【課題】高い周波数定数（Ｆｒ・ｔ）を有するとともに、焼成温度の変動に伴う周波数定数（Ｆｒ・ｔ）の変化を十分に抑制することが可能な圧電磁器組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の圧電磁器組成物は、ＰＺＴ系のペロブスカイト型酸化物からなる第１の粒子と、第１の粒子の間にＺｒＯ_２からなる第２の粒子とを含有し、第２の粒子の平均粒径は第１の粒子の平均粒径よりも小さく、ＺｒＯ_２の分散値が０．２３〜１．３３である。 （もっと読む）

マイクロメカニカル式共振器を形成する方法は、少なくとも第１のアンカー（１２ａ、１２ｂ）によって基板（１０）に係止される共振器本体（１２）を形成するステップを含む。この共振器本体は、負の温度係数の弾性体（ＴＣＥ）を有する半導体又は他の第１の材料を含むことができる。離間したトレンチの二次元アレイ（１４）が、共振器本体内に設けられている。これらのトレンチは、正のＴＣＥを有する電気的絶縁材料又は他の第２の材料（１６ａ）で充填されることができる。トレンチのアレイは、共振器本体の全体にわたって均一に延在することができ、共振する間に比較的大きい及び小さい機械的ストレスがある領域を本体内に含んでいる。このトレンチの二次元アレイ（すなわち、ネットワーク）は、共振する間に共振器本体内の音波の移動方向に対して並列及び／又は直列にスプリングを有する質量−スプリングシステムのネットワークとしてモデル化されることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】音叉型水晶振動片５０は、基部５２と、この基部５２の一端側から二股に別
れて互いに平行に延出する一対の振動腕５３，５４とからなる。各振動腕５３，５４には
励振電極３６Ａ，３７Ａが形成され、基部５２には、励振電極３６Ａ，３７Ａにそれぞれ
対応する外部接続電極６６，６７が設けられている。また、振動腕５３の基部５２との付
け根近傍の基部５２上には、振動腕５３の励振電極３６Ａが形成された主面と直交する両
側面にそれぞれ設けられた側面電極２６Ａ，２６Ｂに接続された熱伝導率の高い材料から
なる熱伝導路５７が設けられている。これにより、図中矢印で示す振動腕５３の屈曲振動
方向の基部５２との付け根となる第１の領域１１０と第２の領域１１１とが、熱伝導路５
７により熱的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】基部５２と、この基部５２の一端側から延出する一対の振動腕５３，５４と
からなる音叉型水晶振動片５０において、各振動腕５３，５４の基部５２との付け根近傍
を含む領域には励振電極３６Ａ，３７Ａが形成されている。これにより、図中矢印Ｇで示
す方向に振動腕５３，５４が屈曲振動したときに圧縮応力または伸張応力が作用する第１
の領域１１０，１１２と第２の領域１１１，１１３とが熱的に接続されている。ここで、
各振動腕５３，５４ごとの熱伝導路の数をｍ、熱伝導路の熱抵抗率をρ_th、振動腕５３，
５４（水晶）の熱抵抗率をρ_V、振動腕５３，５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_v
、熱伝導路の振動腕５３，５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_thとしたときに、ｔ
_th≧（１／ｍ）×ｔ_v×（ρ_th／ρ_v）の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】静電容量の温度特性の向上、誘電損失の減少、及び比誘電率の低下を可能とする誘電体磁器組成物を提供すること。
【解決手段】圧電素子及び負荷容量素子を備える発振子において負荷容量素子が有する誘電体磁器組成物であって、下記化学式（Ａ）で表される組成を有し、０．９８≦ａ≦１．０１、０．０１≦ｂ≦０．０２、０．０２≦ｃ≦０．０４及び０．４８≦ｄ≦０．５１、を満たすペロブスカイト型の複合酸化物と、Ｎｉ元素と、を備え、ＮｉＯに換算したＮｉ元素の含有量が、複合酸化物１００質量部に対して０．０１〜０．３質量部であり、Ｃｏ_３Ｏ_４に換算したＣｏ元素の含有量が、複合酸化物１００質量部に対して０質量部以上０．１質量部未満である、誘電体磁器組成物。
Ｐｂ_ａ［Ｚｎ_ｂＮｂ_ｃＴｉ_{｛１−（ｂ＋ｃ＋ｄ）｝}Ｚｒ_ｄ］Ｏ_３ （Ａ） （もっと読む）

【課題】 集積回路素子の発熱による温度上昇を抑えることで、発振周波数のずれを抑えることが可能な圧電発振器を提供する。
【解決手段】 基板体と、前記基板体の一方の主面に設けられている第１のキャビティー部に配置される圧電振動素子と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に配置される集積回路素子と、前記基板体の一方の主面に設けられている第１のキャビティー部の前記圧電振動素子を封止する蓋体と、前記基板体の他方の主面に設けられている第２のキャビティー部に形成される複数の集積回路素子搭載パッドとを備え、前記基板体の他方の主面に設けられている複数の集積回路素子搭載パッドの総面積が、前記集積回路素子の面積以上である。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕の間に連結部から１本の中央支持腕を延長させた屈曲振動モードの屈曲振動片において、振動腕の屈曲振動によって連結部に生じる熱弾性損失によるＱ値低下を改善する。
【解決手段】圧電振動片２１は振動腕２３，２４の幅方向に沿って連結部２２の振動腕を接続する部分と中央支持腕２５を接続する部分間の領域２８，２９に有底溝３０，３１を有する。この溝により、振動腕の屈曲振動により領域２８，２９の振動腕側の部分３２，３３と反対側の部分３４，３５間の熱伝達経路が見かけ上長く、これら部分間での緩和時間が長くなるので、Ｑ値が極小となる緩和振動数が従来よりも小さくなり、Ｑ値が改善する。貫通溝の場合、領域２８，２９の振動腕側及び反対側の部分３７、３８内部の熱伝達経路が短く、各部分の緩和時間が短くなるので、緩和振動数が従来よりも大きくなり、Ｑ値が改善する。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕の間に連結部から１本の中央支持腕を延長させた屈曲振動モードの屈曲振動片において、振動腕の振動損失を抑制して性能向上を図る。
【解決手段】圧電振動片１１は、２本の振動腕１３，１４を結合する連結部１２から振動腕の間を延出する１本の中央支持腕１５からなる振動片本体が、その外側に配置した矩形枠体１８の１側辺部１９に中央支持腕の先端部１５ａを結合させて支持される。この側辺部は、その幅方向内側と外側とで振動腕の屈曲振動による圧縮及び引張応力が発生する範囲に有底溝２３，２４又は貫通溝２５を形成し、熱弾性損失によるＱ値の低下を抑制することができる。振動片本体は、枠体４８の対向する側辺部の間を延長する支持部４９に中央支持腕４５の先端部を結合させて支持することができ、該支持部に同様の有底溝又は貫通溝を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】周波数ドリフト特性が良い圧電発振器を提供する。
【解決手段】基板部と、基板部の一方の主面に第１の枠部が設けられて第１の凹部空間が形成され、基板部の他方の主面に第２の枠部が設けられて第２の凹部空間が形成され、第１の凹部空間内に露出した基板部の一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッドと、第２の凹部空間内に露出した基板部の他方の主面に設けられた複数の集積回路素子搭載パッドとを有する容器体と、圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、この集積回路素子搭載パッドに搭載されている集積回路素子と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体と、を備え、第２の凹部空間の角部に近い集積回路素子搭載パッドと接続されているビア導体と、ビア導体と接続されている第１の電極膜が、第２の凹部空間内の前記第２の枠部に設けられていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】静電振動子の温度特性改善
【解決手段】MEMS型静電駆動屈曲振動子の振動部１０２および１０３には、シリコン酸化膜１１３が形成されると共に、前記振動部１０２および１０３の近傍には少なくとも一個の酸化膜が形成されていない構造体が設けられており、この構造体の両端部と前記振動部１０２および１０３の両端部が一体形成される構造を採用する事によって、前記振動部１０２および１０３には圧縮応力が印加されその結果、周波数温度特性が改善できる。 （もっと読む）

【課題】周波数ドリフト特性が良い圧電発振器を提供することを課題とする。
【解決手段】基板部と第１の枠部によって基板部の一方の主面に形成された第１の凹部空間と、基板部と第２の枠部によって基板部の他方の主面に形成された第２の凹部空間が設けられた容器体と、第１の凹部空間内に露出した基板部の一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッドに搭載され、励振用電極が設けられている圧電振動素子と、第２の凹部空間内に露出した基板部の他方の主面に設けられた集積回路素子搭載パッドに搭載されている集積回路素子と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体とを備え、第２の凹部空間内の第２の枠部に露出するように設けられる集積回路素子搭載パッドと接続されているビア導体とを備えて構成されることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供する。
【解決手段】３以上の奇数本の弾性腕１１、１２、１３と、弾性腕１１、１２、１３のそれぞれの一端側に連結する基部１４とを有し、弾性腕１１、１２、１３を、隣り合う弾性腕どうしが互い違いになるようにして弾性腕１１、１２、１３の表裏方向に振動させる、音叉型振動子１である。弾性腕１１、１２、１３は、シリコン酸化膜からなる基材１８と、基材１８の一方の面側に設けられた、下部電極膜１５ａ、１６ａ、１７ａと圧電膜１５ｂ、１６ｂ、１７ｂと上部電極膜１５ｃ、１６ｃ、１７ｃとからなる圧電素子１５、１６、１７と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】導電性接着剤の接続状態の確認が容易で、且つ、導電性接着剤の接着強度を高め
ることができる圧電振動素子を提供する。
【解決手段】水晶基板２と、水晶基板２の両主面に形成された励振電極３、４と、水晶基
板２の片面側に形成された２つのパッド電極６、８と、パッド電極６上に形成される貫通
孔９と、を備え、２つのパッド電極６、８を結んだ直線の延長線上に励振電極４を配置す
ると共に、パッド電極８と励振電極４との間に位置するパッド電極６に貫通孔９を設け、
電極パッド８をリード電極７を介して励振電極４に接続し、電極パッド６をリード電極５
と貫通孔９を介して励振電極４に接続するようにした。 （もっと読む）

【課題】金属ベースの高さを小さくして小型化を促進する高安定用の水晶振動子を提供する。
【解決手段】金属フランジ２ｂをベース本体２ａの外周に溶接した振動子用ベース２と、振動子用ベース２上にサポータ８によって保持された水晶片１と、金属フランジ２ｂに接合して水晶片１を覆って密閉封入した金属カバー３とからなる水晶振動子において、ベース本体２ａをセラミックとしてベース本体２ａの外周表面に金属フランジ２ｂが接合される金属膜９を形成し、ベース本体２ａの少なくとも２箇所にはビアホール１２によって電気的に接続した内底面及び外底面の金属膜を有し、内底面の金属膜にはサポータ８が接合された構成とする。 （もっと読む）

【課題】 温度特性、ＣＩ値並びに周波数の安定した圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（５０）は、外部電極（３１）に導通する第１接続電極（３５）を有するベース（３）と、第１面に第１接続と接続する第２接続電極（３６）と、第１面の反対面に形成されて第２接続電極と導通する第３接続電極（３７）とを有しベース上に固定されるサポート材（６ａ）と、励振電極（２３、２５）を有するとともに第３接続電極（３７）に塗布された接着剤（６１）を介してサポート部材に固定される圧電振動片（２０）とを備えている。そして、圧電デバイスは接着材が圧電振動片の所定領域に広がらないように、第３接続電極（３７）の所定方向に凹み部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 リッド及びベースもすべて水晶から形成してそれぞれをシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）により接合した水晶デバイスを提供する。
【解決手段】水晶デバイス（１００）は、電極パターンを有する水晶振動片とこの水晶振動片を支える外枠（５１）とを有する水晶からなる水晶フレーム（５０）と、第１面に形成された接続電極と第１面の反対側の第２面に形成され接続電極に導通する外部電極とを有し水晶からなる水晶ベース（４０）と、を備え、水晶フレームと水晶ベースとを重ねて結合する際に、電極パターン（３３）に接続電極（４２）が接触し、外枠（５１）と水晶ベース（４０）とが接触していない。 （もっと読む）

【課題】 温度特性の補正が効率的に行われる発振子、発振子の製造方法及び発振器を提供する。
【解決手段】 所定の間隔をあけて配置された少なくとも２つ以上のアンカーと、該アンカーに接続されて揺動自在に保持された振動部と、該振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された駆動電極と、前記振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された検出電極と、前記アンカーに接続され、前記振動部を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい材料からなる温度特性補正基板とを備えたことを特徴とする発振子とする。 （もっと読む）

【課題】集積回路素子の回路形成面に設けられた電子回路を構成する電子素子の誤動作に起因する不具合や、電子回路の破壊を生じない圧電発振器を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の凹部を有する第１の容器体と圧電振動素子とから構成される圧電振動子部と、容器体接続用電極パッドに第１のバンプを備える集積回路素子と、第２の凹部を有し、この第２の凹部内には第１のバンプの形成位置に対応した複数の窪み部が設けており、この窪み部の内部には集積回路素子接続用電極端子が設けられている第２の容器体とから成り、この集積回路素子を第２の凹部内に配置し、第１のバンプを窪み部内に挿入して、第１のバンプと集積回路素子接続用電極端子とを導通固着した構成の集積回路素子部とから成り、この集積回路素子部に圧電振動子部を重ねて配置接合された圧電発振器であって、集積回路素子の実装側主面部分に突起部が設けられている圧電発振器。 （もっと読む）

【課題】 気密封止時のベース内の温度勾配を抑制できるベースを用いることによって、信頼性の高い気密封止を行うことができる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 内部に圧電振動素子を収容するための凹部３と、当該凹部３を囲繞し、上面に金属封止部材４が周状に形成された環状の堤部２とを具備する絶縁性材料からなるベース１であって、少なくとも前記べース１の長辺側の堤部の内部または内側面、または内部と内側面には、前記堤部２の深さ方向に伸びる、金属導体からなる熱伝導部５が一箇所以上形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 気密封止時のベース内の温度勾配を抑制でき、低背化にも対応したベースを用いることによって、信頼性の高い気密封止を行うことができる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 内部に圧電振動素子を収容するための凹部３と、当該凹部３を囲繞し、上面に金属封止部材４が周状に形成された環状の堤部２とを具備する絶縁性材料からなる平面視矩形状のベース１であって、少なくとも前記べース１の長辺側の堤部の外側面、内部、内側面のいずれか１つ、または２つ以上を組み合わせた位置に、金属導体からなる熱伝導部５が一箇所以上形成されているとともに、前記熱伝導部５の少なくとも１つ以上は、、前記堤部２の深さ方向に、前記凹部３の内底面から水平方向へ延出した仮想ラインＬより下の位置まで形成されている。 （もっと読む）