを有し、上記第１方向と交差する第２方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、（ｂ）上記複数の腕部の各々の上記第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、（ｃ）上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、（ｄ）上記複数の腕部の各々の上記第２面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、水晶で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第１面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。 （もっと読む）

【課題】気密保持用の二重容器などのコストがかさむ特別な構造の追加を必要とせず、簡単な構成でありながら、水晶素板が発振器内部の天井や床に直接接触することを防止でき、外部温度変化による発振周波数への影響を安定させることができるようにする。
【解決手段】水晶素板１２は導電性接着剤１４によりパッケージ１１の上に支えられているが、傾きなどにより水晶素板１２が蓋１３や制御用ＩＣ１５と接触する場合がある。水晶素板１２が傾いている状態では、断熱部１６に接触した状態にある。このような場合においても、外部温度は断熱部により直ぐには水晶素板に伝わらず、このことにより外部温度変化によって発振周波数が影響を受ける時間を一定にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 正圧電効果を利用した場合の、圧力１Ｎ当りに発生する電荷量が大きくすることができるとともに、−４０〜２００℃の温度範囲での２５℃に対する発生電荷の温度安定性に優れる非鉛系の圧電磁器および圧電素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電磁器として、組成式がＢｉ_４Ｔｉ_３Ｏ_１２・ｘ｛（Ｓｒ_１−ａＣａ_ａ）_{（１−ｂ）}Ｂａ_ｂＴｉＯ_３｝と表され、１．３０≦ｘ≦１．７５、０．４０≦ａ≦０．６０、０≦ｂ≦０．２０を満足するビスマス層状化合物の主成分１００質量部に対して、ＭｎをＭｎＯ_２換算で０．０５〜１．５質量部含有するものを用いる
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【課題】半田クラックを防止した外部端子構造の電子部品を提供する。
【解決手段】セラミックからなる表面実装基板と、前記表面実装基板の外底面に設けられた主成分をＮｉとした外部端子とを有し、前記外部端子を半田によってセット基板に接続してなる表面実装用の電子部品において、前記セラミックのヤング率、膨張率及び断面積をＥ1、α1及びＡ1とし、前記Ｎiのヤング率、膨張率及び断面積をＥ2、α2及びＡ2とし、前記セラミックと前記Ｎｉの合成膨張率αxを次式（１）としたとき、 αx＝（Ｅ1・α1・Ａ1＋Ｅ2・α2・Ａ2）／（Ｅ1・Ａ1＋Ｅ2・Ａ2） ・・・（１） 前記合成膨張率αxは前記セラミックの膨張率α1よりも2.9〜21.6％増加した構成とする。 （もっと読む）

【課題】残留応力の発生を低減して気密性を保つことができ、収納される電子部品が劣化または損傷する問題を低減することが可能となる電子部品収納用パッケージおよびこれを用いた電子デバイスを提供すること。
【解決手段】容器１と蓋体２とが樹脂部３により固定されコーティング膜６により覆われることで、電子部品収納用パッケージ９が気密封止されている。このため、従来のように封止用ガラスを高温に加熱して固定および気密封止された構造と比べて、低い温度で固定および気密封止され、冷却されるまでの時間が短くなり、冷却の進み具合のばらつきが軽減される。このため、残留応力の発生が低減され、気密性を保つことができる電子部品収納用パッケージ９を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の一端側より所定距離だけ離れた他端側に接続される連結部７３と、前記連結部に接続され、圧電振動片の幅方向に延長される接続部７４と、前記接続部に接続され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、振動腕３５、３６が接続されている基部５１の一端から、圧電振動片の振動腕３５、３６の反対側の一端までの長さ寸法ｈと、前記連結部を介して前記支持用アームが前記基部に接続されている接続部の幅寸法Ｌ３との比率であるＬ３／ｈが、４０％以下とされている、圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、ドライブレベル特性が良好で、収容体の接合部に応力が残留せず、特性悪化要因を残すことがない圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】ベース基体５４と、該ベース基体に積層固定される枠付き振動片５５と、該枠付き振動片に積層固定されるリッド５６とを含む圧電デバイスであって、前記ベース基体と、前記枠付き振動片と、前記リッドとが全て同じ材料もしくは線膨張係数がきわめて近似した材料で形成されており、互いの接合面が表面活性化接合により接合されることで、真空封止されている。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率の差に起因する特性変動や破損を防止する。
【解決手段】４個の圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４を含む圧電薄膜フィルタ１は、圧電薄膜フィルタ１のフィルタ機能を提供するフィルタ部１１と、フィルタ部１１を機械的に支持する平坦なベース基板１３とを接着層１２を介して接着した構造を有している。圧電薄膜フィルタ１の製造にあたっては、単独で自重に耐え得る圧電体基板を除去加工することにより圧電体薄膜１１１を得ているが、ベース基板１３及び圧電体基板として同種の単結晶材料の基板を採用し、圧電体薄膜１１１及びベース基板１３で熱膨張率を一致させている。 （もっと読む）

【課題】 基本波モード振動の周波数で高い周波数安定性を有し、等価直列抵抗Ｒ_１が小さく、品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉形状の屈曲水晶振動子を提供することにある。
【解決手段】 基部とその基部に接続されて第１振動腕と第２振動腕からなる音叉腕を備えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、基部は２つのフレームに接続されていて、第１振動腕と第２振動腕は２つの異なる幅を備え、１つの幅は第１振動腕と第２振動腕の音叉先端部の側に、他の１つの幅は音叉先端部と反対の位置にある他端部の側にあり、かつ、音叉先端部の側にある幅より小さくなるように形成されていて、他端部の側にある振動部の上下面には溝が設けられ、その溝の中に電極が配置されている。その結果、Ｒ_１と容量比の小さい音叉形状の屈曲水晶振動子が実現できる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数温度特性を容易に調整することができる圧電セラミックを提供する。
【解決手段】圧電セラミック２を、それぞれ層状をなし、かつ交互に積層される第１および第２の部分１１および１２をもって構成する。第１および第２の部分１１および１２は、たとえば、少なくともＳｒ、ＢｉおよびＮｂを含む複合酸化物のようなビスマス層状構造を有する化合物からなり、ｃ軸の配向度が互いに異なる。配向度によって共振周波数温度特性が変化することから、互いに異なる配向度を有する第１および第２の部分１１および１２を適宜組み合わせることによって、圧電セラミック２全体としての共振周波数温度特性を容易に調整することができる。 （もっと読む）

本発明は２つの基板を備えた電気音響素子に関する。本発明によれば、２つの基板間に金属層と第１の音響インピーダンスＺ_ａ，２を有する層とを含む層列が配置され、金属層は第１の音響インピーダンスＺ_ａ，２より高い第２の音響インピーダンスＺ_ａ，１を有する部分層を含み、ここでＺ_ａ，１／Ｚ_ａ，２≧４．５が成り立つ。これにより音響バルク波に対して充分な音響反射が保証される。また、本発明は、リチウムタンタレートから成る圧電基板を備えた電気音響素子に関しており、当該の圧電基板は回転ＹＸカット角φを有し、７°＜φ＜２４°が成り立つ。
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【課題】 過酷な使用環境においても圧電部品と回路基板とを固定するハンダのクラック発生を抑制することのできる圧電部品を提供する。
【解決手段】 ベース基板４、圧電基板１１及び天板２が順次積層された圧電部と、ベース基板４を介して圧電部が実装されるプリント基板と、を含み、圧電部とプリント基板とが線膨張係数について以下の式（１）の関係を満足するとともに、ベース基板４が、ビッカース硬度（Ｈｖ）が１３×１０⁸Ｐａ以下、最大ひずみεが２×１０^-3以上であることを特徴とする圧電部品により前記課題を解決する。
−７０％≦（αｂ−αｍ）／αｍ≦７０％…式（１）
ただし、ベース基板４の線膨張係数：αｂ（−５５〜１５０℃）
圧電基板１１の線膨張係数：αｚ（−５５〜１５０℃）
プリント基板の線膨張係数：αｐ（−５５〜１５０℃）
αｍ＝（αｐ＋αｚ）／２ （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を実装した圧電デバイスにおいて、より一層の小型化を図りながら、温特ディップ現象による不都合を解消し、ＣＩ値を低く抑制しかつ安定した温度特性を確保する。
【解決手段】 基部８と、該基部から平行に延出する複数の振動腕９，１０と、基部から振動腕と平行に延出する固定用腕１３，１４とを有する音叉型水晶振動片を、固定用腕をマウント部においてベースに固着することにより固定支持する圧電振動子１において、該振動片の励振時に、振動腕の屈曲振動の固有振動数と振動片の厚み方向に発生する同相振動の固有振動数とが、所定の使用温度範囲において異なるように、マウント部の位置、長さまたはその硬さを設定した。 （もっと読む）

【課題】
逆メサ型圧電振動片の段差部に形成する電極の断線を防ぐことができる圧電振動片を提供する。
【解決手段】
振動部１４における圧電部材１２の厚さを周縁部１６における圧電部材１２の厚さより薄く形成し、振動部１４に形成した励振電極１８と前記周縁部１６に形成した接続電極２０とを引き出し電極２２（２２ａ〜２２ｃ）によって接続する逆メサ型の圧電振動片１０であって、前記引き出し電極２２は、前記振動部１４と前記周縁部１６との間の段差部分に配された引き出し電極２２ａの幅を平面部分に配された引き出し電極２２ｂ，２２ｃの幅よりも広くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の保持形状に関するものであり、特に小型化、高精度化の要求を満足し温度特性の向上を目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、矩形状の圧電素板に電荷を加えた場合に前記圧電素板の角部４点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じるラーメモード水晶振動子の支持方法において、前記矩形状の圧電素板の頂点角部で支持すると共に、前記圧電素板の支持部と同型の基板を介して、前記圧電素板を容器に保持することにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下でも使用が可能であり、カット面加工の誤差による共振周波数の温度特性の影響が小さいバルク波を用いた共振子を提供すること。
【解決手段】 ランガテイト単結晶で構成された圧電体２と、一対の電極３、４とを備え、圧電体のカット角が（１１．７°、３９．９°）（１１．７°、６６．５°）（５１．２°、６６．５°）（５１．２°、３９．９°）で囲まれる領域、（６８．８°、３９．９°）（６８．８°、６６．５°）（１０８．３°、６６．５°）（１０８．３°、３９．９°）で囲まれる領域、（８．８°、１１３．５°）（８．８°、１４０．１°）（４８．３°、１４０．１°）（４８．３°、１１３．５°）で囲まれる領域、（７１．７°、１１３．５°）（７１．７°、１４０．１°）（１１１．２°、１４０．１°）（１１１．２°、１１３．５°）で囲まれる領域、または対称性によりこれらの領域と等価な領域のいずれかである。 （もっと読む）

【課題】 共振器の小型化、薄型化を図り、それを同一基板に内臓する半導体ＩＣを実現することにある。
【解決手段】 TCXO等に用いられる共振器を薄膜技術で実現するものであり、Si等のベース基板１５上に圧電薄膜共振器２４を形成し、その共振周波数が共振器の厚さではなく、横方向の寸法でほぼ決定する構成とする。これにより、共振器の薄膜化、小型化、更にSi系ICとの一体化を可能にするものである。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 互いに平行に延びる複数の振動腕３４，３５を支持する基部５１と、この基部５１から縮幅したネック部５４を介して、振動腕３４，３５と平行に延びる固定用腕３７，３８とを備えた圧電振動片２０であって、固定用腕３７，３８は、重心ＧＰ２を通る振動腕３４，３５の幅方向の仮想線ＧＰ３上の位置で基体と接合される接合部２０，２０を有し、この接合部２０，２０は、振動腕３４，３５の延びる方向に沿って、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して２５％以上の長さにわたり形成されている。 （もっと読む）